Mechanical properties and Raman spectra of tetrahedral amorphous carbon films with high sp³ fraction deposited using a filtered cathodic arc

References

• Argon , A. , Gupta , V. , Landis , H. and Cornie , J. 1989 . Mater. Sci. Engng , A107 : 41
   Web of Science ®Google Scholar
• Beeman , D. , Silverman , J. , Lynds , R. and Anderson , M. R. 1984 . Phys. Rev. , B, 30 : 870
   Web of Science ®Google Scholar
• Berger , S. D. , McKenzie , D. R. and Martin , P. J. 1989 . Phil. Mag. Len. , 57 : 285
   Web of Science ®Google Scholar
• Falabella , S. , Boercker , D. B. and Sanders , D. M. 1993 . Thin Solid Films , 82 : 236
   Google Scholar
• Fallon , P. J. , Veerasamy , V. S. , Davis , C. A. , Robertson , J. , Amaratunga , G. A. J. , Milne , W. I. and Koskinen , J. 1993 . Phys. Rev. , B, 48 : 4777
   Web of Science ®Google Scholar
• Geis , M. and Tamor , M. A. 1993 . Encyclopedia of Applied Physics , 15 Weinheim : Vch .
   Google Scholar
• Kulik , J. , Lifshitz , Y. , Lempert , G. D. , Grossman , E. , Rabalais , J. W. and Marton , D. 1995 . Phys. Rev. , B, 52 : 15812
   Web of Science ®Google Scholar
• Liftshitz , Y. 1996 . Diamond Related Mater. , 5 : 388
   Web of Science ®Google Scholar
• Liftshitz , Y. , Lempert , G. D. , Grossman , E. , Avigal , I. , Uzan-Saguy , C. , Kalish , R. , Kulik , J. , Marton , D. and Rabalais , J. W. 1994 . Diamond Related Mater. , 3 : 542
   Web of Science ®Google Scholar
• Lifshitz , Y. , Lempert , G. D. and Rotter , S. 1994 . Diamond Related Mater. , 3 : 542
   Web of Science ®Google Scholar
• Lossy , R. , Pappas , D. L. , Roy , R. A. , Doyle , J. P. , Cuomo , J. J. and Bruely , J. 1995 . J. appl. Phys. , 77 : 4750
   Web of Science ®Google Scholar
• Martin , P. J. , Filipczuk , S. W. , Netterfield , R. P. , Field , J. S. , Whitnall , D. F. and McKenzie , D. R. 1988 . J. Mater. Sci. Lett. , 7 : 410
   Google Scholar
• Martin , P. J. , Netterfield , R. P. , Kinder , T. J. and Descotes , L. 1991 . Surf Coat. Technol. , 49 : 239
   Web of Science ®Google Scholar
• McKenzie , D. R. , Muller , D. and Pailthorpe , B. A. 1991 . Phys. Rev. Lett. , 67 : 773
   PubMed Web of Science ®Google Scholar
• Oliver , W. C. and Pharr , G. M. 1992 . J. Mater. Res. , 7 : 1564
   Web of Science ®Google Scholar
• Pharr , G. M. , Callahan , D. L. , Mcadams , S. D. , Tsui , T. Y. , Anders , S. , Anders , A. , Ager , J. W. , Brown , I. G. , Singh , C. , Silva , S. R. P. and Robertson , J. 1996 . Phys. Lett. , 68 : 779
   Web of Science ®Google Scholar
• Prawer , S. , Nugent , K. W. , Liftshitz , Y. , Lempert , G. D. , Grossman , E. , Kulik , J. , Avigal , I. and Kalish , R. 1996 . Diamond Related Mater. , 5 : 433
   Web of Science ®Google Scholar
• Shi , X. , Tay , B. K. , Tan , H. S. , Li , Z. , Tu , Y. Q. , Silva , S. R. P. and Milne , W. I. 1996 . J. appl. Phys. , 79 : 7239
   Google Scholar
• Silva , S. R. P. , Shi , X. , Tay , B. K. , Tan , H. S. and Milne , W. I. 1996 . Appl. Phys. Lett. , 69 : 491
   Web of Science ®Google Scholar
• Silva , S. R. P. , Shi , X. , Tay , B. K. , Tan , H. S. , Scheibe , H. L. , Chhowalla , M. and Milne , W. I. 1997 . Thin Solid Films , 290–291 : 317
   Web of Science ®Google Scholar