References
- Krauss , A. R. , Rangaswamy , M. , Lin , Y. , Gruen , D. M. , Schultz , J. A. , Schmidt , H. K. and Chang , R. P.H. 1993 . “ Multicomponent and Multilayered thin Films for Advanced Microtechnologies: Techniques, Fundamentals and ” . In NATO/ASI Book Series , Edited by: Devices , Auciello , O. and Engemann , J. vol 248 , p. 251 The Netherlands : Kluwer Academic Publishers .
- Auciello , O. , Krauss , A. R. and Im , J. 1998 . in “Metal Oxides”, topical issue of . Annual Review of Materials Science , 28 : 375
- Marchut , L. , Buck , T. M. , Wheatley , G. H. , Mc , C. J. and Mahon . 1984 . Surf. Sci. , 141 : 549
- Taglauer , E. , Englert , W. , Heiland , W. and Jackson , D. P. 1980 . Phys. Rev. Lett , 45 : 740
- Hammond , M. S. , Schultz , J. A. and Krauss , A. R. 1995 . J. Vac. Sci. Technol. , A13 : 1136
- Bhattacharya , R. S. , Eckstein , W. and Verbeek , H. 1980 . Surf. Sci. , 93 : 563
- Rabalais , J. W. 1986 . J. Chen, J. Chem. Phys. , 85 : 3617
- Schmidt , H. K. , Anderson , L. R. and Schultz , J. A. 1988–89 . Appl. Surf. Sci. , 35 : 274
- Schultz , J. A. and Schmidt , H. K. US Patent # 5 1992 087 815 .
- Smentkowski , V. S. , Krauss , A. R. , Gruen , D. M. , Holecek , J. C. and Schultz , J. A. 1998 . J. Vac. Sci. Technol. , A16 : 1779
- Krauss , A. R. , Dhote , A. , Auciello , O. , Aggarwal , S. , Ramesh , R. and Gruen , D. M. Integrated Ferroelectrics , these proceedings
- Im , J. , Krauss , A. R. , Lin , Y. , Schultz , J. A. , Auciello , O. , Gruen , D. M. and Chang , R. P.H. 1996 . Nucl. Instrum. Meth. , B118 : 772
- Schmidt , H. K. , Schultz , J. A. and Zheng , Z. 1991 . Diamond and Diamond-Like Coatings , Edited by: Clausing , R. E. p. 669 New York : Plenum Press .
- Auciello , O. , Krauss , A. R. , Im , J. , Gruen , D. M. , Irene , E. A. , Chang , R. P.H. , Mc , G. E. and Guire . 1996 . Appl. Phys. Lett. , 69 : 2671
- Im , J. , Auciello , O. and Krauss , A. R. 1999 . to be published
- Krauss , A. R. , Auciello , O. and Schultz , J. A. 1995 . MRS Bulletin , 20 : 18
- Krauss , A. R. , Im , J. , Schultz , J. A. , Smentkowski , V. S. , Waters , K. , Zuiker , C. D. , Gruen , D. M. and Chang , R. P.H. 1995 . Thin Solid Films , 270 : 130
- Auciello , O. 1997 . Integrated Ferroelectrics , 15 : 211
- Sreenivas , K. , Reaney , I. , Maeder , T. , Setter , N. , Jagadish , C. and Elliman , R. G. 1994 . J. Appl. Phys. , 75 : 232
- Bruchhaus , R. , Pitzer , D. , Eibl , O. , Scheithauer , U. and Hoesler , W. 1992 . Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , 243 : 123
- Schindler , G. , Hartner , W. , Joshi , V. , Solayappan , N. , Derbenwick , G. and Mazure , C. 1997 . Integrated Ferroelectrics , 17 : 421
- Evans , J. T. Jr. , Boyer , L. L. and Velasquez , N B. 1997 . presented at the 9th International Meeting on Ferroelectricity , Korea : Seoul .
- Im , J. , Auciello , O. , Krauss , A. R. , Dhote , A. , Gruen , D. M. , Ramesh , R. and Chang , R. P.H. 1998 . Appl. Phys. Lett. , 72 : 2529
- Darken , L S and Gurry , R W . 1953 . New York : Physical Chemistry of Metals, McGraw-Hill .
- Lin , Y. , Krauss , A. R. , Auciello , O. , Nishino , Y. , Gruen , D. M. , Schultz , J. A. and Chang , R. P.H. 1994 . J. Vac. Sci. Technol. , A 12 : 1557
- Kotecki , D. E. 1996 . Semiconductor International , Nov : 109
- Balk , P. 1995 . J. Non-Cryst. Solids , 187 : 1
- Gao , Y. , Mueller , A. H. , Irene , E. A. , Auciello , O. , Krauss , A. R. and Schultz , J. A. 1999 . J. Vac. Sci. Technol , A in press
- Kuroiwa , T. , Tsunemine , Y. , Horikawa , T. , Makita , T. , Tanimura , J. , Mikami , N. and Sato , K. 1994 . Jpn. J. Appl. Phys. , 33 : 5187 Part 1
- RECENT REVIEW BY STREIFFER ET AL .
- Suzuki , I. , Ejima , M. , Watanabe , K. , Xiong , Y. M. and Saitoh , T. 1998 . Thin Solid Films , 313–314 : 214
- Thielsch , R. , Kaemmer , K. , Holzapfel , B. and Schultz , L. 1997 . Thin Solid Films , 301 : 203