REFERENCES
- Goodman , C. H. L. and Pessa , M. V. 1986 . J. Appl. Phys. , 60 : R65
- Wilk , G. D. and Wallace , R. M. 1999 . Appl. Phys. Lett. , 74 : 2854 http://dx.doi.org/10.1063%2F1.124036
- Eisenbeiser , K. , Finder , J. M. , Yu , Z. , Ramdani , J. , Curless , J. A. , Hallmark , J. A. , Droopad , R. , Ooms , W. J. , Salem , L. , Bradshaw , S. and Overgaard , C. D. 2000 . Appl. Phys. Lett. , 76 : 1324 http://dx.doi.org/10.1063%2F1.126023
- McKee , R. A. , Walker , F. J. and Chisholm , M. F. 1998 . Phys. Rev. Lett. , 81 : 3014 http://dx.doi.org/10.1103%2FPhysRevLett.81.3014
- Klaus , J. W. , Sneh , O. and George , S. M. 1997 . Science , 278 : 1934 http://dx.doi.org/10.1126%2Fscience.278.5345.1934
- Packan , P. A. 1999 . Science , 285 : 2079 http://dx.doi.org/10.1126%2Fscience.285.5436.2079
- Ritala , M. , Kukli , K. , Rahtu , A. , Raisanen , P. I. , Leskela , M. , Sajavaara , T. and Keinonen , J. 2000 . Science , 288 : 31
- Watanabe , T. and Funakubo , H. 2000 . Jpn. J. Appl. Phys. , 39 : 5211 http://www.csa.com/htbin/linkabst.cgi?issn=0021-4922&vol=39&iss=&firstpage=5211 http://dx.doi.org/10.1143%2FJJAP.39.5211
- Suntola , T. and Simpson , M. 1990 . Atomic Layer Epitaxy , London : Blackie .
- Lee , W. J. , You , I. K. , Ryu , S. O. , Yu , B. G. , Cho , K. I. , Yoon , S. G. and Lee , C. Su. 2001 . Jpn. J. Appl. Phys. , 40 : 6941 http://www.csa.com/htbin/linkabst.cgi?issn=0021-4922&vol=40&iss=&firstpage=6941 http://dx.doi.org/10.1143%2FJJAP.40.6941
- Chae , B. G. , Lee , W. J. , You , I. K. , Ryu , S. O. , Jung , M. Y. and Yu , B. G. 2002 . Jpn. J. Appl. Phys. , 41 : L729 http://www.csa.com/htbin/linkabst.cgi?issn=0021-4922&vol=41&iss=&firstpage=L729 http://dx.doi.org/10.1143%2FJJAP.41.L729
- Lee , W. J. , Shin , W. C. , Chae , B. G. , Ryu , S. O. , You , I. K. , Cho , S. M. , Yu , B. G. and Shin , B. C. 2002 . Integr. Ferroelectr. , 46 : 275 http://www.csa.com/htbin/linkabst.cgi?issn=1058-4587&vol=46&iss=&firstpage=275 http://dx.doi.org/10.1080%2F10584580215377
- Yamamoto , S. and Oda , S. 2001 . Chem. Vap. Deposition , 7 : 7 http://dx.doi.org/10.1002%2F1521-3862%28200101%297%3A1%3C7%3A%3AAID-CVDE7%3E3.0.CO%3B2-L
- Abe , Y. and Fukuda , T. 1994 . Jpn. J. Appl. Phys. , 33 : L1248 http://www.csa.com/htbin/linkabst.cgi?issn=0021-4922&vol=33&iss=&firstpage=L1248 http://dx.doi.org/10.1143%2FJJAP.33.L1248
- Campbell , S. A. , Cilmer , D. C. , Wang , X. C. , Hsieh , M. T. , Kim , H. S. , Gladfelter , W. L. and Yan , J. 1997 . IEEE Trans. Electron Devices , ED-44 : 104 http://dx.doi.org/10.1109%2F16.554800