Interferometric Study of Microscope Objectives

Abstract

The authors have constructed a specially designed microscope interferometer which can observe the image of a point source or periodic pattern simultaneously with wave aberration, and made a series of experiments to make clear the correspondence between the aberration and the definition of image. Spot diagrams and response functions are also calculated numerically from the wave aberrations. The importance of the method of illumination was ascertained in these experiments by comparing perfectly coherent and incoherent illuminations. Les auteurs ont perfectionné un interféromètre à microscope spécial permettant d'observer l'image d'lune source ponctuelle ou d'un objet périodique en même temps que l'aberration d'onde; ils ont fait une série d'expériences pour se rendre compte de la correspondance entre l'aberration et la définition des images. Les graphiques montrant les points d'intersection des rayons avec le plan image (the spot diagram en anglais), ainsi que les réponses en fréquence spatiale, ont été obtenus par un calcul numérique, basé sur l'observation de l'aberration d'onde. L'importance du mode d'éclairage a été démontrée au cours de ces expériences en comparant des éclairages parfaitement cohérents et incohérents. Mit einem hierfür besonders ausgeführten Mikrointerferometer, das die gleichzeitige Beobachtung der Bilder eines Sternes oder einer regelmässigen Strichgruppe und der Wellenaberration erlaubt, werden Versuche gemacht, um den Zusammenhang zwischen der Bildgüte und den Aberrationen zu klären. Die Zerstreuungsfiguren und die Kontrastübertragungsfunktion werden auch aus den Wellenaberrationen berechnet. Aus den Versuchen ergibt sich auch die Bedeutung der Beleuchtungsart durch den Vergleich rein kohärenter und inkohärenter Beleuchtung.