References
- Krulevitch , P. , Lee , A. P. , Ramsey , P. B. , Trevino , J. C. , Hamilton , J. and Northrup , M. A. 1996 . Journal of Microelectromechanical Systems , 5 ( 4 ) : 270
- Krulevitch , P. , Ramsey , P. B. , Makowiecki , D. M. , Lee , A. P. , Northrup , M. A. and Johnson , G. C. 1996 . Thin Solid Films , 274 : 101
- Abraham Lee , P. , Ciarlo , Dino R. , Krulevitch , A. Peter , Lehew , Stacy , Trevino , Jimmy and Northrup , M. Allen . 1996 . Sensors and Actuators , A 54 : 755
- Damjanovic , D. 1998 . Rep. Prog. Phys , 61 : 1267 – 1324 .
- Lai , B.-K. , Kahn , H. , Phillips , S. M. and Heuer , A. H. Journal of Materials Research , to appear in
- Muralt , P. 2000 . J. Micromech. Microeng , 10 : 136 – 146 .
- Fu , Y. , Du , H. and Zhang , S. 2002 . in Surface Engineering: Science & Technology of Interfaces II , Edited by: Kumar , A. , Chung , Y.-W. , Moore , J. J. , Doll , G. L. , Yasui , K. and Misra , D. S. pp. 293 The Minerals : Metals & Materials Society . edited by
- Lai , B.-K. , Kahn , H. , Phillips , S. M. and Heuer , A. H. 2001 . Journal of Microelectromechanical Systems , 10 ( 1 ) : 69
- Koch , M. , Harris , N. , Evans , A. G. R. , White , N. M. and Brunnschweiler , A. 1998 . Sensors and Actuators A , 70 : 98
- van der Wijngaart , W. , Andersson , H. and Enoksson , P. 2000 . Proc. MEMS 00 , 674 IEEE .
- Linnemann , R. , Woias , P. , Senfft , C.-D. and Ditterich , J. A. 1998 . Proc. MEMS 98 , 532 IEEE .
- Olsson , A. , Stemme , G. and Stemme , E. 1995 . Sensors and Actuators A , 47 ( 1–3 ) : 549
- González , U. F. and Moussa , W. A. 2002 .
- Koch , M. , Schabmueller , C. G. J. , Evans , A. G. R. and Brunnschweiler , A. 1999 . Sensors and Actuators A , 74 : 207
- Piekarski , B. , DeVoe , Don , Dubey , M. , Kaul , R. , Conrad , J. and Zeto , R. 2001 . Sensors and Actuators A , 91 ( 3 ) : 319
- Xu , D. , Wang , L. , Ding , G. , Zhou , Y. , Yu , A. and Cai , B. 2001 . Sensors and Actuators A , 93 : 87
- Hahm , G. , Kahn , H. , Heuer , A. H. and Phillips , S. M. 2000 . Proc. 2000 Solid-State Sensor and Actuator Workshop , 230 Hilton Head, SC : IEEE .
- Lai , B.-K. , Hahm , G. , You , L. , Shih , C.-L. , Kahn , H. , Phillips , S. M. and Heuer , A. H. 2001 . Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , 657 EE8.3.1
- Makino , E. , Mitsuya , T. and Shibata , T. 2001 . Sensors and Actuators A , 88 ( 3 ) : 256
- Lai , B.-K. 2003 . Case Western Reserve University . Ph.D.
- Ganpule , C. S. , Stanishevsky , A. , Su , Q. , Aggarwal , S. , Melngailis , J. , Williams , E. D. and Ramesh , R. 1999 . Appl. Phys. Lett. , 75 ( 3 ) : 409
- Jin , H. Z. and Zhu , Jing . 2002 . Journal of Applied Physics , 92 ( 8 ) : 4594
- Su , Q. , Hua , S. Z. and Wuttig , M. 1994 . Journal of Alloys and Compounds , 211/212 : 460