Abstract
Die im ZfK entwickelten magnetischen Labor-Isotopenseparatoren wurden zu Ionenimplantationsanlagen weiterentwickelt. Untersuchungen zur Dotierungsprofilbildung, der damit verbundenen Defektentstehung in Einkristallen, der parasitären Rūckstoβimplantation, ihrer Reduzierung und gezielten Anwendung wurden durchgeführt. Bevorzugt kamen kernphysika-lische und radiochemische Methoden zur Anwendung. Durch Ionenimplantation wurden Kernstrahlungsdetektoren und andere elektronische Bauelemente hergestellt und die entsprechenden Implantationstechologien erforscht.