References
- Su , B. , Button , T. W. , Schneider , A. , Singleton , L. and Prewett , P. 2002 . Microsys. Tech. , 8 : 359
- Su , B. , Zhang , D. and Button , T. W. 2002 . J. Mater. Sci. , 37 : 3123
- Janas , V. F. and Safari , A. 1995 . J. Am. Ceram. Soc. , 78 : 2945
- Farlow , R. , Galbraith , W. , Knowles , M. and Hayward , G. 2008 . IEEE Trans. Ultrasonics. Ferroelec. Freq. Control. , 48 : 639
- Bowen , L. J. , Gentilman , R. L. , Pham , H. T. , Fiore , D. F. and French , K. W. 1993 . IEEE Ultrasonics Symp , 1 : 499
- Hirata , Y. , Nakaishi , H. , Numazawa , T. and Takada , H. 1997 . IEEE Ultrasonics Symp , 2 : 877
- Bauer , W. , RizhauptKleissl , H.-J. and Hausselt , J. H. 1988 . Microsyst. technol. , 4 : 125
- Wang , S. , Li , J.-F. , Watanabe , R. and Esahi , M. 1999 . J. Am. Ceram. Soc. , 82 : 213
- Bride , J. A. , Baskaran , S. , Taylor , N. , Halloran , J. W. , Juan , W. H. , pang , S. W. and O’Donnell , M. 1993 . Appl. Phys. Lett. , 63 : 3379
- Knitter , R. , Gunther , E. , Odemer , C. and Maciejewski , U. 1996 . Microsyst. Technol. , 2 : 135
- Xia , Y. and Whitesides , G. M. 1998 . Annu. Rev. Mater. Sci. , 28 : 153
- Qin , D. , Xia , Y. , Rogers , J. A. , Jackman , R. J. , Zhao , X-M. and Whitesides , G. M. 1998 . Top. Curr. Chem. , 1 : 194
- Zhang , D. , Su , B. and Button , T. W. 2003 . Adv. Engin. Mater. , 5 : 924
- Yang , H. , Deschatelets , P. , Brittain , S. T. and Whitesides , G. M. 2001 . Adv. Mater. , 13 : 54
- Seraji , S. , Wu , Y. , Jewell-Larson , N. E. , Forbess , M. J. , Limmer , S. J. , Chou , T. P. and Chao , G. 2000 . Adv. Mater. , 12 : 1421
- Xia , Y. and Whitesides , G. M. 1998 . Angew. Chem. Int. Ed. , 37 : 550
- Lorenz , H. , Despont , M. , Fahrni , N. , Brugger , J. , Vettiger , P. and Renaud , P. 1998 . Sens. Actuators. , 64 : 33
- Rosqvist , T. and Johansson , S. 2002 . Sens. Actuators. , 97 : 512