References
- Streit, D. Compound Semiconductors, Institute of Physics Publishing Ltd, May 2002; Humphreys, B.; O'Donell, A. Compound Semiconductors, Institute of Physics Publishing Ltd, August 2003; Whitaker, T. Compound Semiconductors, Institute of Physics Publishing Ltd, January 2004.
- Herre , O. , Wesch , W. , Wendler , E. , Gaiduk , P. I. , Komarov , F. F. , Klaumunzer , S. and Meier , P. 1998 . Phys. Rev. B , 58 ( 8 ) : 4832 – 4837 . (doi:10.1103/PhysRevB.58.4832)
- Wesch , W. , Kamarou , A. , Wendler , E. and Klaumünzer , S. 2006 . Nucl. Instrum. Methods B , 242 : 363 – 366 . (doi:10.1016/j.nimb.2005.08.095)
- Kamarou , A. , Wesch , W. , Wendler , E. and Klaumünzer , S. 2004 . Nucl. Instrum. Methods B , 225 : 129 – 135 . (doi:10.1016/j.nimb.2004.02.031)
- Kamarou , A. , Wesch , W. , Wendler , E. , Undisz , A. and Rettenmayr , M. 2006 . Phys. Rev. B , 73 : 184107-1 – 16 . (doi:10.1103/PhysRevB.73.184107)
- Singh , J. P. , Singh , R. , Mishra , N. C. , Ganesan , V. and Kanjilal , D. 2001 . J. Appl. Phys. , 90 : 5968 – 5972 . (doi:10.1063/1.1416864)
- Dubey , R. L. , Dubey , S. K. , Yadav , A. D. , Gupta , S. J. , Pandey , S. D. , Gundu Rao , T. K. , Mohanty , T. and Kanjilal , D. 2007 . Nucl. Instrum. Methods B , 257 : 287 – 292 . (doi:10.1016/j.nimb.2007.01.093)
- Dubey , R. L. , Dubey , S. K. , Yadav , A. D. and Kanjilal , D. 2009 . Surf. Coat. Technol. , 203 : 2637 – 2641 . (doi:10.1016/j.surfcoat.2009.02.084)
- Ciatto , G. , D'Acapito , F. , Fraboni , B. , Boscherini , F. , El Habra , N. , Cesca , T. , Gasparotto , A. , Moreira , E. C. and Priolo , F. 2003 . Nucl. Instrum. Methods B , 200 : 100 – 104 . (doi:10.1016/S0168-583X(02)01703-2)
- Gasparotto , A. , Fraboni , B. , Priolo , F. , Enrichi , F. , Mazzone , A. , Scamarcio , G. , Troccoli , M. and Mosca , R. 2001 . Mater. Sci. Eng. B , 80 : 202 – 205 . (doi:10.1016/S0921-5107(00)00632-2)
- Ziegler , J. F. 1992 . Handbook of Ion Implantation Technology , NewYork : North Holland .
- Huang , X. , Ninio , F. , Brown , L. J. and Prawer , S. 1995 . J. Appl. Phys. , 77 : 5910 – 5915 . (doi:10.1063/1.359171)
- Tiong , K. K. , Amirtharaj , P. M. , Pollak , F. H. and Aspnes , D. E. 1984 . Appl. Phys. Lett. , 44 : 122 – 124 . (doi:10.1063/1.94541)
- Dey , S. , Roy , C. , Pradhan , A. and Varma , S. 2000 . J. Appl. Phys. , 87 : 1110 – 1117 . (doi:10.1063/1.371987)
- Anastassakis, E. Proceedings of the 4th International School ISPPM, Varna, Bulgaria, May 2–18, 1985; p. 128.
- Richter , H. , Wang , Z. P. and Ley , L. 1981 . Solid State Commun. , 39 : 625 – 629 . (doi:10.1016/0038-1098(81)90337-9)
- Sui , Z. , Leong , P. P. , Herman , I. P. , Higashi , G. S. and Temkin , H. 2088 . Appl. Phys. Lett. , 60 : 2086 (doi:10.1063/1.107097)
- Bogle , K. A. , Gokhale , S. P. and Bhoraskar , V. N. 2005 . Radiat. Eff. Def. Solids , 160 : 207 – 218 . (doi:10.1080/10420150500275288)
- Xiong , Q. , Gupta , R. , Adu , K. W. , Dickey , E. C. , Lian , G. D. , Tham , D. , Fischer , J. E. and Eklund , P. C. 2003 . J. Nanosci. Nanotechnol. , 3 : 335 – 339 . (doi:10.1166/jnn.2003.208)
- Wendler , E. and Peiter , G. 2000 . J. Appl. Phys. , 87 : 7679 – 7684 . (doi:10.1063/1.373440)
- Eklund , E. A. , Snyder , E. J. and Williams , R. S. 1993 . Surf. Sci. , 285 : 157 – 180 . (doi:10.1016/0039-6028(93)90427-L)
- Tong , W. M. and Williams , R. S. 1994 . Annu. Rev. Phys. Chem. , 45 : 401 – 438 . (doi:10.1146/annurev.pc.45.100194.002153)