References
- Barbour , J. C. , Stein , H. J. , Popov , O. A. , Yoder , M. and Outten , C. A. 1991 . J. vac. Sci. Technol. A , 9 : 480
- Broudreau , M. , Boumerzoug , M. , Mascher , P. and Jessop , P. E. 1993 . Appl. Phys. Lett. , 63 : 3014
- Budhani , R. C. , Prakash , S. , Doerr , H. J. and Bunshah , R. F. 1987 . J. vac. Sci. Technol. A , 5 : 1644
- Claasen , W. A. , Pol , H. A. J. Th. V. D. , Goemans , A. H. and Kuiper , A. E. T. 1986 . J. electrochem. Soc. , 133 : 1458
- Cross , Y. , Rostaing , J. C. , Peisner , J. , Leveque , G. and Ance , C. 1987 . J. appl. Phys. , 62 : 4538
- Davis , E. A. , Piggins , N. and Bayliss , S. C. 1987 . J. Phys., C , 20 : 4415
- Flemish , J. R. and Pfeffer , R. L. 1993 . J. appl. Phys. , 74 : 3277
- Garcia , S. , Martin , J. M. , Martil , I. and Gonzalez-Diaz , G. 1994 . Vacuum , 45 : 1027
- Garcia , S. , Martin , J. M. , Fernandez , M. , Martil , I. and Gonzalez-Diaz , G. 1995a . J. vac. Sci. Technol. A , 13 : 826
- Garcia , S. , Martin , J. M. , Martil , I. , Fernandez , M. , Iborra , E. and Gonzalez-Diaz , G. 1995b . J. non-crystalline Solids , 187 : 329
- Ghandhi , S. K. 1993 . “ Chap. 8 ” . In VLSI Fabrication Principles , 2nd edition , New York : Wiley . Handbook of Auger Electron Spectroscopy, 1976, 2nd edition (Eden Prairie, MN: Physical Electronics Industries)
- Hasegawa , S. , Amano , Y. , Inokuma , T. and Kurata , Y. 1992 . J. appl. Phys. , 72 : 5676
- Hasegawa , S. , Anbutsu , H. and Kurata , Y. 1989 . Phil. Mag. B , 59 : 365
- Hasegawa , S. , Matsuda , M. and Kurata , Y. 1990 . Appl. Phys. Lett. , 57 : 2211
- Hasegawa , S. , Matuura , M. , Anbutu , H. and Kurata , Y. 1987 . Phil. Mag. B , 56 : 633
- Hasegawa , S. , Matuura , M. and Kurata , Y. 1986 . Appl. Phys. Lett. , 49 : 1272
- Hattangady , S. V. , Fountain , G. G. , Rudderm , R. A. and Markunas , R. J. 1989 . J. vac. Sci. Technol. A , 7 : 570
- Hernandez-Rojas , J. L. , Lucia , M. L. , Martil , I. , Gonzalez-Diaz , G. , Santamaria , J. and Sanchez quesada , F. 1992 . Appl. Optics , 31 : 1606
- Hirao , T. , Setsune , K. , Kitagawa , M. , Kamada , T. , Wasa , K. and Izumi , T. 1987 . Jap. J. appl. Phys. , 26 : 2015
- Kanicki , J. and Warren , W. L. 1993 . J. non-crystalline Solids , 164–166 : 1055
- Knolle , W. R. and Osenbach , J. W. 1985 . J. appl. Phys. , 58 : 1248
- Knolle , W. R. , Osenbach , J. W. and Elia , A. 1988 . J. electrochem. Soc. , 135 : 1211
- Kotecki , D. E. and Chapple-Sokol , J. D. 1995 . J. appl. Phys. , 77 : 1284
- Lanford , W. A. and Rand , M. J. 1978 . J. appl. Phys. , 49 : 2473
- Lowe , A. J. , Powell , M. J. and Elliott , S. R. 1986 . J. appl. Phys. , 59 : 1251
- Lucovsky , G. , Richard , P. D. , Tsu , D. V. , Lin , S. Y. and Markunas , R. J. 1986 . J. vac. Sci. Technol. A , 4 : 681
- Manabe , Y. and Mitsuyu , T. 1989 . J. appl. Phys. , 66 : 2475
- Nguyen , S. V. and Albaugh , K. 1989 . J. electrochem. Soc. , 136 : 2835
- Piggins , N. , Davis , E. A. and Bayliss , S. C. 1987 . J. non-crystalline Solids , 97&98 : 1047
- Powell , M. J. , Easton , B. C. and Hill , O. F. 1981 . Appl. Phys. Lett. , 38 : 794
- Richard , P. D. , Markunas , R. J. , Lucovsky , G. , Fountain , G. G. , Mansour , A. N. and Tsu , D. V. 1985 . J. vac. Sci. Technol. A , 3 : 867
- Robertson , J. 1991 . Phil. Mag. B , 63 : 47 1994, Phil. Mag. B, 69, 307
- Rocheleau , R. E. , Zhang , Z. , Niles , D. W. and Mason , A. 1992 . J. appl. Phys. , 72 : 282
- Stewart , A. D. and Jones , D. I. 1988 . Phil. Mag., B , 57 : 431
- Sze , F. C. and Asmussen , J. 1993 . J. vac. Sci. Technol. A , 11 : 1289
- Theil , J. A. , Hattangady , S. V. and Lucovsky , G. 1992 . J. vac. Sci. Technol. A , 10 : 719
- Tsu , D. V. , Lucovsky , G. and Mantini , M. J. 1986 . Phys. Rev. B , 33 : 7069
- Tsu , D. V. , Lucovsky , G. , Mantini , M. J. and Chao , S. S. 1987 . J. vac. Sci. Technol. A , 5 : 1998
- Wemple , S. H. 1973 . Phys. Rev. B , 7 : 3767