Effect of Back-Etching on Electrical Properties of (001)&(100) Oriented PZT(30/70) Thin Films

References

• Yamakawa , K. , Imai , K. , Arisumi , O. , Arikado , T. , Yoshikawa , M. , Owada , T. and Okumura , K. 2002 . Jpn. J. Appl. Phys. , 42 : 2630
   Google Scholar
• Chopra , S. , Sharma , S. , Goel , T. C. , Chatterjee , R. and Mendiratta , R. G. 2006 . Computational Mater . Sci , 37 : 134
   Google Scholar
• Kobayashi , T. , Tsaur , J. and Maeda , R. 2005 . Jpn. J. Appl. Phys. , 44 : 7078
   Web of Science ®Google Scholar
• Ohno , T. , Kunieda , M. , Suzuki , H. and Hayashi , T. 2000 . Jpn. J. Appl. Phys. , 39 : 5429
   Web of Science ®Google Scholar
• Nakayama , H. , Suzuki , S. , Miyahara , S. and Suzuki , H. 2004 . Jpn. J. Appl. Phys. , 43 : 242
   Web of Science ®Google Scholar
• Ohno , T. , Fu , D. S. , Suzuki , H. , Miyazaki , H. and Ishikawa , K. 2004 . J. Euro. Ceram. Soc. , 24 : 1669
   Web of Science ®Google Scholar
• Yanase , N. , Abe , K. , Fukushima , N. and Kawakubo , T. 1999 . Jpn. J. Appl. Phys. , 38 : 5305
   Web of Science ®Google Scholar
• Fu , D. S. , Iwazaki , H. , Suzuki , H. and Ishikawa , K. 2000 . J. Phys.: Condens. Mater. , 12 : 399
   Web of Science ®Google Scholar
• Ito , S. , Funakubo , H. , Koutsaroff , I. P. , Zelner , M. and Lawry , A. C. 2007 . Appl. Phys. Lett. , 90 : 142910
   Google Scholar
• Ohno , T. , Suzuki , H. , Masui , H. , Ishikawa , K. and Fujimoto , M. 2004 . Jpn. J. Appl. Phys. , 43 : 6549
   Web of Science ®Google Scholar
• Suzuki , H. , Othman , M. B. , Murakami , K. , Kaneko , S. and Hayashi , T. 1996 . Jpn. J. Appl. Phys. , 35 : 4986
   Google Scholar
• Ohno , T. , Matsuda , T. , Malič , B. , Kosec , M. , Wakiya , N. and Suzuki , H. Abstract book of ISAF 2007 (in press)
   Google Scholar
• Ohno , T. , Matsuda , T. , Ishikawa , K. and Suzuki , H. 2006 . Jpn. J. Appl. Phys. , 45 : 7265
   Web of Science ®Google Scholar
• Fujito , K. , Wakiya , N. , Mizutani , N. and Shinozaki , K. 2005 . Jpn. J. Appl. Phys. , 44 : 6900
   Web of Science ®Google Scholar