References
- Roberts , G. G. 1985 . Adv. Phys. , 34 : 475
- Kubono , A. and Okui , N. 1994 . Prog. Polym. Sci. , 19 : 389
- Biederman , H. 1987 . Vacuum , 37 : 367
- McCulloch , I. , Man , H. T. , Song , K. and Yoon , H. 1994 . J. Appl. Polym. Sci. , 53 : 665
- Kowel , S. T. , Selfridge , R. , Eldering , C. , Matloff , N. , Stroeve , P. , Higgins , B. G. , Strinivasan , M. P. and Coleman , L. B. 1987 . Thin Solid Films , 152 : 377
- Morita , S. and Hattori , S. 1990 . “Applications of Plasma Polymers,” . In Plasma Deposition, Treatment, and Etching of Polymers , Edited by: d'Agostino , R. San Diego, CA : Academic Press .
- Takahashi , Y. , Iijima , M. , Inagawa , K. and Ito , A. 1987 . J. Vac. Sci. Technol. , A5 : 2253
- Kagami , Y. , Yamauchi , T. and Osada , Y. 1990 . J. Appl. Phys. , 68 : 610
- Hollahan , R. and Bell , A. T. , eds. 1974 . Techniques and Applications of Plasma Chemistry , New York, NY : Wiley .
- Bell , A. T. and Shen , M. , eds. 1979 . Plasma Polymerization , Washington, D.C. : American Chemistry Society .
- Gombotz , W. and Hoffman , A. 1988 . J. Appl. Polym. Sci., Appl. Polym. Symp. , 2 : 285
- Gombotz , W. and Hoffman , A. 1989 . J. Appl. Polym. Sci. , 37 : 91
- Heider , G. H. , Gerbert , M. B. and Yacynych , A. M. 1982 . Anal. Chem. , 54 : 324
- Inagaki , N. and Matsunaga , M. 1986 . Polym. Bull. , 13 : 349
- Morosoff , N. 1990 . “An Introduction to Plasma Polymerization,” . In Plasma Deposition, Treatment, and Etching of Polymers , Edited by: d'Agostino , R. San Diego, CA : Academic Press .
- Yasuda , H. 1978 . “Glow Discharge Polymerization,” . In Thin Film Processes , Edited by: Vossen , J. and Kern , W. New York, NY : Academic Press .
- d'Agostino , R. , Cramarossa , F. , Fracassi , F. and Illuzzi , F. 1990 . “Plasma Polymerized Organosilicones and Organometallics,” . In Plasma Deposition, Treatment, and Etching of Polymers , Edited by: d'Agostino , R. San Diego, CA : Academic Press .
- Vossen , J. 1979 . J. Electrochem. Soc. , 126 : 319
- Yasuda , H. and Hsu , T. 1978 . Surf. Sci. , 76 : 232
- Rice , D. W. and O'Kane , D. F. 1976 . J. Macromol. Sci.-Chem. , A10 ( 3 ) : 567
- Yasuda , H. 1979 . Contemp. Top. Polym. Sci. , 3 : 103
- Claude , R. , Moisan , M. , Wertherimer , M. R. and Zakrzewski , Z. 1987 . Plasma Chem. Plasma Process. , 7 : 451
- Claude , R. , Moisan , M. , Wertherimer , M. R. and Zakrzewski , Z. 1987 . Appl. Phys. Lett. , 50 : 1797
- Moisan , M. , Wertherimer , M. R. and Moisan , M. 1985 . J. Vac. Sci. Technol. , A3 : 2643
- Biederman , H. and Martinu , L. 1990 . “Plasma Polymer-Metal Composite Films,” . In Plasma Deposition, Treatment, and Etching of Polymers , Edited by: d'Agostino , R. San Diego, CA : Academic Press .
- Senda , K. , Vinogradov , G. K. , Gorwadkar , S. and Morita , S. 1993 . J. Appl. Phys. , 74 : 6425
- Buzzard , P. , Soong , D. and Bell , A. 1982 . J. Appl. Polym. Sci. , 27 : 3965
- Kanazawa , S. , Kogoma , M. , Moriwaki , T. and Okazaki , S. 1988 . J. Phys. D , 21 : 838
- Kanazawa , S. , Kogoma , M. , Okazaki , S. and Moriwaki , T. 1989 . Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. , 37/38 : 842
- Yokoyama , T. , Kogoma , M. , Kanazawa , S. , Moriwaki , T. and Okazaki , S. 1990 . J. Phys. D , 23 : 473
- d'Agostino , R. , Cramarossa , F. , Fracassi , F. , De Simoni , E. , Sabbatini , L. , Zambonin , P. G. and Colaprico , G. 1986 . Thin Solid Films , 143 : 163
- d'Agostino , R. , Cramarossa , F. and Illuzzi , F. 1987 . J. Appl. Phys. , 61 : 2754
- Yasuda , H. 1981 . J. Polym. Sci., Macromol. Rev. , 16 : 199
- Czeremuszkin , G. , Wrobel , A. M. and Kryszewski , M. 1992 . J. Appl. Polym. Sci. , 44 : 883
- Akovali , G. and Dilsiz , N. 1990 . Polym. Eng. Sci. , 30 : 485
- Akovali , G. 1986 . J. Appl. Polym. Sci. , 32 : 4027
- Jensen , R. J. , Bell , A. T. and Soong , D. S. 1983 . Plasma Chem. Plasma Process , 32 : 139
- Westwood , A. R. 1971 . Eur. Polym. J. , 7 : 363
- Sadhir , R. K. , Saunders , H. E. and Byers , W. A. 1993 . Polym. Eng. Sci. , 33 : 645
- Yasuda , H. 1985 . Plasma Polymerization , New York, NY : Academic Press .
- Wrobel , A. M. and Wertherimer , M. R. 1990 . Plasma Deposition, Treatment, and Etching of Polymers , Edited by: d'Agostino , R. San Diego, CA : Academic Press .
- Tibbit , J. M. , Shen , M. and Bell , A. T. 1976 . J. Macromol. Sci.-Chem. , A10 : 1623
- Kobayashi , H. , Shen , M. and Bell , A. T. 1974 . J. Macromol. Sci.-Chem. , A8 : 373
- Tibbit , J. M. , Bell , A. T. and Shen , M. 1977 . J. Macromol. Sci.-Chem. , A11 : 139
- Morosoff , N. , Haque , R. , Clymer , S. D. and Crumbliss , A. L. 1985 . J. Vac. Sci. Technol. , A3 : 2098
- Seeger , M. , Barrell , E. M. and Shen , M. 1975 . J. Polym. Sci., Polym. Chem. Ed. , 13 : 1541
- Seeger , M. , Gritter , R. J. , Tibbit , J. M. , Shen , M. and Bell , A. T. 1977 . J. Polym. Sci., Polym. Chem. Ed. , 15 : 1403
- Wrobel , A. M. , Kryszewski , M. and Gazicki , M. 1976 . Polymer , 17 : 678
- Wrobel , A. M. , Kryszewski , M. and Gazicki , M. 1983 . J. Macromol. Sci. –-Chem. , A20 : 583
- Kaplan , S. and Dilks , A. 1984 . J. Appl. Polym. Sci., Appl. Polym. Symp. , 38 : 105
- Kaplan , S. and Dilks , A. 1981 . Thin Solid Films , 84 : 419
- Dilks , A. and Kaplan , S. 1981 . Proc. Electrochem. Soc. (Proc. Symp. Plasma Process, 3rd) , 82–6 : 31
- Tajima , I. and Yamamoto , M. 1985 . J. Polym. Sci., Polym. Chem. Ed. , 23 : 615
- Assink , R. A. , Hays , A. K. , Bild , R. W. and Hawkins , B. L. 1985 . J. Vac. Sci. Technol. , A3 : 2629
- Scott , T. W. , Chu , K. C. and Venugopalan , M. 1979 . J. Polym. Sci., Polym. Chem. Ed. , 17 : 267
- Nakamura , S. , Yamanaka , S. , Yamaguchi , S. and Sawa , G. 1980 . Jpn. J. Appl. Phys. , 19 : 777
- Grenda , M. S. and Venugopalan , M. 1980 . J. Polym. Sci., Polym. Chem. Ed. , 18 : 1611
- Morita , S. , Mizutani , T. and Ieda , M. 1971 . Jpn. J. Appl. Phys. , 10 : 1275
- Vasile , M. J. and Smolinsky , G. 1972 . J. Electrochem. Soc. , 119 : 451
- Liepins , R. and Sakaoku , K. 1972 . J. Appl. Polym. Sci. , 16 : 2633
- Biederman , H. 1981 . Vacuum , 31 : 285
- Biederman , H. , Ojha , S. M. and Holland , L. 1977 . Thin Solid Films , 41 : 329
- Havens , M. R. , Mayhan , K. G. and James , W. J. 1978 . J. Appl. Polym. Sci. , 22 : 2799
- Liepins , R. , Campbell , M. , Clements , J. S. , Hammond , J. and Fries , R. J. 1981 . J. Vac. Sci. Technol. , 18 : 1218
- Letts , S. A. , Myers , D. W. and Witt , L. A. 1981 . J. Vac. Sci. Technol. , 19 : 739
- Morosoff , N. , Patel , D. L. , White , A. R. , Umaria , M. , Crumbliss , A. L. , Lugg , P. S. and Brown , D. B. 1984 . Thin Solid Films , 117 : 33
- Sadhir , R. K. , James , W. J. and Auerbach , R. A. 1982 . Thin Solid Films , 97 : 17
- Havens , M. R. , Mayhan , K. G. and James , W. J. 1978 . J. Appl. Polym. Sci. , 22 : 2793
- Konnert , J. H. and d'Antonio , P. 1981 . AIP Conf. Proc , 73 : 117
- Hernandez , R. , Diaz , A. F. , Waltman , R. and Bargon , J. 1984 . J. Phys. Chem. , 88 : 3333
- Huggin , J. 1988 . J. Chem. Eng. News , 66 : 23
- Kows , W. J. , ed. 1990 . Barrier Polymers and Structures , Washington, D.C. : American Chemical Society .
- Ameen , A. P. , Short , R. O. and Ward , R. J. 1994 . Polymer , 35 : 4382
- Csernica , J. and Prince , W. 1993 . Polymer , 43 : 2670
- Stancell , A. F. and Spencer , A. T. 1972 . J. Appl. Polym. Sci. , 16 : 1505
- Haraguchi , T. , Ide , S. , Nagamatsu , T. and Kajiyama , T. 1988 . J. Appl. Polym. Sci., Appl. Polym. Symp. , 42 : 357
- Weichart , J. and Muller , J. 1991 . J. Prog. Colloid Polym. Sci. , 85 : 111
- Nomura , H. , Kramer , P. W. and Yasuda , H. 1984 . Thin Solid Films , 118 : 187
- Skelly , J. M. , Crumbliss , S. D. , Clymer , S. D. , Stannett , V. T. and Morosoff , N. C. 1991 . Polym. Prepr. , 32 ( 2 ) : 36
- Matsuyama , H. , Shiraishi , T. and Teramoto , M. 1994 . J. Appl. Polym. Sci. , 54 : 1665
- Hollahan , J. R. and Wydeven , T. 1977 . J. Appl. Polym. Sci. , 21 : 923
- Yasuda , H. , Marsh , H. C. , Brandt , E. S. and Reilley , C. N. 1976 . J. Appl. Polym. Sci. , 20 : 543
- Sakata , J. , Yamamoto , M. and Hirai , M. 1986 . J. Appl. Polym. Sci. , 31 : 1999
- Gazicki , M. and Yasuda , H. 1983 . Plasma Chem. Plasma Process. , 3 : 279
- Kay , E. , Dilks , A. and Hetzler , U. 1978 . J. Macromol. Sci.-Chem. , A12 : 1393
- Kay , E. and Hecg , M. 1984 . J. Appl. Phys. , 55 : 370
- Abeles , B. , Shen , P. , Couts , M. D. and Arie , Y. 1975 . Adv. Phys. , 24 : 407
- Abeles , B. 1976 . Appl. Solid State Sci. , 6 : 1
- Flouttard , J. L. , Akinnifesi , J. , Cambril , E. and Despax , B. 1991 . J. Appl. Phys. , 70 : 798
- Tyczkowski , J. and Kazimierski , P. 1989 . Vacuum , 39 : 11
- Takai , Y. , Hayase , Y. , Mizatani , T. and Ieda , M. 1984 . J. Phys. D , 17 : 399
- Biederman , H. 1984 . Vacuum , 34 : 405
- Pender , L. F. and Fleming , R. J. 1975 . J. Appl. Phys. , 46 : 3426
- Shi , F. J. Vac. Sci. Technol. , Contributed
- Perrin , J. , Despax , B. and Kay , E. 1985 . Phys. Rev. , B32 : 719
- Martihu , L. and Biederman , H. 1985 . J. Vac. Sci. Technol. , A3 : 2639
- Park , Y. H. , Tsutsumi , H. , Tasaka , S. and Miyata , S. 1986 . Polym. J. , 18 : 713
- Osada , Y. and Yamada , K. 1987 . Thin Solid Films , 151 : 71
- Kagami , Y. , Yamauchi , T. and Osada , Y. 1990 . J. Appl. Phys. , 68 : 610
- Canet , P. , Laurent , C. , Akinnitesi , J. and Despax , B. 1992 . J. Appl. Phys. , 72 : 2423
- Mizumoto , A. and Osada , Y. 1986 . J. Appl. Phys. , 59 : 1776
- Osada , Y. , Yu , Q. S. , Yasunaga , H. , Wang , F. S. and Chen , J. 1988 . J. Appl. Phys. , 64 : 1476
- Oehr , C. and Suhr , H. 1987 . Thin Solid Films , 155 : 65
- Suhr , H. , Etspuler , A. , Feurer , E. and Kraus , S. 1989 . Plasma Chem. Plasma Process , 9 : 217
- Fujita , T. , Inagaki , C. , Uyama , H. and Matsumoto , O. 1990 . J. Electrochem. Soc. , 137 : 1645
- Fujita , T. and Matsumoto , O. 1989 . J. Electrochem. Soc. , 136 : 2624
- Morita , S. , Tamano , J. , Hattori , S. and Ieda , M. 1981 . J. Appl. Phys. , 51 : 3938
- Hattori , S. , Yamada , M. , Tamano , J. , Ieda , M. , Morita , S. , Yoneda , K. , Ikeda , S. and Ishibashi , S. 1984 . J. Appl. Polym. Sci., Appl. Polym. Sym. , 38 : 127
- Bubeck , C. and Kay , E. 1981 . J. Vac. Sci. Technol. , 18 : 1
- Hirai , H. , Sekiguchi , H. , Miyata , S. and Kobayashi , S. 1987 . Appl. Phys. Lett. , 50 : 818
- Sadhir , R. K. and Sanjana , Z. N. 1991 . J. Mater. Sci. , 26 : 4261
- Ogumi , Z. , Uchimoto , Y. and Takehurn , Z. 1989 . J. Electrochem. Soc. , 136 : 625
- Catherine , Y. and Zamouche , A. 1985 . Plasma Chem. Plasma Process , 5 : 353
- Poll , H. V. , Meichsner , J. , Arzt , M. , Friedrich , M. , Rochotzki , R. and Kreybig , E. 1993 . Surf. Coat. Technol. , 59 : 365
- Sheng , P. 1980 . Phys. Rev. Lett. , 45 : 60
- Perrin , J. , Despax , B. and Kay , E. 1985 . Phys. Rev. , B32 : 719
- Wood , D. M. and Ashcroft , N. W. 1977 . Philos. Mag. , 35 : 269
- Kantor , Y. and Bergman , D. J. 1982 . J. Phys. C , 15 : 2033
- Gomez , M. and Fonseca , L. 1985 . Thin Solid Films , 125 : 243
- Lee , S. I. , Noh , T. W. , Gilben , J. and Gaines , J. R. 1982 . Phys. Rev. , B33 : 5844
- Persson , B. N. J. and Liebsch , A. 1982 . Solid State Commun. , 44 : 1637
- Heilmann , A. , Kampfrath , G. and Hopfe , V. 1988 . J. Phys. D , 21 : 968
- Fejfar , A. , Martinu , L. and Ostadal , I. 1989 . Vacuum , 39 : 19
- Martinu , L. and Biederman , H. 1988 . Vacuum , 36 : 477
- Thomas , B. , Krishna Pillai , M. G. and Jayalekshmi , S. 1988 . J. Phys. D , 21 : 503
- McCulloch , I. , Man , H. T. , Song , K. and Yoon , H. 1994 . J. Appl. Polym. Sci. , 53 : 665
- Hollahan , J. R. , Wydeven , T. and Johnson , C. C. 1975 . Appl. Op. , 13 : 1844
- Wydeven , T. and Kubacki , R. 1976 . Appl. Op. , 15 : 13
- Wydeven , T. 1977 . Appl. Op. , 16 : 717
- Chen , K. S. , Inagaki , N. and Katsuura , K. 1981 . Kobunshi Ronbunshu , 38 ( 10 ) : 673
- Asano , Y. , Yamazaki , H. and Morinaka , A. 1983 . Jpn. J. Appl. Phys. , 22 ( 3 ) : 480
- Vasile , M. J. and Smolinsky , G. 1972 . J. Electrochem. Soc. , 119 : 451
- Tien , P. K. 1977 . Rev. Mod. Phys. , 49 : 361