Oxygen plasma effects on electrical properties of barium strontium titanate (BST) thin films

References

• Koyama , K. , Sakuma , T. , Yamamichi , S. , Watanado , H. , Aoki , H. , Ohya , S. , Miyasaka , Y. and Kikkawa , T. 1991 . IEDM , 91 : 823
   Google Scholar
• McMillan , L. D. , Roberts , T. L. , Scott , M. C. and Paz de Araujo , C. A. 1992 . ISIF , 92 : 666
   Google Scholar
• Yamamichi , S. , Sakuma , T. , Hase , T. and Miyasaka , Y. 1992 . MRS Symp. , 243 : 297
   Google Scholar
• VanBuskirk , P. C. , Gardiner , R. , Kirlin , P. S. , Krupanidhi , S. B. and Nutt , S. 1992 . ISIF , 92 : 473
   Google Scholar
• Kim , K. J. , Moon , D. W. , Nam , S. H. , Lee , W. J. and Kim , H. G. to be published
   Google Scholar
• Fujii , E. , Uemoto , Y. , Hayashi , S. , Nasu , T. , Shimada , Y. , Kibe , M. , Azuma , M. , Otsuki , T. , Kano , G. , Scott , M. , McMillan , L. D. and Paz de Araujo , C. A. 1992 . IEDM , 92 : 267
   Google Scholar
• Scott , J. F. , Azuma , M. , Paz de Araujo , C. A. , McMillan , L. D. , Scott , M. C. and Roberts , T. 1993 . Integrated Ferroelectrics ,
   Google Scholar
• Barbottin , G. and Vapaille , A. 1986 . Instabilities in Silicon Devices , 263 – 313 . North-Holland : Elsevier Sci. Pub. . Chap 5
   Google Scholar
• Al-Shareef , H. , Gifford , K. D. , Hren , P. D. , Rou , S. H. , Auciello , O. and Kingon , A. I. 1992 . ISIF , 92 : 181
   Google Scholar