References
- Krauss , A. R. , Rangaswamy , M. , Lin , Y. , Gruen , D. M. , Schultz , J. A. , Schmidt , H. K. and Chang , R. P.H. 1993 . “ Multicomponent and Multilayered thin Films for Advanced Microtechnologies, NATO/ASI Book Series vol 248 ” . In Techniques, Fundamentals and Devices , Edited by: Auciello , O. and Engemann , J. p. 251 Netherlands : Kluwer Academic Publishers .
- Auciello , O. , Krauss , A. R. and Im , J. 1998 . Metal Oxides . Annual Review of Materials Science , 28 : 375 topical issue of
- Marchut , L. , Buck , T. M. , Wheatley , G. H. and McMahon , C. J. 1984 . Surf. Sci. , 141 : 549
- Taglauer , E. , Englert , W. , Heiland , W. and Jackson , D. P. 1980 . Phys. Rev. Lett , 45 : 740
- Hammond , M. S. , Schultz , J. A. and Krauss , A. R. 1995 . J. Vac. Sci. Technol. , A13 : 1136
- Bhattacharya , R. S. , Eckstein , W. and Verbeek , H. 1980 . Surf. Sci. , 93 : 563
- Rabalais , J. W. 1986 . J. Chen, J. Chem. Phys. , 85 : 3617
- Schmidt , H. K. , Anderson , L. R. and Schultz , J. A. 1988–89 . Appl. Surf. Sci. , 35 : 274
- Schultz , J. A. and Schmidt , H. K. US Patent # 5,087,815 . 1992 .
- Smentkowski , V. S. , Krauss , A. R. , Gruen , D. M. , Holecek , J. C. and Schultz , J. A. 1998 . J. Vac. Sci. Technol. , A16 : 1779
- Krauss , A. R. , Dhote , A. , Auciello , O. , Aggarwal , S. , Ramesh , R. and Gruen , D. M. Integrated Ferroelectrics , (these proceedings)
- Im , J. , Krauss , A. R. , Lin , Y. , Scbultz , J. A. , Auciello , O. , Gruen , D. M. and Chang , R. P.H. 1996 . Nucl. Instrum. Meth. , B118 : 772
- Schmidt , H. K. , Schultz , J. A. and Zheng , Z. 1991 . Diamond and Diamond-Like Coatings , Edited by: Clausing , R. E. p. 669 New York : Plenum Press .
- Auciello , O. , Krauss , A. R. , Im , J. , Gruen , D. M. , Irene , E. A. , Chang , R. P.H. and McGuire , G. E. 1996 . Appl. Phys. Lett. , 69 : 2671
- Im , J. , Auciello , O. and Krauss , A. R. 1999 . to be published
- Krauss , A. R. , Auciello , O. and Schultz , J. A. 1995 . MRS Bulletin , 20 : 18
- Krauss , A. R. , Im , J. , Schultz , J. A. , Smentkowski , V. S. , Waters , K. , Zuiker , C. D. , Gruen , D. M. and Chang , R. P.H. 1995 . Thin Solid Films , 270 : 130
- Auciello , O. 1997 . Integrated Ferroelectrics , 15 : 211
- Sreenivas , K. , Reaney , I. , Maeder , T. , Setter , N. , Jagadish , C. and Elliman , R. G. 1994 . J. Appl. Phys. , 75 : 232
- Bruchhaus , R. , Pitzer , D. , Eibl , O. , Scheithauer , U. and Hoesler , W. 1992 . Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , 243 : 123
- Schindler , G. , Hartner , W. , Joshi , V. , Solayappan , N. , Derbenwick , G. and Mazure , C. 1997 . Integrated Ferroelectrics , 17 : 421
- Evans , J. T. Jr. , Boyer , L. L. and Velasquez , B. N. 1997 . Seoul, Korea : the 9th International Meeting on Ferroelectricity . presented at
- Im , J. , Auciello , O. , Krauss , A. R. , Dhote , A. , Gruen , D. M. , Ramesh , R. and Chang , R. P.H. 1998 . Appl. Phys. Lett. , 72 : 2529
- 1953 . Darken LS, Gurry RW, Physical Chemistry of Metals McGraw-Hill, New York
- Lin , Y. , Krauss , A. R. , Auciello , O. , Nishino , Y. , Grueh , D. M. , Schultz , J. A. and Chang , R. P.H. 1994 . J. Vac. Sci. Technol , A 12 : 1557
- Kotecki , D. E. 1996 . Semiconductor International , Nov : 109
- Balk , P. 1995 . J. Non-Cryst. Solids , 187 : 1
- Gao , Y. , Mueller , A. H. , Irene , E. A. , Auciello , O. , Krauss , A. R. and Schultz , J. A. 1999 . J. Vac. Sci. Technol A , in press
- Kuroiwa , T. , Tsunemine , Y. , Horikawa , T. , Makita , T. , Tanimura , J. , Mikami , N. and Sato , K. 1994 . Jpn. J. Appl. Phys. , 33 : 5187 Part 1
- Basceri , C. , Streiffer , S. K. , Kingon , A. I. and Waser , R. 1997 . J. Appl. Phys , 82 : 2497
- Suzuki , I. , Ejima , M. , Watanabe , K. , Xiong , Y. M. and Saitoh , T. 1998 . Thin Solid Films , 313–314 : 214
- Thielsch , R. , Kaemmer , K. , Holzapfel , B. and Schultz , L. 1997 . Thin Solid Films , 301 : 203
- Franke , K. , Besold , J. , Haessler , W. and Seegebarth , C. 1994 . Surf. Sci. Lett , 302 : L283
- Gruverman , A. L. , Auciello , O. and Tokumoto , H. 1996 . Appl. Phys. Lett , 69 : 3191
- Auciello , O. , Gruverman , A. , Tokumoto , H. , Ramesh , R. , Prakash , S. A. , Yang , B. and Aggarwal , S. 1998 . MRS Bulletin , 23 : 33
- Saurenbach , F. and Terris , B. D. 1990 . Appl. Phys. Lett , 56 : 1703
- Eng , L. M. , Friedrich , M. , Fousek , J. and Gunter , P. 1996 . J. Vac. Sci. Technol , B14 : 1191
- Bluhm , H. , Schwarz , U. D. , Meyer , K. P. and Wisendanger , R. 1996 . J. Vac. Sci. Technol , B14 : 1180
- Thompson , C. , Foster , C. M. , Eastman , J. A. and Stephenson , G. B. 1997 . Appl. Phys. Leet. , 71 : 3516
- Foster , C. M. , Pompe , W. , Daykin , A. C. and Speck , J. S. 1996 . J. Appl. Phys. , 79 : 1405