Development of Oxidation Sources in Preparation of High-T_c Oxide Superconductor Thin Films Using the Molecular Beam Epitaxy Method

References

• Bednorz , J. G. and Müller , K. A. 1986 . Z. Phy. , B64 : 189
   Google Scholar
• Uchida , S. , Takagi , H. , Kitazawa , K. and Tanaka , S. 1987 . Jpn. J. Appl. Phys. , 26 : LI
   Google Scholar
• Katz , L. E. 1988 . VLSI Technology, , 2nd ed. , Edited by: Sze , S. M. 98 New York : McGraw-Hill .
   Google Scholar
• Jorgensen , J. D. , Beno , M. A. , Hinks , D. G. , Soderholm , L. , Volin , K. J. , Hitterman , R. L. , Grace , J. D. and Shuller , I. K. 1987 . Phys. Rev. , B36 : 3608
   Web of Science ®Google Scholar
• Cho , A. , ed. 1994 . Molecular Beam Epitaxy , New York : AIP Press .
   Google Scholar
• Nastasi , M. , Arendt , P. N. , Tesmer , J. R. , Maggiore , C. J. , Cordi , R. C. , Bish , D. L. , Thompson , J. D. , Cheong , S.-W. , Bordes , N. , Smith , J. F. and Raistrick , I. D. 1987 . J. Mater. Res. , 2 : 726
   Google Scholar
• Tsaur , B.-Y. , Dilorio , M. S. and Strauss , A. J. 1987 . Appl. Phys. Lett. , 51 : 858
   Web of Science ®Google Scholar
• Chaudhari , P. , Koch , R. H. , Laibowitz , R. B. and McGuire , T. R. 1987 . Phys. Rev. Lett. , 58 : 2684
   PubMed Web of Science ®Google Scholar
• Laibowitz , B. , Koch , R. H. , Chaudhari , P. and Gambino , R. J. 1987 . Phys. Rev. , B35 : 8821
   Google Scholar
• Kwo , J. , Hsieh , T. C. , Fleming , R. M. , Hong , M. , Liou , S. H. , Davidson , B. A. and Feldman , L. C. 1987 . Phys. Rev. , B36 : 4039
   Google Scholar
• Oh , B. , Naito , M. , Arnason , S. , Rosenthal , P. , Barton , R. , Beasley , M. R. , Geballe , T. H. , Hammond , R. H. and Kapitulnik , A. 1987 . Appl. Phys. Lett. , 51 : 852
   Web of Science ®Google Scholar
• Bao , Z.-L. , Wang , F.-R. , Jiang , Q.-D. , Wang , S.-Z. , Ye , Z.-Y. , Wu , K. , Li , C.-Y. and Yin , D.-L. 1987 . Appl. Phys. Letr. , 51 : 946
   Web of Science ®Google Scholar
• Webb , C. , Weng , S.-L. , Eckstein , J. N. , Missert , N. , Char , K. , Schlom , D. G. , Hellman , E. S. , Beasley , M. R. , Kapitulnik , A. and Harris , J. S. Jr. 1987 . Appl. Phy. Lett. , 51 : 1191
   Web of Science ®Google Scholar
• Mankiewich , P. M. , Scofield , J. H. , Skocpol , W. J. , Howard , R. E. , Dayem , A. H. and Good , E. 1987 . Appl. Phys. Lett. , 51 : 1753
   Web of Science ®Google Scholar
• Siegal , M. P. , Phillips , J. M. , Hsieh , Y.-F. and Marshall , J. H. 1990 . Physica C , 172 : 282
   Web of Science ®Google Scholar
• Yoshitake , T. , Satoh , T. , Kubo , Y. and Igarashi , H. 1988 . Jpn. J. Appl. Phys. , 27 : L1089
   Web of Science ®Google Scholar
• Yoshitake , T. , Satoh , T. , Kubo , Y. and Igarashi , H. 1988 . Jpn. J. Appl. Phys. , 27 : L1262
   Web of Science ®Google Scholar
• Scheel , H. J. , Berkowski , M. and Chabot , B. 1991 . Physica C , 185-189 : 2095
   Web of Science ®Google Scholar
• Lathrop , D. K. , Russek , S. E. and Buhrman , R. A. 1987 . Appl. Phys. Lett. , 5I : 1554
   Web of Science ®Google Scholar
• Silver , R. M. , Berezin , A. B. , Wendman , M. and de Lozanne , A. L. 1988 . Appl. Phys. Lett. , 52 : 2174
   Web of Science ®Google Scholar
• Berberich , P. , Tale , J. , Dietsche , W. and Kinder , H. 1988 . Appl. Phys. Lett. , 53 : 925
   Web of Science ®Google Scholar
• Berberich , P. , Utz , B. , Prusseit , W. and Kinder , H. 1994 . Physica C , 219 : 497
   Web of Science ®Google Scholar
• Price , R. J. , Jackman , R. B. and Foord , J. S. 1988 . J. Appl. Phys. , 64 : 6799
   Web of Science ®Google Scholar
• Schlom , D. G. , Marshall , A. F. , Sizemore , J. T. , Chen , Z.-J. , Eckstein , J. N. , Bozovic , I. , von Dessonneck , K. E. , Harris , J. S. Jr. and Bravman , J. C. 1990 . J. Crystal Growth , 102 : 361
   Web of Science ®Google Scholar
• Shimizu , T. , Nonaka , H. and Arai , K. 1992 . Surf: Interface Anal. , 19 : 365
   Web of Science ®Google Scholar
• Briggs , D. and Seah , M. P. 1990 . Practical Surface Analysis, Vol. 1, , 2nd ed. , Chichester : John Wiley & Sons .
   Google Scholar
• Chu , W. K. , Mayer , J. W. and Nicolet , A. M. 1978 . Backscattering Spectroscopy , New York : Academic Press .
   Google Scholar
• Okada , K. and Kotani , A. 1989 . J. Phys. Soc. Jpn. , 58 : 2578
   Google Scholar
• Ghijsen , J. , Tjeng , L. H. , van Elp , J. , Eskes , H. , Westerink , J. , Sawatzky , G. A. and Czyzyk , M. T. 1988 . Phys. Rev. , B38 : 11322
   Web of Science ®Google Scholar
• Wagner , C. D. , Riggs , W. M. , Davis , L. E. , Moulder , J. F. and Muilenberg , G. E. 1979 . Handbook of X-Ray Photoelectron Spectros copy , Norwalk, CT : Perkin-Elmer Corp. .
   Google Scholar
• Seah , M. P. and Dench , W. A. 1979 . Surf. Interface Anal. , 1 : 2
   Google Scholar
• Tanuma , S. , Powell , C. J. and Penn , D. R. 1994 . Surf. Interface. Anal. , 21 : 165
   Web of Science ®Google Scholar
• Henrich , V. R. and Cox , P. A. 1994 . The Surface Science of Metal Oxides , 233 Cambridge : Cambridge University Press .
   Google Scholar
• Briggs , D. and Seah , M. P. 1990 . Practical Surface Analysis, Vol. 1, , 2nd ed. , 595 Chichester : John Wiley & Sons .
   Google Scholar
• Appleton , B. R. and Feldman , L. C. 1972 . J Phys. Chem. Solid. , 33 : 507
   Web of Science ®Google Scholar
• Ranno , L. , Perriere , J. , Enard , J. P. , Kerherve , F. , Laurent , A. and Perez Casero , R. 1992 . Solid State Commun. , 83 : 67
   Web of Science ®Google Scholar
• Behrisch , R. , ed. 1981 . Sputtering by Particle Bombardment , Vol. 1 , Berlin : Springer-Verlag .
   Google Scholar
• Ye , J. and Nakamura , K. 1993 . Phys. Rev. , B48 : 7554
   Google Scholar
• Hashimoto , T. , Koinuma , H. and Kishio , K. 1991 . Jpn. J. Appl. Phys. , 30 : 1685
   Web of Science ®Google Scholar
• Chase , M. W. Jr. , Davies , C. A. , Downey , J. R. Jr. , Frurip , D. J. , McDonald , R. A. and Syverud , A. N. 1985 . JANAF Thermochemical Tables, , 3rd ed. , J. Phys. Chem. Ref. Data, 14 Suppl. 1
   Google Scholar
• Terashima , T. , Iijima , K. , Yamamoto , K. , Bando , Y. and Mazaki , H. 1988 . Jpn. J. Appl. Phys. , 27 : L91
   Web of Science ®Google Scholar
• Terashima , T. , Iijima , K. , Yamamoto , K. , Takada , J. , Hirata , K. , Mazaki , H. and Bando , Y. 1989 . J. Crystal Growth , 95 : 617
   Web of Science ®Google Scholar
• Terashima , T. , Bando , Y. , Iijima , K. , Yamamoto , K. and Hirata , K. 1988 . Appl. Phys. Lett. , 53 : 2232
   Web of Science ®Google Scholar
• Terashima , T. , Bando , Y. , Iijima , K. , Yamamoto , K. , Hirata , K. , Hayashi , K. , Kamigaki , K. and Terauchi , H. 1990 . Phys. Rev. Lett. , 65 : 2684
   PubMed Web of Science ®Google Scholar
• Gong , J. P. , Kawasaki , M. , Fujito , K. , Tsuchiya , R. , Yoshimoto , M. and Koinuma , H. 1994 . Phys. Rev. , B50 : 3280
   Google Scholar
• Terashima , T. , Shimura , K. , Bando , Y. , Matsuda , Y. , Fujiyama , A. and Komiyama , S. 1991 . Phys. Rev. Lett. , 67 : 1362
   PubMed Web of Science ®Google Scholar
• Spah , R. J. , Hess , H. F. , Stormer , H. L. , White , A. E. and Short , K. T. 1988 . Appl. Phys. Lett. , 53 : 441
   Web of Science ®Google Scholar
• Kwo , J. , Hong , M. , Trevor , D. J. , Fleming , R. M. , White , A. E. , Farrow , R. C. , Kortan , A. R. and Short , K. T. 1988 . Appl. Phys. Lett. , 53 : 2683
   Web of Science ®Google Scholar
• Schlom , D. G. , Eckstein , J. N. , Hellman , E. S. , Streiffer , S. K. , Harris , J. S. Jr. , Beasley , M. R. , Bravman , J. C. , Geballe , T. H. , Webb , C. , von Dessonneck , K. E. and Turner , F. 1988 . Appl. Phys. Lett. , 53 : 1660
   Web of Science ®Google Scholar
• Yoshitake , T. , Fujita , J. , Kubo , Y. , Igarashi , H. and Satoh , T. 1989 . Appl. Phys. Lett. , 54 : 572
   Web of Science ®Google Scholar
• Satoh , T. , Yoshitake , T. , Miura , S. , Fujita , J. , Kubo , Y. and Igarashi , H. 1989 . Appl. Phys. Lett. , 55 : 702
   Web of Science ®Google Scholar
• Missert , N. , Hammond , R. , Mooji , J. E. , Matijasevic , V. , Rosenthal , P. , Geballe , T. H. , Kapitulnik , A. , Beasley , M. R. , Laderman , S. S. , Lu , C. , Garwin , E. and Barton , R. 1989 . IEEE Trans. Mag. , 25 : 2418
   Web of Science ®Google Scholar
• Matijasevic , V. , Garwin , E. L. and Hammond , R. H. 1990 . Rev. Sci. Instrum. , 61 : 1747
   Web of Science ®Google Scholar
• Bashkin , S. and Stoner , J. O. Jr. 1975 . Atomic Energy Levels and Grotrian Diagrams , Vol. 1 , 164 Amsterdam : North-Holland .
   Google Scholar
• Moriwaki , K. , Enomoto , Y. , Kubo , S. and Murakami , T. 1988 . Jpn. J. Appl. Phys. , 27 : L2075
   Web of Science ®Google Scholar
• Aida , T. , Tsukamoto , K. , Imagawa , K. , Fukazawa , T. , Saito , S. , Shindo , K. , Takagi , K. and Miyauchi , K. 1989 . Jpn. J. Appl. Phys. , 28 : L635
   Web of Science ®Google Scholar
• Haberland , H. , Karrais , M. , Mall , M. and Thurner , Y. 1992 . J. Vac. Sci. Technol. , A10 : 3266
   Google Scholar
• Kita , R. , Hase , T. , Itti , R. , Sasaki , M. , Morishita , T. and Tanaka , S. 1992 . Appl. Phys. Lett. , 60 : 2684
   Web of Science ®Google Scholar
• Berkley , D. D. , Johnson , B. R. , Anand , N. , Beauchamp , K. M. , Conroy , L. E. , Goldman , A. M. , Maps , J. , Mauersberger , K. , Mecartney , M. L. , Morton , J. , Tuominen , M. and Zhang , Y.-J. 1988 . Appl. Phys. Lett. , 53 : 1973
   Web of Science ®Google Scholar
• Horvath , M. , Bilitzky , L. and Huttner , J. 1985 . Ozone , 231 New York : Elsevier .
   Google Scholar
• Kamigaki , K. , Terauchi , H. , Terashima , T. , Bando , Y. , Iijima , K. , Yamamoto , K. , Hirata , K. , Hayashi , K. , Nakagawa , I. and Tomii , Y. 1991 . J. Appl. Phys. , 69 : 3653
   Web of Science ®Google Scholar
• Horvath , M. , Bilitzky , L. and Huttner , J. 1985 . Ozone , 15 New York : Elsevier .
   Google Scholar
• Berkley , D. D. , Goldman , A. M. , Johnson , B. R. , Morton , J. and Wang , T. 1989 . Rev. Sci. Instrum. , 60 : 3769
   Web of Science ®Google Scholar
• Hosokawa , S. and Ichimura , S. 1991 . Rev. Sci. Instrum. , 62 : 1614
   Web of Science ®Google Scholar
• Coleman , E. , Siegrist , T. , Mixon , D. A. , Trevor , P. L. and Trevor , D. J. 1991 . J. Vac. Sci. Technol. , A9 : 2408
   Google Scholar
• Horvath , M. , Bilitzky , L. and Huttner , J. 1985 . Ozone , 16 New York : Elsevier .
   Google Scholar
• Nonaka , H. , Shimizu , T. , Ichimura , S. and Arai , K. 1993 . J. Vac. Sci. Technol. , A11 : 2676
   Google Scholar
• Nonaka , H. , Shimizu , T. and Arai , K. 1993 . Physica C , 217 : 280
   Web of Science ®Google Scholar
• Shimizu , T. , Hirayama , F. , Oka , K. , Nonaka , H. , Matsuda , M. and Arai , K. 1994 . Appl. Phys. Lett. , 64 : 1289
   Web of Science ®Google Scholar
• Nakayama , Y. , Ochimizu , H. , Maeda , A. , Kawazu , A. , Uchinokura , K. and Tanaka , S. 1989 . Jpn. J. Appl. Phys. , 28 : L1217
   Web of Science ®Google Scholar
• Nakayama , Y. , Tsukada , I. , Maeda , A. and Uchinokura , K. 1989 . Jpn. J. Appl. Phys. , 28 : L1809
   Web of Science ®Google Scholar
• Nakayama , Y. , Tsukada , I. and Uchino kura , K. 1991 . J. Appl. Phys. , 70 : 4371
   Web of Science ®Google Scholar
• Sakai , S. , Kasai , Y. and Bodin , P. 1992 . Jpn. J. Appl. Phys. , 31 : L399
   Web of Science ®Google Scholar
• Bodin , P. , Sakai , S. and Kawai , Y. 1992 . Jpn. J. Appl. Phys. , 31 : L949
   Web of Science ®Google Scholar
• Sawa , A. , Obara , H. and Kosaka , S. 1994 . Appl. Phys. Lett. , 64 : 649
   Web of Science ®Google Scholar
• Okabe , H. 1978 . Photochemistry of Small Molecules , 238 New York : John Wiley & Sons .
   Google Scholar
• Siegrist , T. , Mixon , D. A. , Coleman , E. and Tiefel , T. H. 1992 . Appl. Phy. Lett. , 60 : 2489
   Web of Science ®Google Scholar
• King , L. L. H. , Hsieh , K. Y. , Lichten-walner , D. J. and Kingon , A. I. 1991 . Appl. Phys. Lett. , 59 : 3045
   Web of Science ®Google Scholar
• Bade , J. P. , Baker , E. A. , Kingon , A. I. , Davis , R. F. and Bachmann , K. J. 1990 . J. Vac. Sci. Technol. , B8 : 327
   Google Scholar
• Endo , K. , Teherani , F. H. , Yshida , S. , Kajimura , K. and Moriyasu , Y. 1994 . MRS Symp. Proc. , 134 : 543
   Google Scholar
• Bailar , J. C. Jr. , Emeléus , H. J. , Nylom , R. and Trotman-Dickenson , A. F. , eds. 1973 . Comprehensive Inorganic Chemistry , Vol. 2 , 316 New York : Pergamon Press .
   Google Scholar
• Gupta , A. and Hussey , B. W. 1991 . Appl. Phys. Lett. , 58 : 1211
   Web of Science ®Google Scholar
• Kanai , M. , Kawai , T. , Kawai , S. and Tabata , H. 1989 . Appl. Phys. Lett. , 54 : 1802
   Web of Science ®Google Scholar
• Obara , H. , Kosaka , S. , Yokoyama , Y. , Urneda , M. and Kimura , Y. 1991 . Phys. Rev. , B44 : 4532
   Google Scholar
• Okabe , H. 1978 . Photochemistry of Small Molecules , 340 New York : John Wiley & Sons .
   Google Scholar
• Davis , H. F. , Suits , A. G. and Lee , Y. T. 1992 . J. Chem. Phys. , 96 : 6710
   Web of Science ®Google Scholar
• Watanabe , S. , Kawai , M. and Hanada , T. 1990 . Jpn. J. Appl. Phys. , 29 : L1111
   Web of Science ®Google Scholar
• Norimoto , K. , Sekine , R. , Mori , M. , Hanada , T. , Kudo , M. and Kawai , M. 1992 . Appl. Phys. Lett. , 61 : 1971
   Web of Science ®Google Scholar
• Nonaka , H. , Shimizu , T. and Arai , K. 1990 . Appl. Phys. Lett. , 57 : 2850
   Web of Science ®Google Scholar
• Nonaka , H. , Shimizu , T. and Arai , K. 1991 . Rev. Sci. Instrum. , 62 : 2154
   Web of Science ®Google Scholar
• Ogiwara , M. , Abe , H. and Yamada , T. 1991 . Jpn. J. Appl. Phys. , 30 : L703
   Web of Science ®Google Scholar
• Nonaka , H. , Shimizu , T. , Hosokawa , S. , Ichimura , S. and Arai , K. 1992 . Surf. Interface Anal. , 19 : 353
   Web of Science ®Google Scholar
• Shimada , H. , Miyama , S. and Kuroda , H. 1988 . Chem. Lett. , : 1797
   Web of Science ®Google Scholar
• Hubler , K. 1992 . Pulsed Laser Deposition, MRS Bull. , 17 : 26
   Web of Science ®Google Scholar
• Kanai , M. , Kawai , T. and Kawai , S. 1991 . Appl. Phys. Lett. , 58 : 771
   Web of Science ®Google Scholar
• Li , X.-M. , Kanai , M. , Kawai , T. and Kawai , S. 1992 . Jpn. J. Appl. Phys. , 31 : L217
   Web of Science ®Google Scholar
• Koinuma , H. , Nagata , H. , Tsukahara , T. , Gonda , S. and Yoshimoto , M. 1991 . Appl. Phys. Lett. , 58 : 2027
   Web of Science ®Google Scholar
• Li , X.-M. , Kawai , T. and Kawai , S. 1992 . Jpn. J. Appl. Phys. , 31 : L934
   Web of Science ®Google Scholar
• Kanai , M. , Kawai , T. and Kawai , S. 1992 . Jpn. J. Appl. Phys. , 31 : L331
   Web of Science ®Google Scholar