Publication Cover
Integrated Ferroelectrics
An International Journal
Volume 84, 2006 - Issue 1
23
Views
0
CrossRef citations to date
0
Altmetric
SECTION B: FeRAM MATERIALS: THIN-FILM PROCESSING

METAL-ORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF PbZrxTi1 –xO3 THIN FILMS ON Ir–Ru ALLOY ELECTRODES

, , , , , , , , & show all
Pages 57-65 | Received 31 May 2006, Published online: 10 Mar 2011

REFERENCES

  • Jang , N. W. , Song , Y. J. , Kim , H. H. , Joo , H. J. , Park , J. H. , Kang , H. Y. , Lee , S. Y. and Kim , K. 2003 . Integr. Ferroelectr. , 53 : 299 [CSA]
  • Fox , G. R. , Chu , F. and Davenport , T. 2001 . J. Vac. Sci. Technol. B , 19 : 1967 [CROSSREF] [CSA]
  • Moise , T. S. , Summerfelt , S. R. , Xing , G. , Colombo , L. , Sakoda , T. , Gilbert , S. R. , Loke , A. , Ma , S. , Kavari , R. , Wils , L. A. , Hsu , T. , Amano , J. , Johnston , S. T. , Vestyck , D. J. , Russell , M. W. and Bilodeau , S. M. Int. Electron Device Meet. Tech. Dig. pp. 940
  • Chen , I. S. and Roeder , J. F. 1999 . Mater. Res. Soc. Symp. Proc. , 541 : 375 [CSA]
  • Hwang , C. S. , No , S. Y. , Park , J. , Kim , H. J. , Cho , H. J. , Han , Y. K. and Oh , K. Y. 2002 . J. Electrochem. Soc. , 149 : G585 [CROSSREF] [CSA]
  • Fujisawa , H. , Shimizu , M. and Niu , H. 2001 . Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 , 40 : 5551 [CROSSREF] [CSA]
  • Funakubo , H. , Tokita , K. , Oikawa , T. and Saito , K. 2002 . J. Appl. Phys. , 92 : 5448 [CROSSREF] [CSA]
  • Jeong , S. , Zhao , J. S. , Kim , H. R. , Park , D.-Y. , Hwang , C. S. , Han , Y. K. , Yang , C. H. , Oh , K. Y. , Kim , S.-H. , Lee , D.-S. and Ha , J. 2003 . J. Electrochem. Soc. , 150 : C678 [CROSSREF] [CSA]
  • Shin , S. , Hofmann , M. , Lee , Y. K. , Cho , C. R. , Lee , J. K. , Park , Y. , Lee , K. M. and Song , Y. J. 2002 . Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , 748 : 25 [CSA]
  • Park , Y. , Lee , J. H. , Koo , J. M. , Kim , S. P. , Shin , S. , Cho , C. R. and Lee , J. K. 2004 . Integr. Ferroelectr. , 66 : 85 [CROSSREF] [CSA]
  • Gilbert , S. R. , Hunter , S. , Ritchey , D. , Chi , C. , Taylor , D. V. , Amano , J. , Aggarwal , S. , Moise , T. S. , Sakoda , T. , Summerfelt , S. R. , Singh , K. K. , Kazemi , C. , Carl , D. and Bierman , B. 2003 . J. Appl. Phys. , 93 : 1713 [CROSSREF] [CSA]
  • Shin , S. , Koo , J. M. , Lee , J. K. , Kim , S. P. , Cho , C. R. , Park , Y. , Park , S.-H. , Lee , J. H. and Cho , Y.-J. 2004 . Integr. Ferroelectr. , 64 : 157 [CROSSREF] [CSA]
  • Kim , H. R. , Jeong , S. , Jeon , C. B. , Kwon , O. S. , Hwang , C. S. , Han , Y. K. , Yang , D. Y. and Oh , K. Y. 2001 . J. Mater. Res. , 16 : 3583 [CSA]
  • Massalski , T. B. 1992 . Binary Alloy Phase Diagrams, 2Ed . ASM International , 3 : 2343 – 2344 . [CSA]
  • Bhatt , H. D. , Desu , S. B. , Vijay , D. P. , Hwang , Y. S. , Zhang , X. , Nagata , M. and Grill , A. 1997 . Appl. Phys. Lett. , 71 : 719 [CROSSREF] [CSA]
  • Liu , B. T. , Maki , K. , Aggarwal , S. , Nagaraj , B. , Nagarajan , V. , Salamanca-Riba , L. , Dhote , A. M. and Auciello , O. 2002 . Appl. Phys. Lett. , 80 : 3559 [CSA]

Reprints and Corporate Permissions

Please note: Selecting permissions does not provide access to the full text of the article, please see our help page How do I view content?

To request a reprint or corporate permissions for this article, please click on the relevant link below:

Academic Permissions

Please note: Selecting permissions does not provide access to the full text of the article, please see our help page How do I view content?

Obtain permissions instantly via Rightslink by clicking on the button below:

If you are unable to obtain permissions via Rightslink, please complete and submit this Permissions form. For more information, please visit our Permissions help page.