REFERENCES
- Zhang , G. , Burdick , G. , Dai , F. , Bibby , T. , and Beaudoin , S. , Thin Solid Films 332 , 379 – 384 ( 1998 ). [CSA]
- Busnaina , A. A. , Lin , H. , Moumen , N. , Feng , J. , and Taylor , J. , IEEE Trans. On Semiconductor Manufacturing 15 , 374 – 382 ( 2002 ). [CSA] [CROSSREF]
- Roy , S. R. , Ali , I. , Shinn , G. , Furusawa , N. , Shah , R. , Peterman , S. , Witt , K. , and Eastman , S. , J. Electrochem. Soc. 142 , 216 – 226 ( 1995 ). [CSA]
- Qi , Q. and Brereton , G. J. , IEEE Trans. On Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control 42 , 619 – 629 ( 1995 ). [CSA] [CROSSREF]
- Otani , Y. , Namiki , N. , and Emi , H. , Aerosol Sci. Tech. 23 , 665 – 673 ( 1995 ). [CSA]
- Arnold , N. , Applied Surface Sci. 208–209 , 15 – 22 ( 2003 ). [CSA] [CROSSREF]
- Wang , Y. L. , Liu , C. , Feng , M. S. , and Tseng , W. T. , Materials Chemistry and Physics 52 , 23 – 30 ( 1998 ). [CSA] [CROSSREF]
- Busnaina , A. A. , Park , J. G. , Lee , J. M. , and You , S. Y. , In IEEE/SEMI Advanced Manufacturing Conference , 41 – 45 ( 2003 ).
- Cetinkaya , C. , Murthy , M. D. , and Peri , P. , Nanotechnology 15 , 435 – 440 ( 2004 ). [CSA] [CROSSREF]
- Bowling , R. A. , J. Electrochem. Soc., Solid State Sci. Tech. 132 , 2208 – 2214 ( 1985 ). [CSA]
- Talbot , L. , Cheng , R. K. , Schefer , R. W. , and Willis , D. R. , J. Fluid Mech. 101 , 737 – 758 ( 1980 ). [CSA] [CROSSREF]
- Wang , H. , Aerosol Sci. Tech. 13 , 386 – 393 ( 1990 ). [CSA]
- Israelachvili , J. , Intermolecular and Surface Forces ( Academic Press , New York , 1992 ), pp. 178 – 181 .
- Johnson , K. L. , Kendall , K. K. , and Roberts , A. D. , Proc. Royal Soc. London Series A 324 , 301 – 313 ( 1971 ). [CSA]
- O'Neill , M. E. , Chem. Eng. Sci. 23 , 1293 – 1298 ( 1968 ). [CSA] [CROSSREF]
- Hamrock , B. J. , Fundamentals of Fluid Film Lubrication ( McGraw-Hill , New York , 1994 ), pp. 161 – 167 .
- You , H. I. and Lu , S. S. , ASME J. Tribology 109 , 87 – 90 ( 1987 ). [CSA]
- Malvano , R. and Vatta , F. , ASME J. Lubrication Tech. 105 , 77 – 83 ( 1983 ). [CSA]
- Schumack , M. R. , Chung , J. B. , Schultz , W. W. , and Kannatey-Asibu , E. , ASME J. Eng. Ind. 113 , 190 – 197 ( 1991 ). [CSA]
- Hogg , R. , Healy , T. , and Fuerstenau , D. W. , Trans. Faraday Soc. 62 , 1638 – 1651 ( 1966 ). [CSA] [CROSSREF]
- Yang , C. , Dabros , T. , Li , D. , Czarnecki , J. , and Masliyah , J. H. , J. Colloid Interface Sci. 208 , 226 – 240 ( 1998 ). [INFOTRIEVE] [CSA] [CROSSREF]
- McNab , G. S. and Meisen , A. , J. Colloid Interface Sci. 44 , 339 – 346 ( 1973 ). [CSA] [CROSSREF]
- Cherukat , P. and McLaughlin , J. B. , J. Fluid Mech. 23 , 1 – 18 ( 1994 ). [CSA] [CROSSREF]
- Pan , T. , Lei , T. , Chen , C. , Chao , T. , Liaw , M. , Yang , W. , Tsai , M. , Lu , C. P. , and Chang , W. , IEEE Electron Device Letters 21 , 338 – 340 ( 2000 ). [CSA] [CROSSREF]
- Tardif , F. , Constant , I. , Lardin , T. , Demolliens , O. , Fayolle , M. , Gobil , Y. , Palleau , J. , and Torres , J. , Microelectronic Eng. 37/38 , 285 – 291 ( 1997 ). [CSA] [CROSSREF]