Novel PZT Capacitor Technology for High Density FRAM Device with 0.18 μm D/R

References

• Scott , J. F. and Paz De Araujo , C. A. 1989 . Science , 246 : 1400
   PubMed Web of Science ®Google Scholar
• Kim , H. H. , Song , Y. J. , Lee , S. Y. , Joo , H. J. , Jang , N. W. , Jung , D. J. , Park , Y. S. , Park , S. O. , Lee , K. M. , Joo , S. H. , Lee , S. W. , Nam , S. D. and Kim , K. 2002 . VLSI Technology Digest of Technical Papers 2002 Symposium , Vol. 210
   Google Scholar
• Scott , J. F. 2000 . Ferroelectric Memories , p. 23 Heidelberg : Springer, Inc. .
   Google Scholar
• Kim , C. J. , Yoon , D. S. , Lee , J. S. and Choi , C. G. 1994 . J. Appl. Phys. , 76 : 7478
   Web of Science ®Google Scholar
• Chen , S. Y. and Sun , C. L. 2001 . J. Appl. Phys. , 90 : 2970
   Web of Science ®Google Scholar
• Aoki , K. , Fukuda , Y. , Numata , K. and Nishimura , A. 1995 . Jpn. J. Appl. Phys , 34 : 192
   Web of Science ®Google Scholar
• Muralt , P. , Maeder , T. , Sagalowicz , L. , Hiboux , S. , Scalese , S. , Naumovic , D. , Agostino , R. G. , Xanthopoulos , N. , Mathieu , H. J. , Patthey , L. and Bullock , E. L. 1998 . J. Appl. Phys. , 83 : 3
   Google Scholar
• Lee , K. M. , An , H. G. , Lee , J. K. , Lee , Y. T. , Lee , S. W. , Joo , S. H. , Nam , S. D. , Park , K. S. , Lee , M. S. , Park , S. O. , Kang , H. K. and Moon , J. T. 2001 . Jpn. J. Appl. Phys. , 40 : 4979
   Web of Science ®Google Scholar