References
- Wang , Z.-L. 1984 . Nucl. Instr. and Meth. , B2 : 784
- Littmark , U. and Hofer , W. A. 1984 . Topics in Current Physics , Edited by: Oechsner , H. E. New York : Springer-Verlag . Ch. 8
- Littmark , U. 1985 . Nucl. Instr. and Meth. , B7/8 : 684
- Oliva , A. , Kelly , R. and Falcone , G. 1985 . IBM preprint
- Hofer , W. A. and Littmark , U. 1979 . Phys. Lett. , 71A : 457
- Littmark , U. and Hofer , W. A. 1980 . Nucl. Instr. and Meth. , 168 : 329
- Sigmund , P. 1979 . J. Apply. Phys. , 50 : 7261
- Sigmund , P. and Gras-Marti , A. 1980 . Nucl. Instr. and Meth. , 168 : 389
- Gras-Marti , A. and Sigmund , P. 1981 . Nucl. Instr. and Meth. , 180 : 211
- Sigmund , P. and Gras-Marti , A. 1981 . Nucl, Instr. and Meth. , 182/183 : 25
- Sigmund , P. , Oliva , A. and Falcone , G. 1982 . Nucl. Instr. and Meth. , 194 : 541
- Collins , R. 1978 . Radiat. Eff. , 37 : 13
- Collins , R. , Marsh , T. and Jimenez-Rodriguez , J. J. 1983 . Nucl. Instr. and Meth. , 209/210 : 147
- Jimenez-Rodriguez , J. J. , Tognetti , N. P. , Marsh , T. and Collins , R. 1984 . Nucl. Instr. and Meth. , B2 : 792
- Collins , R. , Jimenez-Rodriguez , J. J. and Marsh , T. 1985 . Nucl. Instr. and Meth. , B7/8 : 632
- Collins , R. , Jimenez-Rodriguez , J. J. , Wadsworth , M. and Badekha , R. this conference
- Landauer , R. and Woo , J. 1973 . Synergetics , Edited by: Haken , H. Stuttgart : B. G. Teubner .
- Landauer , R. 1983 . Helv. Phys. Acta , 56 : 847
- Landsberg , P. T. 1984 . J. Appl. Phys. , 56 : 1119
- Collins , R. 1981 . Rad. Eff. Lett. , 58 : 133
- Roosendaal , H. E. , Sanders , J. B. and Littmark , U. 1982 . Phys. Rev. , B26 : 5261
- Shewmon , P. G. 1963 . Diffusion in Solids , New York : McGraw-Hill .
- Smigalskas , A. D. and Kirkendall , E. O. 1947 . Trans. AIME , 171 : 130
- Titov , V. V. 1979 . Sov. Phys. Tech. Phys. , 24 : 488
- Crank , J. 1956 . Mathematics of Diffusion , London : Oxford Univ. Press .
- Manning , I. 1984 . Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , Vol. 27 , 91 Elsevier .
- Collins , R. and Jimenez-Rodriguez , J. J. 1982 . Rad. Eff. Lett. , 68 : 19
- Matteson , S. , Paine , B. M. and Nicolet , M.-A. 1981 . Nucl. Instr. and Meth. , 182/183 : 53
- Matteson , S. , Keenan , J. A. and Pinizzotto , R. F. 1984 . Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , Vol. 27 , 43 Elsevier .
- Carter , G. , Collins , R. and Thompson , D. A. 1981 . Radiat. Eff. , 55 : 99
- King , B. V. and Tsong , I. S. T. 1985 . Nucl. Instr. and Meth. , B7/8 : 793
- Gras-Marti , A. 1983 . Phys. Stat. Sol. , 76A : 621
- Gras-Marti , A. , Jimenez-Rodriguez , J. J. , Peon-Fernandez , J. and Rodriguez-Vidal , M. 1982 . Phil. Mag. , A45 : 191
- Zomorrodian , A. 1983 . Phys. Scripta , T6 : 339
- Zomorrodian , A. 1983 . J. Vac. Sc. Tech. , A1 : 339
- Zomorrodian , A. 1983 . IEEE Trans. Nucl. Sc. , 30 : 1066
- Snowdon , K. , Onsgaard , J. and Tougaard , S. 1984 . Nucl. Instr. and Meth. , B2 : 797
- Manning , J. R. 1968 . Diffusion Kinetics for Atoms in Crystals , Princeton : D. van Nostrand .
- Sanders , J. B. 1968 . Can. J. Phys. , 46 : 455
- Matteson , S. , Paine , B. M. , Grimaldi , M. G. , Mezey , G. and Nicolet , M.-A. 1981 . Nucl. Instr. and Meth. , 182/183 : 43
- Matteson , S. 1983 . IEEE Trans. Nucl. Sc. , NS-30 : 1705
- Nicolet , M.-A. , Banwell , T. C. and Paine , B. M. 1984 . Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , Vol. 27 , 3 Elsevier .
- Wiedersich , H. 1985 . Nucl. Instr. and Meth. , B7/8 : 1
- Peak , D. and Averback , R. S. 1985 . Nucl. Instr. and Meth. , B7/8 : 561
- Hobbs , J. E. unpublished communication
- Marwick , A. D. and Hobbs , J. E. 1985 . Nucl. Instr. and Meth. , B7/8 : 701
- Paine , B. M. and Averback , R. S. 1985 . Nucl. Instr. and Meth. , B7/8 : 666
- King , B. V. , Tonn , D. G. and Tsong , I. S. T. 1985 . Nucl. Instr. and Meth. , B7/8 : 607
- Clark , G. J. , Baglin , J. E. E. , ďHeurle , F. M. , White , C. W. , Farlow , G. and Narayan , J. 1984 . Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , 27 : 55
- Westendorp , J. F. M. , Rol , P. K. , Sanders , J. B. and Saris , F. W. 1985 . Nucl. Instr. and Meth. , B7/8 : 616
- Arnold , G. W. 1984 . Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , 27 : 61
- Johnson , W. L. , Cheng , Y. T. , van Rossum , M. and Nicolet , M.-A. 1985 . Nucl. Instr. and Meth. , B7/8 : 657
- Averback , R. S. , Thompson , L. J. , Moyle , J. and Schalit , M. 1982 . J. Appl. Phys. , 53 : 1342
- Collins , R. 1984 . Nucl. Instr. and Meth. , 230 : 809
- Shreter , U. , So , F. C. T. , Paine , B. M. and Nicolet , M.-A. 1984 . Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , 27 : 31
- Banwell , T. C. , Liu , B. X. , Golecki , I. and Nicolet , M.-A. 1983 . Nucl. Instr. and Meth. , 209/210 : 125
- Moller , W. and Eckstein , W. 1985 . Nucl. Instr. and Meth. , B7/8 : 645
- Roush , M. L. , Goktepe , O. F. , Andreadis , T. D. and Davarya , F. 1982 . Nucl. Instr. and Meth. , 194 : 611
- Goktepe , O. F. and Roush , M. L. 1985 . Nucl. Instr. and Meth. , B7/8 : 803
- Sigmund , P. 1981 . Sputtering by Particle Bombardment–I , Edited by: Behrisch , R. 9 – 71 . New York : Springer-Verlag .
- Haff , P. K. and Switowski , Z. E. 1976 . Appl. Phys. Lett. , 29 : 549
- Betz , G. and Wehner , G. K. 1983 . Sputtering by Particle Bombardment–II , Edited by: Behrische , R. 11 – 90 . New York : Springer-Verlag .
- Wang , Z. L. , Westendorp , J. F. M. and Saris , F. W. 1983 . Nucl. Instr. and Meth. , 209/210 : 125
- Liau , Z. L. , Mayer , J. W. , Brown , W. L. and Poate , J. M. 1978 . J. Appl. Phys. , 49 : 5295
- Miotello , A. and Mazzoldi , P. 1982 . J. Phys. C: Solid State Phys. , 15 : 5615
- Battaglin , G. , Della Mea , G. , De Marchi , G. , Mazzoldi , P. , Miotello , A. and Guglielmi , M. 1982 . J. Phys. C: Solid State Phys. , 15 : 5623
- Miotello , A. and Mazzoldi , P. 1983 . J Phys. C: Solid State Phys. , 16 : 221
- Wiedersich , H. 1984 . Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , 27 : 13