References
- Holloway , P. H. , Sebastian , J. , Trottier , T. , Swart , H. and Peterson , R. O. 1995 . Solid State Technol. , 38 : 47
- Branst , L. and Pothoven , F. 1996 . Semiconductor International , 19 : 109
- Ma , X. and Sudarshan , T. S. 1999 . J. Vac. Sci. Technol. B , 17 : 1580 – 1584 .
- Ma , X. and Sudarshan , T. S. 1999 . Proc. IS&T/SPIE Conference on Flat Panel Display Technology 143 – 147 .
- Zhu , W. 2001 . Vacuum Microelectronics , New York , NY : Wiley . Chap. 7
- Park , S. and Kim , M. 2000 . J. Micromech. Microeng. , 10 : 410 – 414 .
- Wallis , G. and Pomerantz , D. I. 1969 . J. Appl. Phys. , 40 : 3946 – 3949 .
- Wei , J. , Nai , S. M. L. , Wong , C. K. S. , Sun , Z. and Lee , L. C. 2003 . IEEE Trans. Advanced Packaging , 26 : 289 – 294 .
- Henry , W. , Burke , V. , John , F. G. and Kensington , M. US Patent No. 4452624 . 1984 .
- Hsieh , J. H. , Wu , T. M. , Tong , J. Z. and Yang , Y. S. 2003 . J. Adhesion Sci. Technol. , 17 : 2085 – 2095 .
- Lee , D. J. , Lee , Y. H. , Jang , J. and Ju , B. K. 2001 . Sensors Actuators A , 89 : 43 – 48 .
- Ugural , A. C. 1991 . Mechanics of Materials , New York , NY : McGraw-Hill .