MOCVD of BaSrTiO₃ for ulsi drams

References

• Koyama , K. , Sakuma , T. , Yamamichi , S. , Watanabe , H. , Aoki , H. , Ohya , S. , Miyasaka , Y. and Kikkawa , T. 1991 . Proc. IEDM , 823
   Google Scholar
• Eimori , T. , Ohno , Y. , Kimura , H. , Matsufusa , J. , Kishimura , S. , Yoshida , A. , Sumitani , H. , Maruyama , T. , Hayashide , Y. , Moriizumi , K. , Katayama , T. , Asakura , M. , Horikawa , T. , Shibano , T. , Itoh , H. , Sato , K. , Namba , K. , Nishimura , T. , Satoh , S. and Miyoshi , H. 1993 . Proc. IEDM , 631
   Google Scholar
• Yamaguchi , H. , Lesaicherre , P-Y. , Sakuma , T. , Miyasaka , Y. , Ishitani , A. and Yoshida , M. 1993 . Jpn. J. Appl. Phys. , 32 : 4069
   Web of Science ®Google Scholar
• Katayama , T. , Fujimoto , M. , Shimizu , M. and Shiosaki , T. 1991 . J. Crystal Growth , 115 : 289
   Web of Science ®Google Scholar
• Kirlin , P. S. , Binder , R. L. and Gardiner , R. A. US Patent 5, 204, 314 . Apr. 20, 1993 .
   Google Scholar
• Zhang , J. , Kirlin , P. S. , Boerstler , R. and Steinbeck , J. 1992 . Appl. Phys. Lett. , 61 : 288
   Web of Science ®Google Scholar
• Fitzer , E. , Oetzmann , H. , Schmaderer , F. and Wahl , G. 1991 . J. Physique II , 1 : C2 – 713 .
   Google Scholar
• Yamazaki , H. , Tsuyama , T. , Kobayashi , I. and Sugimori , Y. 1992 . Jpn. J. Appl. Phys. , 32 : 2995
   Google Scholar
• Bird , R. B. , Stewart , W. E. and Lightfoot , E. N. 1960 . Transport Phenomena , 140 New York : John Wiley and Sons .
   Google Scholar
• Zhang , J. M. , Zhao , J. , Marcy , H. O. , Tonge , L. M. , Wessels , B. M. , Marks , T. J. and Kannewurf , C. R. 1989 . Appl. Phys. Lett. , 54 : 1166
   Google Scholar
• Zama , H. and Oda , S. 1990 . Jpn. J. Appl. Phys. , 29 : L1072
   Google Scholar
• Hiskes , R. , DiCarolis , S. A. , Young , J. L. , Laderman , S. S. , Jacowitz , R. D. and Taber , R. C. 1991 . Appl. Phys. Lett. , 59 : 607
   Google Scholar
• McCabe , W. L. and Smith , J. C. 1976 . Unit Operations of Chemical Engineering , 687 New York : McGraw Hill .
   Google Scholar
• Abe , K. and Komatsu , S. 1993 . Jpn. J. Appl. Phys. , 32 : 4186
   Web of Science ®Google Scholar
• Grilll , A. , Kane , W. , Viggiano , J. , Brady , M. and Laibowitz , R. 1992 . J. Mater. Res. , 7 : 3260
   Google Scholar