75
Views
116
CrossRef citations to date
0
Altmetric
Original Articles

Growth and characterization of single crystal insulators on silicon

&
Pages 367-421 | Published online: 27 Sep 2006

References

  • Ponce , F. A. , Anderson , G. B. , O'Keefe , M. A. and Schowalter , L. J. 1986 . J. Vac. Sci. Technol. , B4 : 1121
  • Rieger , D. , Himpsel , F. J. , Karlsson , U. O. , McFeely , F. R. , Morar , J. F. and Yarmoff , J. A. 1986 . Phys. Rev. , B34 : 7295
  • Schowalter , L. J. , Fathauer , R. W. , Goehner , R. P. , Turner , L. G. , DeBlois , R. W. , Hashimoto , S. , Peng , J.-L. , Gibson , W. M. and Krusius , J. P. 1985 . J. Appl. Phys. , 58 : 302
  • Zogg , H. and Huppi , M. 1985 . Appl. Phys. Lerr. , 47 : 133
  • Nakata , Y. , Asada , M. and Suematsu , Y. 1986 . Elecrron. Len. , 22 : 58
  • Schowalter , L. J. and Fathauer , R. W. 1986 . J. Vac. Sci. Technol. , A4 : 1026
  • Tu , C. W. , Ajuria , S. A. and Temkin , H. 1986 . Appl. Phys. Lerr. , 49 : 920
  • Wychoff , R. W. G. 1931 . The Structure of Crysrals. , New York : Chemical Catalog Co .
  • Weast , R. C. , ed. 1979 . CRC Handbook of Chemistry and Physics. , Boca Raton, FL : CRC Press .
  • Young , K. F. and Frederiske , H. F. R. 1973 . J. Phys. Chem. Ref. Data. , 2 : 313
  • Touloukian , Y. S. , Kirby , R. K. , Taylor , R. E. and Lee , T. Y. R. 1977 . Thermophysicul Properties of Marrer , Vol. 12. 13 , New York : IFIlPlenum Press .
  • Teegarden , K. and Baldini , G. 1967 . Phys. Rev. , 155 : 896
  • Farrow , R. F. C. , Sullivan , P. W. , Williams , G. M. , Jones , G. R. and Cameron , D. C. 1981 . J. Vac. Sci. Technol. , 19 : 415
  • Rubloff , G. W. 1972 . Phys. Rev. , BS : 662
  • Langer , T. , Krukowska-Fulde , B. and Langer , J. M. 1979 . Appl. Phys. Len. , 34 : 216
  • Farrow , R. F. C. , Sinharoy , S. , Hoffman , R. A. , Riegcr , J. H. , Takei , W. J. , Greggi , J. C. Jr. , Wood , S. and Temofonte , T. A. 1985 . Marerials Research Sociery Symp. Proc. , Edited by: Gibson , J. M. and Dawson , L. R. Vol. 37 , 181 Pittsburgh : Materials Research Society .
  • Cullen , G. W. 1971 . J. Crysr. Growth , 9 : 107
  • Lin , A. L. and Golecki , I. 1985 . J. Electrochem. Soc. , 132 : 239
  • Muller , R. S. and Kamlns , T. I. 1977 . Device Electronics for Integrated Circuits. , New York : John Wiley & Sons .
  • Tatken , R. L. and Lewis , R. J. Sr. , eds. 1983 . Regisrry of Toxic Effects of Chemical Substances , Vol. 1 , 809 Cincinnati : U. S. Department of Health and Human Services .
  • Pbillips , J. M. and Augustyniak , W. M. 1986 . Appl. Phys. Lcrr. , 48 : 463
  • Fathauer , R. W. , Hunt , B. D. and Schowalter , L. J. 1986 . Appl. Phys. ha. , 49 : 64
  • Hunt , B. D. , Lewis , N. , Hall , E. L. , Turner , L. G. , Schowalter , L. J. , Okamoto , M. and Hashimoto , S. 1986 . Marerials Research Sociery Symp. Proc. , Edited by: Gibson , J. M. , Osbourn , G. C. and Tromp , R. M. Vol. 56 , 151 Pittsburgh : Materials Research Society .
  • Hunt , B. D. , Lewis , N. , Hall , E. L. and Robertson , C. D. 1987 . J. Vuc. Sci. Technol. , B5 : 749
  • Hunt , B. D. , Schowalter , L. J. , Lewis , N. , WI , E. L. , Holuenstein , R. J. , Wesinger , T. E. , MffiUl , T. C. , Okamoto , M. and Hashimoto , S. 1986 . Mareriuls Reseurch Society Symp. Proc. , Edited by: Nemanich , R. J. , Ho , P. S. and Lau , S. S. Vol. 54 , 479 Pittsburgh : Materials Research Society .
  • Tung , R. T. , Gibson , J. M. and Poate , J. M. 1983 . Phys. Rev. Lett. , 50 : 429
  • Hashimoto , S. , Peng , J.-L. , Gibson , W. M. , Schowalter , L. J. and Fathauer , R. W. 1985 . Appl. Phys. Lett. , 47 : 1071
  • Miller , A. and Manasevit , H. M. 1965 . J. Vac. Sci. Technol. , 3 : 68
  • Ishiwara , H. and Asano , T. 1982 . Appl. Phys. Left. , 40 : 66
  • Asano , T. and Ishiwara , H. 1982 . Thin Solid Films. , 93 : 143
  • Asano , T. , Ishiwara , H. and Kaifu , N. 1983 . Jpn. J. Appl. Phys. , 22 : 1474
  • Pfeiffer , L. , Phillips , J. M. , Smith , T. P. III , Augustyniak , W. M. and West , K. W. 1985 . Appl. Phys. Lett. , 46 : 947
  • Phillips , J. M. , Pfeiffer , L. , Joy , D. C. , Smith , T. P. III , Gibson , J. M. , Augustyniak , W. M. and West , K. W. 1985 . Proc. Is1 Inf. Symp. Silicon Molecular Beam Epiraxy , Edited by: Bean , J. C. 296 Pennington, NJ : Electrochemical Society .
  • Schowalter , L. J. , Fathauer , R. W. , Turner , L. G. and Robertson , C. D. 1985 . Materials Research Sociefy Symp. Proc. , Edited by: Gibson , J. M. and Dawson , L. R. Vol. 37 , 151 Pittsburgh : Materials Research Society .
  • Phillips , J. M. , Manger , M. L. , Pfeiffer , L. , Joy , D. C. , Smith , T. P. III , Augustyniak , W. M. and West , K. W. 1986 . Marerials Research Socieiy Symp. Proc. , Edited by: Chiang , A. , Geis , M. W. and Pfeiffer , L. Vol. 53 , 155 Pittsburgh : Materials Research Society .
  • Fathauer , R. W. and Schowalter , L. J. 1984 . Appl. Phys. Lett. , 45 : 519
  • Gilman , J. J. 1960 . J. Appl. Phys. , 31 : 2208
  • Tasker , P. W. 1980 . J. Phys. (Paris) , 41 : C6
  • Benson , G. C. and Claxton , T. A. 1963 . Can. J. Phys. , 41 : 1287
  • Loebs , V. A. , Haas , T. W. and Solomon , J. S. 1983 . J. Vac. Sci. Technol. , A1 : 596
  • Hashimoto , S. , Peng , J.-L. , Gibson , W. M. , Schowalter , L. J. and Fathauer , R. W. 1985 . Appl. Phys. Lett. , 47 : 1071
  • Schowalter , L. J. , Fathauer , R. W. , Ponce , F. A. , Anderson , G. and Hashimoto , S. 1986 . Morerials Research Society Symp. Proc. , Edited by: Fan , J. C. C. and Poate , I. M. Vol. 67 , 125 Pittsburgh : Materials Research Society .
  • Matthews , J. W. 1975 . Materials Science Series: Epirarial Growth. Part B. , Edited by: Matthews , J. W. 559 New York : Academic Press .
  • Hashimoto , S. , Schowalter , L. J. , Fathauer , R. W. and Gibson , W. M. 1986 . Marerials Research Society Symp. Proc. , Edited by: Gibson , J. M. , Osbourn , G. C. and Tromp , R. M. Vol. 56 , 247 Pittsburgh : Materials Research Society .
  • Phillips , J. M. , Feldman , L. C. , Gibson , J. M. and McDonald , M. L. 1983 . Thin Solid Films. , 107 : 217
  • Sullivan , P. W. , Farrow , R. F. C. and Jones , G. R. 1982 . J. Crysral Growrh. , 60 : 403
  • Frank , F. C. and Van der Merwe , J. H. 1949 . Proc. R. SOC. (London). , A198 : 205 A198, 216, 1949; A200. 125, 1949; A201, 261, 1950.
  • Jesser , W. A. and Kuhlmann-Wilsdorf , D. 1967 . Phys. Srarus Solid. , 19 : 95
  • Phillips , J. M. 1985 . Marerials Research Society Symp. Proc. , Edited by: Gibson , J. M. and Dawson , L. R. Vol. 37 , 143 Pittsburgh : Materials Research Society .
  • Zogg , H. 1986 . Appl. Phys. Lett. , 49 : 933
  • Olmstead , M. A. , Uhrberg , R. I. G. , Bringans , R. D. and Bachrach , R. Z. 1986 . J. Vac. Sci. Technol. , B34 : 1123 Olmstead. M. A, private communication.
  • Liehr , M. , Thiry , P. A. , Pireaux , J. J. and Caudano , R. 1986 . Phys. Rev. , B34 : 7471
  • Phillips , J. M. and Yashinovitz , C. Y. 1984 . J. Vac. Sci. Technol. , A2 : 415
  • Tsutsui , K. , Ishiwara , H. , Asano , T. and Furukawa , S. 1985 . Appl. Phys. Lett. , 46 : 1131
  • Sullivan , P. W. , Bower , J. E. and Metze , G. M. 1985 . J. Vac. Sci. Technol. , B3 : 500
  • Siskos , S. , Fontaine , C. and Munoz-Yague , A. 1984 . J. Appl. Phys. , 56 : 1642
  • Phillips , J. M. , Feldman , L. C. , Gibson , J. M. and McDonald , M. L. 1983 . J. Vac. Sci. Technol. , B1 : 246
  • Sullivan , P. W. 1984 . Appl. Phys. Lett. , 44 : 190
  • Tu , C. W. , Sheng , T. T. , Read , M. H. , Schlier , A. R. , Johnson , J. G. , Johnston , W. D. Jr. and Bonner , W. A. 1983 . J. Electrochem Soc , 130 : 2081
  • Sullivan , P. W. , Cox , T. I. , Farrow , R. F. C. , Jones , G. R. , Gasson , D. B. and Smith , C. S. 1982 . J, Vac. Sci. Technol. , 20 : 731
  • Zogg , H. , Vogt , W. and Melchior , H. 1984 . Appl. Phys. Leu. , 45 : 286
  • Ishiwara , H. and Asano , T. 1982 . Jpn. Appl. Phys. , 22 ( Suppl. 22–1 ) : 201
  • Tu , C. W. , Forrest , S. R. and Johnston , W. D. Jr. 1983 . Appl. Phys. Lett. , 43 : 569
  • Sugiyama , K. 1984 . J. Appl. Phys. , 56 : 1733
  • Fathauer , R. W. and Schowalter , L. J. 1987 . J. Elecrron. Muter. , 16 : 169
  • Schowalter , L. J. and Fathauer , R. W. 1985 . Proc. 1st Inr. Symp. Silicon Molecular Beam Epirary. , Edited by: Bean , J. C. 311 Pennington, NJ : Electrochemcial Society .
  • Fathauer , R. W. 1987 . Ph. D. thesis , Ithaca. NY. : Cornell University .
  • Smith , T. P. III , Phillips , J. M. , People , R. , Gibson , J. M. , Pfeiffer , L. and Stiles , P. J. 1986 . Marcrials Research Society Symp. Proc. , Edited by: Nemanich , R. J. , Ho , P. S. and Lau , S. S. Vol. 54 , 295 Pittsburgh : Materials Research Society .
  • Smith , T. P. III , Phillips , J. M. , People , R. , Gibson , J. M. and Stiles , P. J. 1985 . Marerials Research Society Symp. Proc. , Edited by: Gibson , J. M. and Dawson , L. R. Vol. 37 , 163 Pittsburgh : Materials Research Society .
  • People , R. , Smith , T. P. III , Phillips , J. M. , Augustyniak , W. M. and West , K. W. 1985 . Materials Research Society Symp. Proc. , Edited by: Gibson , J. M. and Dawson , L. R. Vol. 37 , 169 Pittsburgh : Materials Research Society .
  • Nicollian , E. H. and Brews , J. R. 1982 . MOS Physics and Technology , New York : John Wiley & Sons . chap. 4.
  • Ishiznka , A. and Shiraki , Y. 1986 . J. Elecrrochem. Soc. , 133 : 666
  • Kugiyama , K. , Hirofuji , Y. and Matsuo , N. 1985 . J. Appl. Phys. , 24 : 564
  • Donnay , J. D. H. and Ondik , H. M. 1973 . Ctysral Dora Deferminufive Tables. 3rd ed. , Washington, D.C. : National Bureau of Standards .
  • Mankiewich , P. M. , Graighead , H. G. , Harrison , T. R. and Dayem , A. H. 1984 . Appl. Phys. Lett. , 44 : 468
  • Smith , T. P. III , Phillips , J. M. , Augustyniak , W. M. and Stiles , P. J. 1984 . Appl. Phys. Lett. , 45 : 907
  • Ishiwara , H. , Asano , T. , Lee , H. C. , Kuriyama , Y. , Seki , K. and Furukawa , S. 1986 . Materials Research Society Symp. Proc. , Edited by: Fan , J. C. C. and Poate , J. M. Vol. 67 , 105 Pittsburgh : Materials Research Society .
  • Zogg , H. and Blunier , S. 1986 . Appl. Phys. Lett. , 49 : 1531
  • Heral , H. , Bernard , L. , Rocher , A. , Fontaine , C. and Munoz-Yague , A. 1987 . J. Appl. Phys. , 61 : 2410
  • Asano , T. and Ishiwara , H. 1984 . J. Appl. Phys. , 55 : 3566
  • Fathauer , R. W. , Lewis , N. , Hall , E. L. and Schowalter , L. J. 1986 . J. Appl. Phys. , 60 : 3886
  • Sasaki , M. and Onoda , H. 1986 . J. Appl. Phys. , 59 : 3104
  • Asano , T. , Kuriyama , Y. and Ishiwara , H. 1985 . Electron. Lett. , 21 : 386
  • Kastalsky , A. , Luryi , S. , Bean , J. C. and Sheng , T. T. 1985 . Proc. 1st Inr. Symp. Silicon Molecular Beam Epirary. , Edited by: Bean , J. C. 406 Pennington, NJ : Electrochemical Society .
  • Onoda , H. , Katoh , T. , Hirashita , N. and Sasaki , M. 1985 . IEDM Tech. Dig. , : 680
  • Lee , H. C. , Asano , T. , Ishiwara , H. and Furukawa , S. 1986 . Jpn. J. Appl. Phys. , 25 : L595
  • Zogg , H. and Norton , P. 1985 . IEDM Tech. Dig. , : 121
  • Asano , T. and Ishiwara , H. 1982 . Jpn. J. Appl. Phys. , 21 : L630
  • Siskos , S. , Fontaine , C. and Munoz-Yague , A. 1984 . Appl. Phys. Lett. , 44 : 1146
  • Stowell , M. J. 1975 . Epifuxial Growth. , Edited by: Part , B. and Matthews , J. W. New York : Academic Press .
  • Lam , H. W. , Tasch , A. F. Jr. and Pinizzotto , R. F. 1982 . VLSI Electronics - Microstructure Science , Edited by: Einsprach , N. G. New York : Academic Press .
  • Goodnick , S. M. , Gann , R. G. , Sites , J. R. , Ferry , D. K. , Wilmsen , C. W. , Fathy , D. and Krivanek , O. L. 1983 . J. Vuc. Sci. Technol. , B1 : 803
  • Ihara , M. , Arimoto , Y. , Jifuku , M. , Kimura , T. , Kodama , S. , Yamawaki , H. and Yamaoka , T. 1982 . J. Elecrrochem. Soc. , 129 : 2569
  • Egami , K. , Mikami , M. and Tsuya , H. 1983 . Appl. Phys. Lett. , 43 : 757
  • Kado , Y. and Arita , Y. 1987 . J. Appl. Phys. , 61 : 2398
  • Johnson , E. and Chadderton , L. T. 1983 . Radiar. Eff , 79 : 183
  • DiMaria , D. J. , Dong , D. W. , Falcony , C. , Theis , T. N. , Kirtly , J. R. , Tsang , J. C. , Young , D. R. and Pesavento , F. L. 1983 . J. Appl. Phys. , 54 : 5801
  • Kawamata , Y. , Hojo , S. and Yada , K. 1984 . Jpn. J. Appl. Phys. , 23 : L579
  • Schowalter , L. J. , Fathauer , R. W. , Lewis , N. and Hall , E. L. 1986 . paper presented at the Fall Meeting of the Materials Research Society . 1986 , Boston.
  • Beaumont , J. H. , Hayes , W. , Kirk , D. L. and Summers , G. P. 1970 . Proc. R. SOC. (London) , A315 : 69
  • Norgett , M. J. and Stoneham , A. M. 1973 . J. Phys. C. , 6 : 229
  • Foreman , J. E. H. 1972 . AERE Hanvell Rep. No. AERE-R7135 ,
  • Carr , G. L. , Henry , R. L. , Russell , N. E. , Garland , J. C. and Taper , D. B. 1981 . Phys. Rev. , B24 : 777
  • Primak . 1948 . J. Am. Chem. Soc. , 70 : 2034
  • Tsutsui , K. , Lee , H. C. , Ishiwara , H. , Asano , T. and Furukawa , S. 1986 . GaAs and Relared Compounds 1985, Inst. Phys. Cotf Ser. , Vol. 79 , 109 Adam Hilger .
  • Sinharoy , S. , Hoffman , R. A. , Rieger , J. H. , Takei , W. J. and Farrow , R. F. C. 1985 . J. Vac. Sci. Technol. , B3 : 722
  • Sinharoy , S. , Hoffman , R. A. , Farrow , R. F. C. and Rieger , J. H. 1985 . J. Vac. Sci. Technol. , A3 : 2323
  • Morimoto , Y. , Matsumoto , S. , Sudo , S. and Yoneda , K. Marerials Research Sociery Symp. Proc. , Pittsburgh, in press.
  • McMullin , P. G. and Sinharoy , S. J. Vac. Sci. Technol. , in press.

Reprints and Corporate Permissions

Please note: Selecting permissions does not provide access to the full text of the article, please see our help page How do I view content?

To request a reprint or corporate permissions for this article, please click on the relevant link below:

Academic Permissions

Please note: Selecting permissions does not provide access to the full text of the article, please see our help page How do I view content?

Obtain permissions instantly via Rightslink by clicking on the button below:

If you are unable to obtain permissions via Rightslink, please complete and submit this Permissions form. For more information, please visit our Permissions help page.