A reactive ion etch study for producing patterned platinum structures

References

• Chung , C. W. , Lee , W. I. and Lee , J. K. 1995 . Integrated Ferroelectrics , To be published
   Google Scholar
• Lee , K. P. , Park , Y. S. , Ko , D. H. , Hwang , C. S. , Kang , C. J. , Lee , K. Y. , Kim , J. S. , Park , J. K. , Roh , B. H. , Lee , J. Y. , Kim , B. C. , Lee , J. H. , Kim , K. N. , Park , J. W. and Lee , J. G. 1995 . IEDM , : 907
   Google Scholar
• Yoo , W. J. , Hahm , J. H. , Hwang , C. S. , Park , S. O. , Koh , Y. B. and Lee , M. Y. 1995 . 1995 Dry Process Symposium , To be published
   Google Scholar
• Taylor , T. C. and Harper , H. A. 1994 . Tegal 20th Annual Plasma Symposium , : 41
   Google Scholar
• Yokoyama , S. , Ito , Y. , Ishihara , K. , Hamada , K. , Ohnishi , S. , Kudo , J. and Sakiyama , K. 1995 . JJAP , 34 : 767
   Web of Science ®Google Scholar
• Ito , Y. , Yokoyama , S. , Ishihara , K. , Hamada , K. , Ohnishi , S. , Kudo , J. and Sakiyama , K. 1994 . Tegal 20th Annual Plasma Symposium , 83
   Google Scholar
• Yokoyama , S. , Ito , Y. , Ishihara , K. , Hamada , K. , Ohnishi , S. , Kudo , J. and Sakiyama , K. 1994 . Int'l Conf. on Solid State Devices and Materials , : 721
   Google Scholar
• Onishi , S. , Hamada , K. , Ishihara , K. , Ito , Y. , Yokoyama , S. , Kudo , J. and Sakiyama , K. 1994 . IEDM , : 843
   Google Scholar
• Nishikawa , K. , Kusumi , Y. , Oomori , T. , Hanazaki , M. and Namba , K. 1993 . JJAP , 32 : 6102
   Web of Science ®Google Scholar
• Nishioka , Y. , Shiozawa , K. , Oishi , T. , Kanamoto , K. , Tokuda , Y. , Sumitani , H. , Aya , S. , Yabe , H. , Itoga , K. , Hifumi , T. , Marumoto , K. , Kuroiwa , T. , Kawahara , T. , Nishikawa , K. , Oomori , T. , Fujino , T. , Yamamoto , S. , Uzawa , S. , Kimata , M. , Nunoshita , M. and Abe , H. 1995 . IEDM , : 903
   Google Scholar
• Eimori , T. , Ohno , Y. , Kimura , H. , Matsufusa , J. , Kishimura , S. , Yoshida , A. , Sumitani , H. , Maruyama , T. , Hayashide , Y. , Morizumi , K. , Katayama , T. , Asakura , M. , Horikawa , T. , Shibano , T. , Itoh , H. , Sato , K. , Namba , K. , Nishimura , T. , Satoh , S. and Miyoshi , H. 1993 . IEDM , : 631
   Google Scholar
• VanGlabbeek , J. J. , Spierings , G. A. C. M. , Ulenaers , M. J. E. , Dormans , G. J. M. and Larsen , P. K. 1993 . MRS Symposium Proceedings , 310 : 127
   Google Scholar
• Cofer , A. 1995 . Tegal 21st Annual Plasma Symposium , : 13
   Google Scholar
• Vail , R. 1995 . Tegal 21st Annual Plasma Symposium , : 85
   Google Scholar
• Kwon , K. W. , Park , I. S. , Han , D. H. , Kim , E. S. , Ahn , S. T. and Lee , M. Y. 1994 . IEDM , : 835
   Google Scholar
• Takaishi , Y. , Sakao , M. , Kamiyama , S. , Suzuki , H. and Watanabe , H. 1994 . IEDM , : 839
   Google Scholar
• Vijay , D. P. , Desu , S. B. and Pan , W. 1993 . MRS Symposium Proceedings , 310 : 133
   Google Scholar
• Fujii , E. , Uemoto , Y. , Hayashi , S. , Nasu , T. , Shimada , Y. , Matsuda , A. , Kibe , M. , Azuma , M. , Otsuki , T. , Kano , G. , Scott , M. , McMillan , L. D. and PazdeAraujo , C. A. 1992 . IEDM , : 267
   Google Scholar
• Singer , P. 1995 . Semiconductor Int'l , December : 65
   Google Scholar
• Lesaicherre , P. Y. , Yamamichi , S. , Yamaguchi , H. , Takemura , K. , Watanabe , H. , Tokashiki , K. , Satoh , K. , Sakuma , T. , Yoshida , M. , Ohnishi , S. , Nakajima , K. , Shibahara , K. , Miyasaka , Y. and Ono , H. 1994 . IEDM , : 831
   Google Scholar
• Charlet , B. and Davies , K. E. 1993 . MRS Symposium Proceedings , 310 : 363
   Google Scholar
• Chapman , B. N. 1980 . Glow Discharge Processes , New York : Wiley .
   Google Scholar
• Chapman , B. N. and Minkiewicz , V. J. 1978 . JVST , 15 : 239
   Google Scholar
• Saenger , K. L. and Sun , C. P. 1992 . Physics Rev. A , 46 : 670
   PubMed Web of Science ®Google Scholar
• Weast , R. C. 1980 . 60th CRC Handbook of Chemistry and Physics , B – 50 . Boca Raton : CRC Press .
   Google Scholar
• Kotecki , D. E. , Milkove , K. R. and Hamaguchi , S. To be published
   Google Scholar
• Milkove , K. R. and Wang , C. To be published
   Google Scholar
• Arnot , H. E. G. , Zappe , H. P. , Epler , J. E. , Graf , B. , Widmer , R. and Lehmann , H. W. 1993 . MRS Symposium Proceedings , 300 : 177
   Google Scholar
• Arnot , H. E. G. , Zappe , H. P. , Epler , J. E. , Graf , B. , Widmer , R. and Lehmann , H. W. 1993 . Electronics Letters , 29 : 1131
   Web of Science ®Google Scholar
• Hamaguchi , S. , Dalvie , M. , Farouki , R. T. and Sethuraman , S. 1993 . JAP , 74 : 5172
   Web of Science ®Google Scholar
• Kaga , T. , Sudoh , Y. , Goto , H. , Shoji , K. , Kisu , T. , Yamashita , H. , Nagai , R. , Iijima , S. , Ohkura , M. , Murai , F. , Tanaka , T. , Goto , Y. , Yokoyama , N. , Horiguchi , M. , Isoda , M. , Nishida , T. and Takeda , E. 1994 . IEDM , : 927
   Google Scholar
• Cyantek Nanostrip 2X, Cyantek Corp. “ 3055 Osgood Court ” . Fremont, CA 94538
   Google Scholar