References
- Kawahara , T. , Yamamuka , M. , Yuuki , A. and Ono , K. 1996 . Jpn. J. Appl. Phys. , 35 ( 9B ) : 4880 – 4885 . Part 1
- Miyasaka , Y. 1995 . Extended abstracts of 1995 SSDM 506 – 508 .
- Yamamichi , S. , Lesaicherre , P. Y. , Yamaguchi , H. , Takemura , K. , Sone , S. , Yabuta , H. , Sato , K. , Tamura , T. , Nakajima , K. , Yoshida , M. , Ohnishi , S. , Tokashiki , K. , Hayashi , Y. , Kato , Y. , Miyasaka , Y. , Yoshida , M. and Ono , H. 1995 . IEDM95 119 – 122 .
- Shimada , Y. , Inoue , A. , Nasu , T. , Nagano , Y. , Matsuda , A. , Arita , K. , Uemoto , Y. , Fujii , E. and Otsuki . 1996 . Jpn. J. Appl. Phys. , 35 ( 9B ) : 4919 – 4924 . Part 1
- Hwang , C. S. , Park , S. O. , Cho , H. J. , Kang , C. S. , Kang , H.-K. , Lee , S. I. and Lee , M. Y. 1995 . Appl. Phys. Lett. , 67 ( 19 ) : 2819 – 2821 .
- Kawahara , T. , Yamamuka , M. , Yuuki , A. and Ono , K. 1995 . Jpn. J. Appl. Phys. , 34 ( 9B ) : 5077 – 5082 . Part 1
- Takemura , K. , Sakuma , T. and Miyasaka , Y. 1994 . Appl. Phys. Lett. , 64 ( 22 ) : 2967 – 2969 .
- Nishioka , Y. , Shiozawa , K. , Oishi , T. , Kanamoto , K. , Tokuda , Y. , Sumitani , H. , Aya , S. , Yabe , H. , Itoga , K. , Hifumi , T. , Marumoto , K. , Kuroiwa , T. , Kawahara , T. , Nishikawa , K. , Oomori , T. , Fujino , T. , Yamamoto , S. , Uzawa , S. , Kimata , M. , Nunoshita , M. and Abe , H. 1995 . IEDM 95 , : 903 – 906 .
- Gas , P. and d'Heurle , F. M. 1995 . Properties of Metal Silicis , Edited by: Maex , K. and de Rossum , M. V. 279 – 292 . London : INSPEC .
- Yokoyama , S. , Ito , Y. , Ishihara , K. , Hamada , K. , Ohnishi , S. , Kudo , J. and Sakiyama , K. 1995 . Jpn. J. Appl. Phys. , 24 ( 2B ) : 767 – 770 . Part 1
- Itoh , H. , Okudaira , T. , Kashihara , K. , Tsunemine , Y. , Horikawa , T. , Shibano , T. and Ohno , Y. 1995 . Abstracts of 7th ISIF , : 1201
- Oestling , M. and Zaring , C. 1995 . Properties of Metal Silicis , Edited by: Maex , K. and de Rossum , M. V. 15 – 30 . London : INSPEC .