Strain modification of AlGaN layers using swift heavy ions

References

• Takeuchi , T. , Takeuchi , H. , Sota , S. , Sakai , H. , Amano , H. and Akasaki , I. 1997 . Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 , 36 : L177 – L179 .
   Google Scholar
• Bremser , M. D. , Perry , W. G. , Zheleva , T. , Edwards , N. V. , Nam , O. H. , Parikh , N. , Aspnes , D. E. and Davis , R. F. 1996 . MRS Internet J. Nitride Semicond. Res , 1 article no. 8
   Google Scholar
• Zhang , X. , Kung , P. , Saxier , A. , Walker , D. , Wang , T. C. and Razeghi , M. 1995 . Appl. Phys. Lett , 67 : 1745 – 1748 .
   Google Scholar
• Wetzel , C. , Takeuchi , T. , Yamaguchi , S. , Katoh , H. , Amano , H. and Akasaki , I. 1997 . Appl. Phys. Lett , 73 : 1994
   Google Scholar
• O'donnell , K. P. , Breitkopf , T. , Kalt , H. , Van Der Stricht , W. , Moerman , I. , Demeester , P. and Middleton , P. G. 1997 . Appl. Phys. Lett , 70 : 1843 – 1846 .
   Google Scholar
• Ponce , F. A. 1997 . Mater. Res. Soc. Bull. , 22 : 51 – 57 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Itoh , K. , Hiramatsu , K. , Amano , H. and Akasaki , I. 1990 . J. Cryst. Growth , 104 : 533 – 538 .
   Google Scholar
• Suzuki , M. , Nishio , J. , Onomura , M. and Hongo , C. 1998 . J. Cryst. Growth , 189 : 511 – 515 .
   Google Scholar
• Feldman , L. C. , Mayer , J. W. and Picraux , S. T. 1982 . Materials Analysis by Ion Channeling , New York : Academic Press .
   Google Scholar
• Barret , J. H. 1982 . Appl. Phys. Lett , 40 : 482 – 485 .
   Google Scholar
• Wu , C. , Yin , S. , Zhang , J. and Xiao , G. 1990 . J. Appl. Phys , 68 : 2100 – 2105 .
   Google Scholar
• Drigo , A. V. , Aydinil , A. , Carnera , A. , Genova , F. , Rigo , C. , Ferrari , C. , Franzosi , P. and Salviati , G. 1984 . J. Appl. Phys. , 66 : 1975
   Google Scholar
• Mazzer , M. , Drigo , A. V. , Romanato , F. , Salviati , G. and Lazzarni , L. 1997 . Phys. Rev. B , 56 : 6895 – 6910 .
   Google Scholar
• Mansouri , S. , Marie , P. , Dufour , C. , Nouet , G. , Monnet , I. and Lebius , H. 2008 . Nucl. Instrum. Methods B , 266 : 2814 – 2818 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Kucheyev , S. O. , Timmers , H. , Zou , J. , Williams , J. S. , Jagadish , J. and Li , G. 2004 . J. Appl. Phys , 95 : 5360 – 5366 .
   Google Scholar
• Katzer , D. S. , Binari , S. C. , Storm , D. F. , Roussos , J. A. , Shanabrook , B. V. and Glaser , E. R. 2002 . Electron. Lett , 38 : 1740 – 1741 .
   Google Scholar
• Tesmer , J. R. and Nastasi , M. 1995 . Handbook of Modern Ion Beam Analysis; , USA : MRS .
   Google Scholar
• Quere , Y. 1968 . Phys. Stat. Sol. , 30 : 713 – 722 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Pathak , A. P. 1977 . Phys. Rev. B , 15 : 3309 – 3317 .
   Google Scholar
• Edgar , J. H. , Strite , S. , Akasaki , I. , Amano , H. and Wetzel , C. 1994 . Properties Processing and Applications of GaN and Related Semiconductors , UK : IEEE, INSPEC .
   Google Scholar
• Sathish , N. , Dhamodaran , S. , Pathak , A. P. , Khan , S. A. , Ghanashyam Krishna , M. , Khan , S. A. , Avasthi , D. K. , Pandey , A. , Muralidharan , R. , Li , G. and Jagadish , C. 2007 . Nucl. Instrum. Methods B , 256 : 281 – 287 .
   Google Scholar
• Metzger , T. , Hoepler , R. , Born , E. , Ambacher , O. , Stutzmann , M. , Stoemmer , R. , Schuster , M. , Goebel , H. , Christiansen , S. , Albrecht , M. and Strunk , H. P. 1998 . Phil. Mag. A , 77 : 1013 – 1025 .
   Google Scholar
• Wu , M. F. , Yao , S. , Vantomme , A. , Hogg , S. M. , Langouche , G. , Li , J. and Zhang , G. Y. 1999 . J. Vac. Sci. Technol. B , 17 : 1502 – 1507 .
   Google Scholar
• Wu , M. F. , Vantomme , A. , Hogg , S. , Langouche , G. , Van Der Stricht , W. , Jacobs , K. and Moerman , I. 2001 . Nucl. Instrum. Methods B , 174 : 181 – 186 .
   Google Scholar
• Zhi-Bo , D. , Kun , W. , Sheng-Qiang , Z. , Tian-Xiang , C. and Shu-De , Y. 2007 . Chin. Phys. Lett , 24 : 831 – 834 .
   Google Scholar
• Kaganer , V. M. , Brandt , O. , Trampert , A. and Kploog , H. 2005 . Phys. Rev. B , 72 : 045423 – 045435 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Chierchia , R. , Bottcher , T. , Heinke , H. , Einfeldt , S. , Figge , S. and Hommel , D. 2003 . J. Appl. Phys , 93 : 8918 – 8926 .
   Google Scholar
• Srikant , V. , Speck , J. S. and Clarke , D. R. 1997 . J. Appl. Phys , 82 : 4286 – 4296 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Kucheyev , S. O. , Williams , J. S. , Zou , J. and Jagadish , C. 2004 . J. Appl. Phys , 95 : 3048 – 3055 .
   Web of Science ®Google Scholar