References
- Bindell , J. B. , Colby , J. W. , Wonsidler , D. R. , Poate , J. M. , Conley , D. K. and Tisone , T. C. 1976 . Thin Solid Films , 37 : 441
- Chu , W. K. , Mayer , J. W. and Nicolet , M.-A. 1978 . Backscattering Spectrometry , 89 New York : Academic Press .
- Crider , C. A. and Poate , J. M. 1980 . Appl. Phys. Lett. , 36 : 417
- Crowder , B. L. and Zirinsky , S. 1979 . 1.E.E.E. Trans. Electron Devices , 26 : 369
- Darken , L. S. 1948 . Trans, metall. Soc. A.I.M.E. , 175 : 184
- Deline , V. R. , Katz , W. , Evans , C. A. and Williams , P. 1978 . Appl. Phys. Lett. , 33 : 832
- Feder , R. and Berry , B. S. 1970 . J. appl. crystallogr. , 3 : 372
- Gelatt , C. D. JR. , Williams , A. R. and Moruzzi , V. L. 1983 . Phys. Rev. , B, 27 : 2005
- Ghandi , S. K. 1983 . “ Chap. 18 ” . In VLSI Fabrication Principles , New York : Wiley .
- Gjostein , N. A. 1973 . Diffusion , 241 Metals Park : American Society for Metals .
- Gösele , U. and Tu , K. N. 1982 . J. appl. phys. , 53 : 3252
- Grovenor , C. R. M. , Batson , P. E. , Smith , D. A. and Wong , C. 1984 . Phil. Mag. A , 50 : 409
- Gupta , D. 1977 . Metall. Trans. A , 8 : 1431
- Gupta , D. and Lieberman , D. S. 1971 . Phys. Rev. , B, 4 : 1070
- Hansen , M. and Anderko , K. 1958 . Constitution of Binary Alloys , 1140 New York : McGraw Hill .
- Huang , H.-C. W. , Cook , R. , Campbell , D. R. , Ronsheim , P. , Rausch , W. and Cunningham , B. 1986 . to be published.
- Kim , S. M. 1986 . Phys. Rev. , B, 33 : 1509
- Matz , R. , Purtell , R. J. , Yokota , Y. , Rubloff , G. W. and Ho , P. S. 1984 . J. vac. Sci. Technol. , A, 2 : 253
- McHugh , J. A. 1975 . Methods of Surface Analysis , Edited by: Czanderna , A. W. 223 New York : Elsevier .
- Murarka , S. P. 1980 . J. vac. Sci. Technol. , 17 : 775
- Murarka , S. P. and Frazer , D. B. 1980 . J. appl. Phys. , 51 : 342
- Nava , F. , Valeri , S. , Majni , G. , Cembali , A. , Pignatel , G. and Queirolo , G. 1981 . J. appl. Phys. , 52 : 6641
- Nemanich , R. J. , Thompson , M. J. , Jackson , W. B. , Tsai , C. C. and Stafford , B. L. 1983 . J. vac. Sci. Technol. , B, 1 : 519
- Ning , T. H. and Isaac , R. D. 1980 . I.E.E.E. Trans. Electron Devices , 27 : 2051
- Passaglia , E. and Love , W. F. 1955 . Phys. Rev. , 98 : 1006
- Poate , J. M. and Tisone , T. G. 1974 . Appl. Phys. Lett. , 24 : 391
- Poate , J. M. , Tu , K. N. and Mayer , J. W. , eds. 1978 . Thin Films—Interdiffusion and Reactions , 359 New York : John Wiley & Sons .
- Pretorius , R. , Ramiller , C. L. and Nicolet , M.-A. 1978 . Nucl. Instrum. Meth. , 149 : 629
- Pretorius , R. , Styrdom , W. , Mayer , J. W. and Comrie , C. 1980 . Phys. Rev. , B, 22 : 1885
- Rhoderick , E. H. , ed. 1978 . Metal Semiconductor Contacts , 162 Oxford : Clarendon Press .
- Sheng , T. T. and Marcus , R. B. 1980 . J. electrochem. Soc. , 127 : 737
- Takai , H. , Psaras , P. A. and Tu , K. N. 1985 . J. appl. Phys. , 58 : 4165
- Wittmer , M. 1983 . J. appl. Phys. , 54 : 5081
- Wittmer , M. and Tu , K. N. 1984 . Phys. Rev. , B, 29 : 2010