References
- Rayleigh , L. 1874 . Phil. Mag. , 47 : 81
- Oster , G. , Wasserman , M. and Zwerling , C. 1964 . J. Opt. Soc. Amer. , 54 : 169
- Guild , J. 1960 . Diffraction Gratings as Measuring Scales, Practical Guide to the Metrological use of Moiré Fringes , New York : Oxford University Press .
- Spallas , J. P. , Boyd , R. D. , Britten , J. A. , Fernandez , A. , Hawryluk , A. M. , Perry , M. D. and Kania , D. R. 1996 . J. Vac. Sci. Technol. , B14 : 2005
- Decker , J. Y. , Fernandez , A. and Sweeney , D. W. 1997 . J. Vac. Sci. Technol. , B15 : 1949
- Nordin , G. P. , Meier , J. T. , Deguzman , P. C. and Jones , M. W. 1999 . J. Opt. Soc. Am. , A16 : 118
- Fernandez , A. , Nguyen , H. T. , Britten , J. A. , Boyd , R. D. , Perry , M. D. , Kania , D. R. and Hawryluk , A. M. 1997 . J. Vac. Sci. Technol. , B15 : 729
- Zaidi , S. H. and Brueck , S. R. J. 1993 . J. Vac. Sci. Technol. , B11 : 658
- Wassermann , E. F. , Thielen , M. , Kirsch , S. , Pollmann , A. , Weinforth , H. and Carl , A. 1998 . J. Appl. Phys. , 83 : 1753
- Savas , T. A. , Farhoud , M. , Smith , H. I. , Hwang , M. and Ross , C. A. 1999 . J. Appl. Phys. , 85 : 6160
- Bracewell , R. N. 1986 . The Fourier Transform and Its Applications, , 2nd edn , New York : McGraw-Hill .
- Goodman , J. W. 1985 . Statistical Optics , New York : John Wiley and Son .
- Levenson , M. D. , Viswanathan , N. S. and Simpson , R. A. 1982 . IEEE Trans. Electron Devices , ED-29 : 1828
- Lin , B. J. 1992 . Solid State Technol. , 35 : 43
- Pau , S. , Trimble , L. E. , Blatchford , J. W. , Watson , G. P. , Frackoviak , J. , Cirelli , R. and Nalamasu , O. 1999 . J. Vac. Sci. Technol. B , 17 : 2499
- Smith , B. and Zavyalova , L. 1999 . Microlithography World , 8 ( 4 ) : 4
- Brueck , S. R. J. 1998 . Microlithography World , Winter : 2
- Chen , X. L. and Brueck , S. R. J. 1999 . J. Vac. Sci. Technol. B , 17 : 921