A Photographic Theory of Crosslinking Resists

Abstract

The photographic performance of a crosslinking resist is summarized by plotting the gel fraction of the irradiated polymer against the corresponding exposure. This characteristic curve is defined by two main parameters: the gel point exposure, which is a measure of photographic speed, and the initial slope of the curve, which measures photographic contrast. Gel point exposure and the initial slope arc interpreted in terms of molecular properties of the photoreactive chromophore and of the polymer.

Résumé

Les performances photographiques des polymères photoréticulables sont résumées par un diagramme représentant la fraction gélifiée du polymère irradié en fonction de l’exposition correspondante. Cette courbe caractéristique est définie par deux paramètres principaux: l’exposition de prise en gel qui est une mesure de la sensibilité photographique et la pente de la courbe à l’origine qui mesure le contraste photographique. L’exposition de prise en gel et la pente à Torigine sont interprétées en fonction des propriétés moléculaires du chromophore photoréactif et du polymère.

Zusammenfassung

Die fotografischen Eigenschaften eines vernetzenden Fotolackes lassen sich charakterisieren durch Angabe des Gel-Anteiles des bestrahlten Polymers in Abhängigkeit von der Belichtung. Diese Kennlinie wird durch zwei Hauptparameter definiert: die Gelpunkt-Belichtung als Mass für die fotografische Empfindlichkeit und die Anfangssteigung der Kurve als Mass für den fotografischen Kontrast. Gelpunkt-Belichtung und Angfangssteigung lassen sich interpretieren auf Basis der molekularen Eigenschaften des fotoreaktiven Chromophors und des Polymers.

Riassunto

La risposta fotografica di un crosslinking resist viene visualizzata diagrammando la frazione gelificata del polimero irradiato rispetto alla corrispondente esposizione.

Questa curva caratteristica è definita da due parametri principali: Tesposizione del punto di gelo, che è una misura della sensibilità fotografica, e la pendenza iniziale della curva che misura il contrasto fotografico. L’esposizione del punto di gelo e la pendenza iniziale vengono interpretati in termini di proprietà molecolari del cromoforo fotoreattivo e del polimero.