Ferroelectric SrBi₂Ta₂O₉ thin films deposited by liquid injection MOCVD using novel bimetallic alkoxide precursor

References

• Paz de Araujo , C. A. , McMillan , L. D. , Cuchiaro , J. D. and Scott , M. C. International Patent Publication No. WO 93/12542 1993 .
   Google Scholar
• Scott , J. F. , Ross , F. M. , Paz de Araujo , C. A. , Scott , M. C. and Huffman . 1996 . Mater. Res. Bull. , 20 : 33
   Web of Science ®Google Scholar
• Amanuma , K. , Hase , T. and Miyasaka , Y. 1995 . Appl. Phys. Lett. , 66 : 221
   Web of Science ®Google Scholar
• Klee , M. 1995 . paper presented at 7th International Symposium on Integrated Ferroelectrics . March 1995 , Colorado Springs, CO. pp. pp. 20 – 22 .
   Google Scholar
• Dat , R. , Lee , J. K. , Auciello , O. and Kingon , A. I. 1995 . Appl. Phys. Lett. , 67 : 572
   Web of Science ®Google Scholar
• Park , S. S. , Yang , C. H. , Ahn , J. H. , Kim , H. G. and Yoon , S. G. 1997 . J. Electrochem. Soc. , 144 : 2855
   Web of Science ®Google Scholar
• Lee , J. K. , Song , T. K. and Jung , H. J. 1997 . Integrated Ferroelectrics . 15 : 115
   Google Scholar
• Li , T. , Zhu , Y. , Desu , S. B. , Peng , C. H. and Nagata , M. 1996 . Appl. Phys. Lett. , 68 : 616
   Web of Science ®Google Scholar
• Van Buskir , P. C. , Bilodeau , S. M. , Roeder , J. F. and Kirlin , P. S. 1996 . Jpn. J. Appl. Phys. , 35 : 2520
   Web of Science ®Google Scholar
• Zhu , Y. , Desu , S. B. , Li , T. , Ramanathan , S. and Nagata , M. 1997 . J. Mater. Res. , 12 : 783
   Web of Science ®Google Scholar
• Isobe , C. , Ami , T. , Hironaka , K. , Watanabe , K. , Sugiyama , M. , nagel , N. , katori , K. , Ikeda , Y. , Gutleben , C. D. , Tanaka , M. , Yamoto , H. and Yagi , H. 1997 . Integrated Ferroelectrics . 14 : 95
   Google Scholar
• Hendrix , B. C. , Hintermaier , F. , Desrochers , D. A. , Roeder , J. F. , Bhandari , G. , Chappuis , M. , Baum , T. H. , Van Buskirk , P. C. , Dehm , C. , Fritsch , E. , Nagel , N. , Honlein , W. and Mazure , C. 1998 . Mater. Res. Soc. Symp. Proc. , 493 : 225
   Google Scholar
• Kojima , Y. , Kadokura , H. , Okuhara , Y. , Matsumoto , M. and Mogi , T. 1997 . Integrat. Ferroelectr. , 18 : 183
   Web of Science ®Google Scholar
• Jimbo , T. , Sano , H. , Takahashi , Y. , Funakubo , H. , Tokumitsu , E. and Ishiwara , H. 1999 . Jpn. J. Appl. Phys. , 38 : 6456
   Web of Science ®Google Scholar
• Crosbie , M. J. , Wright , P. J. , Davies , H. O. , Jones , A. C. , Leedham , T. J. , O'Brien , P. and Crichlow , G. W. 1999 . Chem. Vap. Deposition , 5 : 9
   Google Scholar