References
- Lau , S. S. and Van der Weg , W. F. 1978 . Thin films–interdiffusion and reactions, Interdiffusion and Reactions , Edited by: Poate , J. M. , Tu , K. N. and Mayer , J. W. N. Y. : Wiley . Chap. 12
- Hart , R. R. and Marsh , O. J. 1969 . Appl. Phys. Lett. , 15 : 206
- Picraux , S. T. 1973 . Rad. Eff. , 17 : 261
- Foyt , A. G. , Donnelly , J. P. and Lindley , W. T. 1969 . Appl. Phys. Lett. , 14 : 372
- Mayer , J. W. , Eriksson , L. and Davies , J. A. 1970 . Ion Implantation in Semiconductors , NY : Academic Press .
- Williams , J. S. and Austin , M. W. 1980 . Nucl. Instrum. and Methods , 168 : 307
- Bicknell , R. , Hemment , P. L. , Bell , E. C. and Tansey , J. E. 1977 . Phys. Stat. Sol. (a) , 12 : K9
- Schmid , K. 1973 . Rad. Eff. , 17 : 201
- Eisen , E. F. 1973 . Channelling , Edited by: Morgan , D. V. P415 J. Wiley & Sons .
- Ziegler , J. F. and Chu , W. K. 1974 . At Data Nucl. Data Tables , 13 : 463
- Bragg , W. H. and Leeman , R. K. 1905 . Phil. Mag. , 10 : 5218
- Carter , G. , Grant , W. A. , Haskell , J. D. and Stephens , G. 1970 . Rad. Eff. , 6 : 277
- Eisen , F. H. and Welch , B. 1971 . Rad. Eff. , 7 : 143
- Chadderton , L. T. 1970 . Rad. Eff. , 8 : 77
- Harris , J. S. Int. Conf. on Ion Implantation . Garmisch. Edited by: Ruge , I. and Graul , J. pp. 157 Berlin : Springer-Verlag .
- Vook , F. L. and Picraux , S. T. 1971 . Int. Conf. on Ion Implantation, Garmisch , 141 Berlin : Springer-Verlag .
- Tinsley , A. W. , Stephens , G. A. , Nobes , M. J. and Grant , W. A. 1975 . Rad. Eff. , 23 : 165
- Gibbons , J. F. 1972 . Proc. IEEE , 60 : 1062
- Dennis , J. R. and Hale , E. B. 1976 . Rad. Eff. , 30 : 219
- Carter , G. and Webb , R. 1979 . Rad. Eff. Lett. , 43 : 19
- Anderson , W. J. and Park , Y. S. 1978 . J. Appl. Phys. , 49 : 4568
- Wittmer , M. , Roth , J. , Revesz , P. and Mayer , J. W. 1978 . J. Appl. Phys. , 49 : 5207
- Lowe , L. F. , Kennedy , J. K. , Davies , D. E. , Deane , M. L. and Eyges , L. J. 1975 . Rev. Sci. Instrum. , 46 : 533
- Wiggers , L. W. 1978 . PhD Thesis Amsterdam
- Kool , W. H. , Rosendaal , H. E. , Wiggers , L. W. and Saris , F. W. 1978 . Rad. Eff. , 36 : 41
- Titov , A. I. , Christodoulides , C. E. , Carter , G. and Nobes , M. J. 1979 . Rad. Eff. , 41 : 107
- Ahmed , N. A. G. , Christodoulides , C. E. , Carter , G. , Nobes , M. J. and Titov , A. I. 1980 . Nucl. Instr. and Methods. , 168 : 283
- Kennedy , E. F. , Cseprigi , L. , Mayer , J. W. and Sigmon , T. W. 1977 . J. Appl. Phys. , 48 : 4241