Kohlenstoffbestimmung in Halbleitersilizium mittels Deuteronenaktivierungsanalyse

Abstract

Die zerstörungsfreie Kohlenstoffbestimmung in Halbleitersilizium durch Deuteronenbestrahlung am Zyklotron nach der Reaktion ¹²C(d, n)¹³N stellt unter Beachtung der möglichen Fehlerquellen, die einen erhöhten C-Gehalt vortäuschen können, wie SiC-Inhomogenitäten, Schleifmittelreste, implantierten Kohlenstoff aus dem Beschleunigervakuum, eine zuverlässige und zur Qualitätskontrolle geeignete Methode dar. Die Nachiweisgrenze liegt bei 0,07 ppm.

Keywords::

• activation analysis
• carbon content
• cyclotrons
• deuterons
• nitrogen isotopes, ¹³N
• radiometric analysis
• semiconductor materials
• silicon