Some Methods for Measurements on Thin Films

Abstract

Four modifications of Françon's interference eyepiece are given which enable one to measure the step in a wave front and at the same time the light loss. As it is possible to carry out measurements while depositing the layer, the methods described can be used for monitoring purposes, the non-optical windows not doing much harm to the appearance of the field of view. With the available apparatus a precision in the determination of the light path of λ/200 is easily obtainable for all layer thicknesses. Une description est donnée de quatre usages différents de l'occulaire interférentiel de Françon pour la mesure de l'épaisseur et des pertes de lumière produites par des couches minces. Les mesures peuvent s'effectuer dans le vide, l'influence des fenêtres non-optiques étant petite. Le procédé peut aussi servir de contrôle pendant l'évaporation. Avec les appareils en service les chemins optiques sont déterminés avec une précision λ/200, valeur indépendante de la grandeur du chemin optique. Mit Hilfe des Interferenzokulares von Françon wird nach vier verschiedenen Verfahren die Phasenverschiebung und die Intensitätsschwächung einer ebenen Welle bei dem Durchgang durch eine dünne Schicht gemessen. Man kann die Messungen während der Herstellung der Schichten vornehmen, weil die das Vakuum abschliessenden Planfenster trotz ihrer mangellhaften optischen Güle das Bild nicht wesentlich beeinträchtigen. Mit den gebräuchlichen Hilfsmitteln kann man leicht eine Genauigkeit der Weglängenunterschiede von λ/200 erreichen ; sie ist unabhängig von der Schichtdicke.