Stand und Entwicklungstendenzen auf dem gebiet der Isotopenanwendung

Abstract

Die Anwendung radioaktiver Methoden in der Festkörperforschung und in der Halbleitertechnik für die Analytik der Grund- und Hilfsmaterialien und für die Untersuchung und Optimierung fertigungsgerechter Verfaltren hat immer mehr an Bedeutung gewonnen. Durch Beispiele aus der Literatur werden die Technik ihrer Anwendung und die erhaltenen Ergebnisse dangestellt.

Keywords:

• activation analysis
• impurities
• isotope applications
• purification
• reviews
• semiconductor devices
• semiconductor materials
• solid state physics
• tractor techniques