References
- Sigmund , P. 1969 . Phys. Rev. , 184 : 383 187, 768 (1969)
- Sigmund , P. 1981 . Sputtering by Particle Bombardment I , Edited by: Behrisch , R. 9 Berlin : Springer .
- Sten , R. P. 1962 . Proc. Fifth Int. Conf. on Ionization Phenomena in Gases , Vol. 1 , 118 Amsterdam : North Holland Publ. Comp. .
- Biersack , J. P. and Santner , E. 1976 . Nucl. Instrum. Methods , 132 : 229
- Berkowitz , J. and Chupka , W. A. 1958 . J. Chem. Phys. , 29 : 653
- Biersack , J. P. and Santner , E. 1982 . Nucl. Instrum. Methods , 198 : 29
- Husinsky , W. , Wurz , P. , Mader , K. , Wolfrum , E. , Strehl , B. , Betz , G. , Haglund , R. F. Jr. , Barnes , A. V. and Tolk , N. H. 1988 . Nucl. Instrum. Methods , B33 : 824
- Wurz , P. and Becker , C. H. 1989 . Surf. Sci. , 224 : 559
- Husinsky , W. , Bruckmüller , R. , Blum , P. , Viehböck , F. , Hammer , D. and Banes , E. 1977 . J. Appl. Phys. , 48 : 4734
- Szymonski , M. , Rutkowski , J. , Poradzisz , A. , Postawa , Z. and Jorgensen , B. 1984 . Springer Series in Surface Science , Vol. 4 , 160 Heidelberg : Springer-Berlin .
- Chen , J. and Rabalais , J. W. 1986 . Surf. Sci. , 176 : L876
- Szymonski , M. , Overeijnder , H. and de Vries , A. E. 1978 . Radiat. Eff. , 36 : 189
- Batanov , B. M. 1961 . Sov. Phys. Sol. Stat. , 3 : 471 4, 1306 (1963)
- Abroyan , I. A. and Lavrov , V. P. 1963 . Sov. Phys. Sol. Stat. , 4 : 2382
- Abroyan , I. A. , Lavrov , V. P. and Fedorova , I. G. 1966 . Sov. Phys. Sol. Stat. , 7 : 2954
- Navinsek , O. B. 1965 . J. Appl. Phys. , 36 : 1678
- Campbell , A. B. III and Cooper , C. B. 1972 . J. Appl. Phys. , 43 : 863
- Neidhart , T. , Hochhold , M. , Schmid , M. and Varga , P. this proceedings
- Schmidt , U. C. , Fichtner , M. , Goschinck , J. , Lipp , M. and Ache , H. J. 1991 . Frenius J. Anal. Chem. , 341 : 260
- Können , G. P. , Grosser , J. , Haring , A. , de Vries , A. E. and Kistemaker , J. 1974 . Radiat. Eff. , 21 : 171
- Overeijnder , H. , Szymonski , M. , Haring , A. and de Vries , A. E. 1977 . Phys. Stat. Sol. (b) , 81 : K11
- Overeijnder , H. , Haring , A. and de Vries , A. E. 1978 . Radiat. Eff. , 37 : 205
- Husinsky , W. and Bruckmüller , R. 1979 . Surf. Sci. , 80 : 637
- Husinsky , W. , Bruckmüller , R. and Blum , P. 1980 . Nucl. Instrum. Methods , 170 : 287
- Szymonski , M. and de Vries , A. E. 1981 . Radiat. Eff. , 54 : 135
- Postawa , Z. , Maboudian , R. , El-Maazawi , M. , Ervin , M. H. , Wood , M. C. and Winograd , N. 1992 . J. Chem. Phys. , 96 ( 4 ) : 3298
- Yu , M. L. , Grischkowsky , D. and Balant , A. C. 1981 . Appl. Phys. Lett , 39 : 703
- Szymonski , M. , Czuba , P. , Dohnalik , T. , Jozefowski , L. , Karawajczyk , A. , Kolodziej , J. , Lesniak , R. and Postawa , Z. 1990 . Nucl. Instrum. Methods , B48 : 534
- Szymonski , M. 1990 . Nucl. Instrum. Methods , B46 : 427
- Estel , I. , Hoinkes , H. , Kaarmann , H. , Nahr , H. and Wilsch , W. 1976 . Surf. Sci. , 54 : 393
- Tepper , P. , Zink , J. C. , Schmelz , H. , Wassermann , B. , Reif , J. and Matthias , E. 1989 . J. Vac. Sci. Technol. , B7 : 1212
- Lindhard , J. , Scharft , M. and Schiott , H. E. 1963 . Kgl. Danske Videnshab. Selsab, Mat-Fys. Medd. , 33 ( No. 14 )
- Betz , G. and Wehner , G. 1981 . Sputtering by Particle Bombardment II , Edited by: Behrisch , R. 11 Berlin : Springer .
- Sigmund , P. 1987 . Nucl. Instrum. Methods , B27 : 1
- Itoh , N. 1987 . Nucl. Instrum. Methods , B27 : 155
- Szymonski , M. Kgl. Dan. Vid. Selsk. Mat. Fys. Medd. , to be published
- Sigmund , P. and Clausen , C. 1981 . J. Appl. Phys. , 52 : 990 P. Sigmund and M. Szymonski, Appl. Phys. A33, 141 (1984)
- Winterbon , K. B. 1975 . Ion Implantation Range and Energy Deposition Distributions , New York : Plenum .
- Lindhard , J. 1964 . Phys. Lett. , 12 : 126 K. an. Vidensk, Selsk. Mat. Fys. Medd. 34, no. 14 (1965)
- Robinson , M. T. 1981 . Sputtering by Particle Bombardment I , Edited by: Behrish , R. 73 Berlin : Springer-Verlag .
- Silsbee , R. H. 1957 . J. Appl. Phys. , 28 : 1246
- Lehmann , C. and Sigmund , P. 1966 . Phys. Status Solidi , 16 : 507
- Robinson , M. T. Kgl. Dan. Vid. Selsk. Mat. Fys. Medd. , to be published; R. Nieminen, in the same proceedings
- Hou , M. and Eckstein , W. 1986 . Nucl. Instrum. Methods , B13 : 324
- Maboudian , R. , Postawa , Z. , El-Maazawi , M. , Garrison , B. J. and Winograd , N. 1990 . Phys. Rev. , B42 : 7311
- Knott , R. 1993 . Phys. Rev. , B47 : 9804
- Walkup , R. E. and Avouris , Ph. 1986 . Phys. Rev. Lett. , 56 : 524
- Green , T. A. , Riley , M. E. and Coltrin , M. E. 1989 . Phys. Rev. , B39 : 5397
- Burke , K. , Jensen , J. H. and Kohn , W. 1991 . Surf. Sci. , 241 : 211
- Chadderton , L. T. and Torens , I. M. C. 1965 . Nature , 208 : 880
- Kliwer , K. L. and Koechler , J. S. 1965 . Phys. Rev. , 140 : A1226 K. L. Kliwer, Phys. Rev. 140, A1241 (1965)
- Kabler , M. N. 1972 . Point defects in solids Edited by: Crawford , J. H. and Slifkin , L. M. Vol. I , New York chap. 6
- Williams , R. T. 1989 . Radiat. Eff. Defects Solids , 109 : 175
- Kabler , M. N. 1964 . Phys. Rev. , 136A : 1296
- Itoh , N. and Saidoh , M. 1973 . J. Phys. (Paris) , 34 : 101
- Williams , R. T. , Song , K. S. , Faust , W. L. and Leung , C. H. 1986 . Phys. Rev. , B33 : 7232
- Puchin , V. E. , Shluger , A. L. , Tanimura , K. and Itoh , N. 1993 . Phys. Rev. , B47(11) : 6226
- Song , K. S. and Chen , L. F. this Proceedings
- Green , T. A. , Loubrier , G. M. , Richards , P. M. , Tolk , N. H. and Haglund , R. F. Jr. 1989 . Phys. Rev. , B39 : 781
- Overeijnder , H. , Tol , R. R. and de Vries , A. E. 1979 . Surf. Sci. , 90 : 265
- Kreitschnitz , O. , Polster , Ch. , Husinsky , W. and Betz , G. 1991 . Nucl. Instrum. Methods , B58 : 490
- Tolk , N. private communication
- Kerestes , Z. L. , Kelly , J. C. , MacDonald , R. J. , Bayly , A. R. and Martin , P. J. 1981 . Nucl. Instrum. Methods , 191 : 259
- Fichtner , M. , Lipp , M. , Goschinck , J. and Ache , H. J. 1991 . Surface and Interface Analysis , 17 : 151
- Koval , A. G. , Fizgeer , B. M. , Vlasyuk , V. I. and Litvinov , V. A. 1991 . Bull. Acad. Sciences USSR, Phys. Ser. , 12 : 160
- Sigmund , P. , Urbassek , H. M. and Matragrano , D. 1986 . Nucl. Instrum. Methods , B14 : 495 H. M. Urbassek, Nucl. Instrum. Methods B18, 587 (1987)
- Können , G. P. , Tip , A. and de Vries , A. E. 1975 . Radiatt. Eff. , 26 : 23
- Gerhard , W. and Oechsner , H. 1975 . Z. Physik , B22 : 31
- Postawa , Z. unpublished data
- Winograd , N. , Harrison , D. E. and Garrison , B. J. 1978 . Surf. Sci. , 78 : 467
- Izakawa , M. , Shirakata , K. and Kajama , T. 1969 . Sci. Rep. Tohoku Univ. , 52 : 45 D. Pooley, and W. A. Ranciman, J. Phys. C3, 1815 (1970); N. Itoh, T. Eshita, and R. T. Williams, Phys. Rev. B34, 4230 (1986)
- Postawa , Z. , Rutkowski , J. , Poradzisz , A. , Czuba , P. and Szymonski , M. 1987 . Nucl. Instrum. Methods , B18 : 574
- Walkup , R. E. , Avouris , Ph. and Ghosh , P. 1987 . J. Vac. Sci. Technol. , B5 : 1423
- Bissessur , V. and Tsong , I. S. T. 1990 . Nucl. Instrum. Methods , B52 : 129
- Auciello , O. 1982 . Nucl. Instrum. Methods , 194 : 549
- Kelly , R. 1982 . Phys. Rev. , B25 : 700
- Liu , D. , Albridge , R. G. , Barnes , A. V. , Bunton , P. H. , Ewig , S. , Tolk , N. H. and Szymonski , M. 1993 . Surf. Sci. , 281 : L353
- Kelly , J. C. and Petersen , M. C. E. 1966 . Phys. Lett. , 22 : 295
- Windawi , H. M. and Cooper , C. B. 1973 . Phys. Lett. , 43A : 491
- Friedenberg , A. and Shapira , Y. 1982 . J. Phys. C: Solid State Phys. , 15 : 4763
- Pian , T. R. , Traum , M. M. , Kraus , J. S. , Tolk , N. H. , Stoffel , N. G. and Margaritondo , G. 1983 . Surf. Sci. , 128 : 13
- Postawa , Z. , Kolodziej , J. , Czuba , P. , Piatkowski , P. , Szymonski , M. , Bielanska , E. , Camra , J. , Ciach , T. , Faryna , M. and Rakowska , A. 1993 . Nucl. Instrum. Methods , B78 : 314
- Miyagawa , S. 1973 . J. Appl. Phys. , 44 : 5617
- Varga , P. , Diebold , U. and Wutte , D. 1991 . Nucl. Instrum. Methods , 58 : 417
- Walkup , R. E. , Avouris , Ph. and Gosh , A. P. 1986 . Phys. Rev. , B36 : 4577
- Wutte , D. , Diebold , U. , Schmidt , M. and Varga , P. 1992 . Nucl. Instrum. Methods , B65 : 167
- Ens , W. , Beavis , R. and Standing , K. G. 1983 . Phys. Rev. Lett. , 50 : 27
- Barlak , T. M. , Campana , J. E. , Wyatt , J. R. , Dunlap , B. I. and Colton , R. J. 1983 . Int. J. Mass Spectrom. Ion Phys. , 46 : 523
- Barlak , T. M. , Campana , J. E. , Wyatt , J. R. and Colton , R. J. 1983 . J. Phys. Chem. , 87 : 3441
- Whetten , R. 1993 . Acc. Chem. Res. , 26 : 49 and references wherein
- Li , X. and Whetten , R. L. 1992 . Chem. Phys. Lett. , 196 : 535