FABRICATION AND PROPERTIES OF METAL-PZT-METAL CAPACITORS BY LIQUID DELIVERY MOCVD

REFERENCES

• Otani , Y. , Okamura , S. and Shioski , T. 2004 . Journal of Electroceramics , 13 : 15
   Web of Science ®Google Scholar
• Oikawa , K. , Takashima , D. , Shiratake , S. , Hoya , K. and Joachim , O. 2003 Symposium on VLSI Tech. Dig. Kyoto, Japan.
   Google Scholar
• Lee , J. K. , Lee , M.-S. , Hong , S. , Lee , W. , Lee , Y. K. , Shin , S. and Park , Y. 2002 . Jpn. J. Appl. Phys. , 41 : 6690
   Web of Science ®Google Scholar
• Kato , Y. , Kaneko , Y. , Tanaka , H. , Kaibara , K. , Isogai , K. and Shimada , Y. 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials . Yokohama. pp. 120 – 121 .
   Google Scholar
• Jung , J. Y. , Joo , H. J. , Park , J. H. , Kang , S. K. , Kim , H. S. , Choi , D. Y. , Kim , J. H. , Lee , Y. S. , Kang , Y. M. , Lee , S. Y. , Jeong , H. S. and Kim , Kinam . 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials . Yokohama. pp. 126 – 127 .
   Google Scholar
• Menou , N. , Kuwabara , H. and Funakubo , H. 2006 International Conference on Solid State Devices and Materials . Yokohama. pp. 128 – 129 .
   Google Scholar
• Aratani , M. , Nagashima , K. and Funakubo , H. 2001 . Jpn. J. Appl. Phys. , 40 : 4126
   Web of Science ®Google Scholar
• Summerfelt , S. R. , Moise , T. S. , Xing , G. , Colombo , L. , Sakoda , T. , Gilbert , S. R. , Loke , A. L. S. , Ma , S. , Wills , L. A. , Kavari , R. , Hsu , T. , Amano , J. , Johnson , S. T. , Vestcyk , D. J. , Russell , M. W. , Bilodeau , S. M. and van Buskirk , P. 2001 . Appl. Phys. Lett. , 79 : 4004
   Web of Science ®Google Scholar
• Nagai , A. , Morioka , H. , Asano , G. , Saiki , A. and Funakubo , H. 2004 . Integrated Ferroelectrics , 68 : 147
   Web of Science ®Google Scholar
• Funakubo , H. , Asano , G. , Ozeki , T. , Machida , H. , Yoneyama , T. and Takamatsu , Y. 2004 . Journal of The Electrochemical Society , 151 ( 7 ) : C463
   Web of Science ®Google Scholar
• Tompa , G. S. , Evulet , A. C. , Cuchiaro , J. D. , Provost , L. G. , Hadnagy , D. , Davenport , T. , Sun , S. , Chu , F. , Fox , G. , Doppelhammer , R. J. and Heubner , G. 2001 . Integrated Ferroelectrics , 36 : 135
   Web of Science ®Google Scholar
• Rice , C. E. , Cuchiaro , J. D. , Sun , S. , Provost , L. G. , Tompa , G. S. , Beratan , H. , Hanson , C. and Tanner , H. 2003 . Integrated Ferroelectrics , 59 : 1465
   Web of Science ®Google Scholar
• Otani , Y. , Abe , N. , Ueda , Y. , Miyake , M. , Okamura , S. and Shiosaki , T. 2003 . Integrated Ferroelectrics , 51 : 63
   Web of Science ®Google Scholar
• Kim , H. R. , Jeong , S. , Jeon , C. B. , Kwon , O. S. and Hwang , C. S. 2001 . J. Mater. Res. , 16 : 3583
   Web of Science ®Google Scholar