References
- Barin , I. 1993 . Thermochemical Data of Pure Substances , Weinheim : VCH .
- Beyers , R. and Sinclair , R. 1985 . J. appl. Phys. , 57 : 5240
- Chase , M. 1986 . JANAF Thermochemical Tables , third edition , New York : American Institute of Physics .
- Chu , W. K. , Krautle , H. , Mayer , J. W. , Muller , H. , Nicolet , M. A. and Tu , K. N. 1974 . Appl. Phys. Lett. , 25 : 454
- Clevenger , L. A. , Mann , R. W. , Roy , R. A. , Saenger , K. L. and Cabral , C. Jr . 1994 . J. appl. Phys. , 76
- Cox , J. D. , Wagman , C. D. and Medvedev , V. A. 1989 . CODATA Key Values for Thermodynamics , Hemisphere .
- Donovan , E. P. , Spaepen , F. , Turnball , D. , Poate , J. M. and Jacobson , D. C. 1985 . J. appl. Phys. , 57 : 1975
- Fujii , K. , Kikuta , K. and Kikkawa , T. 1995 . Symposium on VLSI Technology, Digest Technical Papers , 57 – 58 . New Jersey : Elsevier Engineering Information, Inc. .
- Hung , L. S. , Gyulai , J. and Mayer , J. W. 1983 . J. appl. Phys. , 54 : 5076
- Kittl , J. A. , Hong , Q. Z. , Rodder , M. , Princlow , D. A. and Misium , G. R. 1996 . Symposium on VLSI Technology Digest Technical Papers , 14 – 15 . New Jersey : IEEE Electron Devices Society .
- Kittl , J. A. , Princlow , D. A. , Apte , P. P. and Pas , M. R. 1995 . Appl. Phys. Lett. , 67 : 2308
- Kissinger , H. E. 1957 . Analyt. Chem. , 29 : 1702
- Kubaschewski , O. and Alcock , C. B. 1979 . Metallurgical Thermochemistry , Oxford : Pergamon .
- Ma , Z. and Allen , L. H. 1994 . Phys. Rev. B , 49 ( 13 ) : 501
- Ma , E. , Clevenger , L. A. , Thompson , C. V. and Tu , K. N. 1990 . Mater. Res. Soc. Symp. Proc. , 187
- Meschel , S. V. and Kleppa , O. J. 1998 . J. Alloys Compounds , 267 : 128
- Murarka , S. P. 1980 . J. rac. Sci. Technol. , 17 : 775
- Murarka , S. P. and Fraser , D. B. 1980 . J. appl. Phys. , 51 : 342
- Shukla , R. K. and Multani , J. S. Proceedings of the Fourth International IEEE VLS1 Multilevel Interconnection Conference . pp. 470 – 479 . New York : IEEE .
- Stark , T. , Gutowski , L. , Herden , M. , Grunleitner , H. , Kohler , S. , Hundhausen , M. and Ley , L. 2001 . Microelectron. Engng , 55 : 101
- Stolk , P. A. , Saris , F. W. , Berntsen , A. J. M. , Van Der Weg , W. F. , Sealy , L. T. , Barklie , R. C. , Krotz , G. and Muller , G. J. appl. Phys. , 15 7266
- Ting , C. Y. , D'heurle , F. M. , Iyer , S. S. and Fryer , P. M. 1986 . J. electrochem. Soc. , 133 : 2621
- Thompson , R. D. , Takai , H. , Psaras , P. A. and Tu , K. N. 1987 . J. appl. Phys. , 61 : 540
- Topor , L. and Kleppa , O. J. 1986 . Metall. Trans. A , 17 : 1217