References
- Watanabe , S. , Suzuki , M. and Fujiu , T. 1995 . J. Vac. Sci. Technol. , B13 : 1119
- Lugienbuhl , Ph. 1996 . Sensors and Actuators , A53 : 530 – 535 .
- Muralt , P. , Kohli , M. , Maeder , T. , Kholkin , A. , Brooks , K. , Luthier , R. and Setter , N. 1995 . Sensors and Actuators A , 48 : 157 – 165 .
- Lugienbuhl , Ph. , Collins , S. D. , Racine , G.-A. , Grétillat , M.-A. , de Rooij , N. F. , Brooks , K. G. and Setter , N. 1997 . Proc. MEMS'97 Nagoja
- Bernstein , J. , Houston , K. , Niles , L. , Chen , H. D. , Li , K. and Cross , L. E. 1996 . Proc. ISAF'96 East Brunswick
- Riza , N. A. , Polla , D. L. , Robbins , W. P. and Glumac , D. E. 1993 . Electronic Letters , 29 : 1606 – 1608 .
- Roy , R. A. , Etzold , K. F. and Cuomo , J. J. 1990 . MRS Symp. Proc. , 200 : 141 – 152 .
- Bruchhaus , R. , Huber , H. , Pitzer , D. and Wersing , W. 1992 . Ferroelectrics , 127 : 137 – 142 .
- Maeder , T. and Muralt , P. 1994 . MRS Symp. Proc. , 341 : 361 – 366 .
- Kojima , M. , Okuyama , M. , Nakagawa , T. and Hamakawa , Y. 1983 . Jap. J. Appl. Phys. , 22 ( Suppl. 22-2 ) : 14 – 17 .
- Dormans , G. J. M. , Van Der Veldhoven , P. J. and de Keijser , M. 1992 . J. Crystal Growth , 123 : 537 – 544 .
- Budd , K. D. , Dey , S. K. and Paine , D. A. 1985 . Brit. Ceram. Proc. , 36 : 107
- Kwok , C. K. and Desu , S. B. 1993 . J. Mater. Res. , 8 : 339 – 344 .
- de Keijser , M. and Dormans , G. J. M. 1995 . J. Crystal Growth , 149 : 215 – 228 .
- Maeder , T. , Muralt , P. , Kohli , M. , Kholkin , A. and Setter , N. 1995 . British Ceramics Proceedings , 54 : 206 – 218 .
- Vijay , D. P. and Desu , S. B. 1993 . J. Electrochem. Soc. , 140 : 2640
- Ramesh , R. , Gilchrist , H. , Sands , T. , Keramidas , V. G. , Haakenaasen , R. and Fork , D. K. 1993 . Appl. Phys. Lett. , 63 : 3592 – 3594 .
- Sreenivas , K. , Reaney , I. , Maeder , T. , Setter , N. , Jagadish , C. and Elliman , R. G. 1994 . J. Appl. Phys. , 75 : 232 – 239 .
- Al-Shareef , H. N. , Gifford , K. D. , Rou , S. H. , Hren , P. D. , Auciello , O. and Kingon , A. I. 1993 . Integrated Ferroelectrics , 3 : 321 – 332 .
- Maeder , T. , Muralt , P. , Sagalovicz , L. , Reaney , I. , Kohli , M. , Kholkin , A. and Setter , N. 1996 . Appl. Phys. Lett. , 68 : 776 – 778 .
- Muralt , P. , Kholkin , A. , Kohli , M. and Maeder , T. 1996 . Sensors and Actuators A , 53 : 397 – 403 .
- Lefki , K. and Dormans , G. M. 1994 . J. Appl. Phys. , 76 : 1764 – 1767 .
- Kholkin , A. , Wüthrich , Ch. , Taylor , D. V. and Setter , N. 1996 . Rev. Sci. Instrum. , 67 : 1935 – 1941 .
- Pommier , J. C. , Cachard , A. , Tirolle , N. and Choujaa , A. 1996 . Le Vide , 279 ( supplement 1-3 ) : 60 – 62 .
- Ikeda , T. 1990 . Fundamentals of piezoelectricity , Oxford : Oxford University Press .
- Moulson , A. J. and Herbert , J. M. 1990 . Electroceramics , London : Chapmann and Hall .
- Dubois , M. to be published
- Taylor , D. V. , Brooks , K. G. , Damjanovic , D. and Setter , N. 1996 . Proc. Electroceramics V, Aveire 341 – 344 . Portugal
- Chen , H. D. , Udayakumar , K. R. , Gaskey , ChJ. , Cross , L. E. , Bernstein , J. J. , Lance and Niles , C. 1996 . J. Am. Cer. Soc. , 79 : 2189 – 2192 .
- Arlt , G. and Pertsev , N. A. 1991 . J. Appl. Phys. , 70 : 2283 – 2289 .
- Pavlicek , H. and Wachutka , G. CAD tools for MEMS, UETP-MEMS, FSRM Switzerland
- Timoshenko , S. and Woinowsky-Krieger , S. Theory of Plates and shells , 2nd edition , 33 McGraw-Hill .
- Söderkvist , J. 1993 . J. Micromech. Microeng. , 3 : 24 – 31 .
- Dubois , M.-A. , Muralt , P. , Brooks , K. G. and Luthier , R. 1996, 26-28 June . Proc. 5th Int. Conf. New Actuators, Actuator 96 165 – 168 . Bremen
- Nemirovsky , Y. , Nemirovsky , A. , Muralt , P. and Setter , N. 1996 . Sensors and Actuators A , 56 : 239 – 249 .