CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF Zr_xHf_1-xO₂ THIN FILMS USING ANHYDROUS MIXED-METAL NITRATES PRECURSORS

REFERENCES

• Wilk , G. D. , Wallace , R. M. and Anthony , J. M. 2001 . J. Appl. Phys. , 89 : 5243
   Web of Science ®Google Scholar
• Shao , Q. Y. , Li , A. D. , Zhang , W. Q. , Wu , D. , Liu , Z. G. and Min , N. B. 2006 . Chem. Vap. Deposition , 12 : 423
   Google Scholar
• Triyoso , D. H. , Hegde , R. I. , Schaeffer , J. K. , Roan , D. , Tobin , P. J. , Samavedam , S. B. , White , B. E. , Gregory , R. and Wang , X. D. 2006 . Appl. Phys. Lett. , 88 : 222901
   Google Scholar
• Senzaki , Y. , Park , S. , Chatham , H. , Bartholomew , L. and Nieveen , W. 2004 . J. Vac. Sci. Technol. A , 22 : 1175
   Web of Science ®Google Scholar
• Zhao , X. and Vanderbilt , D. 2002 . Phys. Rev. B , 65 : 233106
   Web of Science ®Google Scholar
• Kim , H. and Mclntyre , P. C. 2004 . J. Mater. Res. , 19 : 643
   Web of Science ®Google Scholar
• Gilmer , D. C. , Colombo , D. G. , Taylor , C. J. , Roberts , J. , Haugstad , G. , Campbell , S. A. , Kim , H. , Wilk , G. D. , Gribelyuk , M. A. and Gladfelter , W. L. 1998 . Chem. Vap. Deposition , 4 : 9
   Google Scholar
• Colombo , D. G. , Gilmer , D. C. , Young , V. G. Jr. , Campbell , S. A. and Gladfelter , W. L. 1998 . Chem. Vap. Deposition , 4 : 220
   Web of Science ®Google Scholar
• Park , J. , Park , B. K. , Cho , M. , Hwang , C. S. , Oh , K. and Yang , D. Y. 2002 . J. Electrochem. Soc. , G89 : 149
   Google Scholar
• Conley , J. F. Jr. , Ono , Y. , Tweet , D. J. , Zhuang , W. and Solanki , R. 2003 . J. Appl. Phys. , 93 : 712
   Web of Science ®Google Scholar
• Crosbie , M. J. , Wright , P. J. , Davies , H. O. , Jones , A. C. , Leedham , T. J. , Brien , P. O. and Critchlow , G. W. 1999 . Chem. Vap. Deposition , 5 : 9
   Google Scholar
• Jones , A. C. , Tobin , N. L. , Marshall , P. A. , Potter , R. J. , Chalker , P. R. , Bickley , J. F. , Davis , H. O. , Smith , L. M. and Critchlow , G. W. 2004 . J. Mater. Chem. , 14 : 887
   Web of Science ®Google Scholar
• Field , B. O. and Hardy , C. J. 1964 . J. Chem. Soc. , : 4428
   Web of Science ®Google Scholar
• Field , B. O. and Hardy , C. J. 1963 . J. Chem. Soc. , : 5278
   Web of Science ®Google Scholar
• Zhuang , W. W. , Conley , J. F. , Ono , Y. , Evans , D. R. and Solanki , R. 2002 . Integrated Ferroelectrics , 48 : 3
   Web of Science ®Google Scholar
• Li , A. D. , Shao , Q. Y. , Ling , H. Q. , Cheng , J. B. , Wu , D. , Liu , Z. G. , Ming , N. B. , Wang , C. , Zhou , H. W. and Nguyen , B. Y. 2003 . Appl. Phys. Lett. , 83 : 3540
   Web of Science ®Google Scholar
• Tang , J. , Zhang , F. , Zoogman , P. , Fabbri , J. , Chan , Siu-Wai , Zhu , Y. , Brus , Louis E. and Steigerwald , M. L. 2005 . Adv. Funct. Mater. , 15 : 1595
   Web of Science ®Google Scholar
• Gutowski , M. , Jaffe , J. E. , Liu , Chun-Li , Stoker , M. , Hegde , R. I. , Rai , R. S. and Tobin , P. J. 2002 . Appl. Phys. Lett. , 80 : 11
   Google Scholar
• Butler , M. A. 1977 . J. Appl. Phys. , 48 : 1914
   Web of Science ®Google Scholar