LIQUID SOURCE MISTED CHEMICAL DEPOSITION PROCESS OF THREE-DIMENSIONAL NANO-FERROELECTRICS WITH SUBSTRATE HEATING

REFERENCES

• McMillan , L. D. , Araujo , C. A. P. , Roberts , T. , Cuchiaro , J. , Scott , M. C. and Scott , J. F. 1992 . Integr. Ferroelectr. , 2 : 351
   Google Scholar
• International Technology Roadmap for Semiconductors 2006 Update, Front End Process
   Google Scholar
• Solayappan , N. , McMillan , L. D. , Araujo , C. A. P. and Grant , B. 1997 . Integr. Ferroelectr. , 18 : 127
   Web of Science ®Google Scholar
• Kawasaki , S. , Motoyama , S. , Tatsuta , T. , Tsuji , O. , Okamura , S. and Shiosaki , T. 2004 . Jpn. J. Appl. Phys. , 43 : 6562
   Web of Science ®Google Scholar
• Woong , K. , Jeon , M. K. , Oh , K. S. , Kim , T. S. , Kim , Y. S. and Woo , S. I. 2007 . PNAS , 104 : 1134
   PubMed Web of Science ®Google Scholar
• Lee , S. and Kim , K. 2006 . Jpn. J. Appl. Phys. , 45 : 3189
   Web of Science ®Google Scholar
• Byun , K. M. and Lee , W. J. 2004 . Jpn. J. Appl. Phys. , 43 : 2655
   Web of Science ®Google Scholar
• Lee , K. M. , Joo , S. H. , Lee , S. W. , Nam , S. D. and Kim , K. 2002 . VLSI Technol. Dig. Tech. Papers 2002 Symp. , 11–13 : 210 – 1 .
   Google Scholar
• Morrison , F. D. , Ramsay , L. and Scott , J. F. 2003 . J. Phys.: Condens. Matter. , 15 : L527
   Web of Science ®Google Scholar
• Steinhart , M. , Wendorff , J. H. , Greiner , A. , Wehrspohn , R. B. , Nielsch , K. , Schilling , J. , Choi , J. and Gosel , U. 2002 . Science , 296 : 1997
   PubMed Web of Science ®Google Scholar
• Luo , Y. , Szafraniak , L. , Zakharov , N. D. , Nagarajan , V. , Steinhart , M. , Wehrspohn , R. B. , Wendorff , J. H. , Ramesh , R. and Alexe , M. 2003 . Appl. Phys. Lett. , 83 : 440
   Web of Science ®Google Scholar
• Bharadwaja , S. S. N. , Olszta , M. , Trolier-McKinstry , S. , Li , X. , Mayer , T. S. and Roozeboom , F. 2006 . J. Am. Ceram. Soc. , 89 : 2695
   Web of Science ®Google Scholar
• Li , X. , Cheng , F. , Guo , B. and Chen , J. 2005 . J. Phys. Chem. B , 109 : 14017
   PubMed Web of Science ®Google Scholar
• Morales , A. M. and Lieber , C. M. 1998 . Science , 279 : 208
   PubMed Web of Science ®Google Scholar
• Liu , J. , Li , X. and Dai , L. 2006 . Adv. Mater. , 18 : 1740
   Web of Science ®Google Scholar
• Evans , P. R. , Zhu , X. , Baxter , P. , McMillen , M. , McPhillips , J. , Morrison , F. D. , Scott , J. F. , Pollard , R. J. , Bowman , R. M. and Gregg , J. M. 2007 . Nano Lett. , 7 : 1134
   PubMed Web of Science ®Google Scholar
• Jang , J. E. , Cha , S. N. , Choi , Y. , Amaratunga , G. A. J. , Kang , D. J. , Hasko , D. G. , Jung , J. E. and Kim , J. M. 2005 . Appl. Phys. Lett. , 87 : 263103
   Google Scholar
• Wang , Y. , Rybczynski , J. , Wang , D. Z. , Kempa , K. , Ren , Z. F. , Li , W. Z. and Kimball , B. 2004 . Appl. Phys. Lett. , 85 : 4741
   Web of Science ®Google Scholar
• Chakrapani , N. , Wei , B. , Carrillo , A. , Ajayan , P. M. and Kane , R. S. 2004 . PNAS , 101 : 4009
   PubMed Web of Science ®Google Scholar