REFERENCES
- Kim , Y. W. , Oh , C. B. , Ko. , Y. G. , Lee , K. T. , Ahn , J. H. , Park , T. S. , Kang , H. S. , Lee , D. H. , Jung , M. K. , Ju , H. J. , Jung , K. S. , Liu , S. H. , Oh , B. J. , Kim , K. S. , Lee , N. I. , Park , M. H. , Bae , G. J. , Lee , S. G. , Song , W. S. , Wee , Y. G. , Jeon , C. H. and Suh , K. P. 2002 . Electron Devices Meet. . Tech. Dig. Int. , 69
- Jung , H.-J. , Kim , Y.-S. , Kim , J. P. , Lee , J. H. , Lee , J.-H. , Lee , N.-I. , Kang , H.-K. , Suh , K.-P. , Ryu , H. J. , Oh , C.-B. , Kim , Y.-W. , Cho , K.-H. , Baik , H.-S. , Chung , Y. S. , Chang , H. S. and Moon , D. W. 2002 . Electron Devices Meet. . Tech. Dig. Int. , 853
- Cho , M. , Park , J. , Park , H. B. , Hwang , C. S. , Jeong , J. and Hyun , K. S. 2002 . Appl. Phys. Lett. , 81 : 334 http://dx.doi.org/10.1063%2F1.1492320
- Wilk , G. D. and Wallace , R. M. 1999 . Appl. Phys. Lett. , 74 : 2854 http://dx.doi.org/10.1063%2F1.124036
- Wilk , G. D. , Wallace , R. M. and Anthony , J. M. 2001 . J. Appl. Phys. , 89 : 5243 http://dx.doi.org/10.1063%2F1.1361065
- Quevedo-Lopez , M. A. , El-Bouanani , M. , Kim , M. J. , Gnade , B. E. , Wallace , R. M. , Visokay , M. R. , LiFatou , A. , Bevan , M. J. and Colombo , L. 2002 . Appl. Phys. Lett. , 81 : 1609 http://dx.doi.org/10.1063%2F1.1502910
- Cho , M. , Park , H. B. , Park , J. , Hwang , C. S. , Lee , J-C. , Oh , S-J. , Jeong , J. H. , Hyun , K. S. , Kang , H. S. , Kim , Y. W. and Lee J. , J. H. 2003 . Appl. Phys. , 94 : 2563 http://dx.doi.org/10.1063%2F1.1590414
- Jeon , I. S. , Park , J. , Eom , D. , Hwang , C. S. , Kim , H. J. , Park , C. J. , Cho , H. Y. , Lee , J.-H. , Lee , N.-I. and Kang , H.-K. 2003 . Appl. Phys. Lett. , 82 : 1066 http://dx.doi.org/10.1063%2F1.1554773
- Johnson , R. S. , Lucovski , G. and Baumvol , I. 2001 . J. Vac. Sci. Technol. A. , 19 : 1353 http://dx.doi.org/10.1116%2F1.1379316
- Lee , J. H. , Koh , K. , Lee , N. I. , Cho , M. H. , Kim , Y. K. , Jeon , J. S. , Cho , K. H. , Shin , H. S. , Kim , M. H. , Fujihara , K. , Kang , H. K. and Moon , J. T. 2000 . Electron Devices Meet. . Tech. Dig. Int. , 645