Metalorganic chemical vapor deposition of BaTiO₃ and SrTiO₃ thin films using a single solution source with a non-contact vaporizer

References

• Wessels , B. W. 1995 . Annu. Rev. Mater. Sci. , 25 : 525 – 546 . reference therein.
   Web of Science ®Google Scholar
• Kingon , A. I. , Streiffer , S. K. , Basceri , C. and Summerfelt , S. R. 1996 . MRS Bulletin , 21 ( 7 ) : 46 – 52 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Kwak , B. S. , Zhang , K. , Boyd , E. P. and Erbil , A. 1991 . J. Appl. Phys , 69 : 767 – 772 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Kaiser , D. L. , Vaudin , M. D. , Rotter , L. D. , Wang , Z. L. , Cline , J. P. , Hwang , C. S. , Marinenko , R. B. and Gillen , J. G. 1995 . Appl. Phys. Lett. , 66 : 2801 – 03 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Lesaicherre , P. Y. , Yamaguchi , H. , Sakuma , T. , Miyasaka , Y. , Yoshida , M. and Ishitani , A. 1993 . Mat. Res. Soc. Sym. Proc. , 310 : 487 – 494 .
   Google Scholar
• Kobayashi , I. , Wakao , Y. , Tominaga , K. and Okada , M. 1994 . Jpn. J. Appl. Phys. , 33 : 4680 – 83 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Arai , T. T. , Inaishi , Y. , Sawado , Y. , Kobayashi , I. and Hidaka , J. 1996 . Jpn. J. Appl. Phys. , 35 : 4875 – 79 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Kiyotoshi , M. and Eguchi , K. 1995 . Appl. Phys. Lett. , 67 : 2468 – 70 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Cho , H.-J. , Lee , B. T. , Shin , J. C. and Kim , H. L. 1997 . Integr. Ferroelectr. , 14 : 115 – 122 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Lee , J. S. , Song , H. W. , Jun , B. H. , Kwack , D. h. , Yu , B. G. , Jiang , Z.-T. and No , K. 1997 . Thin Solid Films , 61 : 154 – 301 .
   Google Scholar
• van Buskirk , P. C. , Bilodeau , S. , Roeder , J. F. and Kirlin , P. S. 1996 . Jpn. J. Appl. Phys. , 35 : 2520 – 25 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Hwang , C. S. , Kang , C. S. , Cho , H-J , Park , S. O. , Lee , B. T. , Kim , J. W. , Horii , H. , Lee , S. I. and Lee , M. Y. 1996 . Integr. Ferroelectr. , 12 : 199 – 213 .
   Web of Science ®Google Scholar