REFERENCES
- Harada, K. , Ikeda, K. , Kuwayama, H. , and Murayama, H. , 1999. Sens. & Actuat. A73 (1999), p. 261.
- Grover, W. H. , Skelley, A. M. , Liu, N. C. , Lagally, E. T. , and Mathies, R. A. , 2003. Sens. & Actuat. B89 (2003), p. 315.
- Yamashita, K. , Katata, H. , Okuyama, M. , Miyoshi, H. , kato, G. , Aoyagi, S. , and Suzuki, Y. , 2002. Sens. & Actuat. A97–98 (2002), p. 302.
- Madou, M. J. , 2002. Fundamentals of microfabrication the Science of miniaturization . CRC Press, New York; 2002.
- Nguyen, N. T. , and Wereley, S. T. , 2001. Fundamental and Applications of Microfluidics . Artech House, Boston-London; 2001.
- Bühler, J. , Funk, J. , Paul, O. , Baltes, H. , and Steiner, F. P. , 1995. Sens. & Actuat. A47 (1995), p. 572.
- Tang, W. C. , Nguyen, T. H. , and Howe, R. T. , 1989. Sens. & Actuat. A20 (1989), p. 25.
- Mahadevan, R. , Mehregany, M. , and Gabriel, K. J. , 1990. Sens. & Actuat. A21 (1990), p. 219.
- Shin, S. , Song, S. G. , Lee, Y. S. , Lee, N. E. , Park, J. S. , Park, H. D. , and Lee, J. , 2003. Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003), p. 6139, [CSA].
- Brunahl, J. , and Grishin, A. M. , 2002. Sens. & Actuat. A101 (2002), p. 371, [CSA].
- Chen, Y. Z. , Ma, J. , Kong, L. B. , and Zhang, R. F. , 2002. Mater. Chem. Phys. 75 (2002), p. 225, [CSA].
- Ahn, J. R. , Kim, D. W. , Yeom, G. Y. , Yoo, J. B. , and Lee, J. , 2001. Ferroelectrics 263 (2001), p. 244.
- Ahn, J. R. , Jun, S. J. , Kim, W. D. , Yeom, G. Y. , Yoo, B. J. , Lee, J. , and Sands, T. , 2001. 12th IEEE Int. Symp. Application of Ferroelectrics 2 (2001), p. 721.
- Lee, Y. J. , Han, H. R. , Lee, J. , and Yeom, G. Y. , 2000. Surf. Coat. Technol. 3 (2000), p. 257.