Originalarbeiten Einsatz von magnetischen Labor-Isotopenseparatoren zur Ionenimplantation im ZfK Rossendorf

Abstract

Die im ZfK entwickelten magnetischen Labor-Isotopenseparatoren wurden zu Ionenimplantationsanlagen weiterentwickelt. Untersuchungen zur Dotierungsprofilbildung, der damit verbundenen Defektentstehung in Einkristallen, der parasitären Rūckstoβimplantation, ihrer Reduzierung und gezielten Anwendung wurden durchgeführt. Bevorzugt kamen kernphysika-lische und radiochemische Methoden zur Anwendung. Durch Ionenimplantation wurden Kernstrahlungsdetektoren und andere elektronische Bauelemente hergestellt und die entsprechenden Implantationstechologien erforscht.

Keywords:

• backscattering
• ion implantation
• magnetic isotope separators
• recoil implantation
• single crystals
• doping profiles
• ion sources
• radiation defects
• semiconductor detectors
• electronics
• isotope targets
• radiation detectors
• semiconductor photodiodes