References
- L'Ecuyer , J. , Brassard , C. Cardinal , C. 1976 . J. Appl. Phys. , 47 : 381
- Doyle , B. L. and Peercy , P. S. 1979 . Appl. Phys. Lett. , 34 : 11
- Adrian , H. , Ischenko , G. Lehmann , M. 1978 . J. Less-Common Metals , 62 : 99
- Conlon , T. W. 1985 . Nucl. Instrum. Meth. B , 9 : 311
- Thomas , J. P. , Fallavier , M. and Ziani , A. 1986 . Nucl. Instrum. Meth. B , 15 : 443
- Stoquert , J. P. , Guillaume , G. Hage-Ali , M. 1989 . Nucl. Instrum. Meth. B , 44 : 184
- Timmers , H. , Ophel , T. R. and Elliman , R. G. 2000 . Nucl. Instrum. Meth. B , 161 : 19
- Assmann , W. , Davis , J. A. Dollinger , G. 1996 . Nucl. Instrum. Meth. B , 118 : 242
- Avasthi , D. K. , Assmann , W. Huber , H. 1998 . Nucl. Instrum. Meth. B , 142 : 117
- Arnold Bik , W. M. , De Laat , C. T.A.M. and Habraken , F. H.P.M. 1992 . Nucl. Instrum. Meth. B , 64 : 832
- Johnson , R. E. and Sundqvist , B. U.R. 1992 . Phys. , : 28 Today (March)
- Baranov , I. A. , Martynenko , Yu. V. Tsepelevich , S. O. 1988 . Sov. Phys. Uso. , 31 : 1015
- Behrisch , R. , Prozesky , V. M. Huber , H. 1996 . Nucl. Instrum. Meth. B , 118 : 262
- Zhang , S. and Xie , H. 1999 . Surf. Coat. Technol. , 113 : 120
- Ghosh , S. , Singh , F. Choudhary , D. 2001 . Surf. Coat. Technol. , 142–144 : 1034
- Ghosh , S. , Avasthi , D. K. Shah , P. 2000 . Vacuum , 57 : 377
- Toulemonde , M. , Dufour , C. and Paumier , E. 1992 . Phys. Rev. B , 46 : 14362
- Sigmund , P. and Claussen , C. 1981 . J. Appl. Phys. , 52 : 2
- Johnson , R. E. and Evatt , R. 1980 . Rad. Eff. , 52 : 187
- Pawlak , F. , Dufour , Ch. Laurent , A. 1999 . Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B , 151 : 140
- Yavlinskii , Yu. N. 2000 . Rad. Eff. Def. Sol. , 153 : 75
- Weast , R. C. 1986–1987 . CRC Handbook of Chemistry and Physics, , 67th edn , Edited by: Weast , R. C. B-82 CRC .