References
- Yuuki , Y. , Yamamuka , M. , Makita , T. , Horikawa , T. , Shibano , T. , Hirano , N. , Maeda , N. , Ono , K. , Ogata , H. and Abe , H. Proc. Int. Electron Devices Meet. 1995 . pp. 115 New York : IEEE .
- Nishioka , Y. , Shiozawa , K. , Oishi , T. , Kanamoto , K. , Tokuda , Y. , Sumitani , H. , Aya , S. , Yabe , H. , Itog , K. , Hifumi , T. , Marumoto , K. , Kuroiwa , T. , Kawahara , T. , Nishikawa , K. , Oomori , T. , Fujino , T. , Yamamoto , S. , Uzawa , S. , Kimata , M. , Nunoshita , M. and Abe , H. ibid , 903
- Lee , K. P. , Park , Y. S. , Ko , D. H. , Hwang , C. S. , Kang , C. J. , Lee , K. Y. , Kim , J. S. , Park , J. K. , Roh , B. H. , Lee , J. Y. , Kim , B. C. , Lee , J. H. , Kim , K. N. , Park , J. W. and Lee , J. G. ibid , 907
- Bilodeau , S. M. , Roeder , J. , VanBuskirk , P. and Kirlin , P. to be published in the Proc. CVD Technologies for Inter-level Dielectrics and Interconnects Symp., SEMICON West, July 95
- Kawahara , Takaaki , Yamakuma , Mikio , Yuuki , Akimasa and Ono , Kouichi . 1995 . Jpn. J. Appl. Phys. , 34 : 5077
- Yamamichi , S. , Lesaicherre , P.-Y. , Yamaguchi , H. , Takemura , K. , Sone , S. , Yabuta , H. , Sata , K. , Tamura , T. , Nakajima , K. , Ohnishi , S. , Tokashiki , K. , Hayashi , Y. , Kata , Y. , Miyasaka , Y. , Yoshida , M. and Ono , H. 1995 . Proc. Int. Electron Devices Meet. , 119 New York : IEEE . 1991
- Kang , C. S. , Hwang , C. S. , Cho , H. J. , Lee , B. T. , Park , S. O. , Kim , J. W. , Horii , H. , Lee , S. I. and Lee , M. Y. Jpn. J. Appl. Phys. , 35 4890
- Park , S. O. , Hwang , C. S. , Cho , H.-J. , Kang , C. S. , Kang , H-K. , Lee , S. I. and Lee , M. Y. 1996 . Jpn. J. Appl. Phys. , 35 : 1548
- Hwang , C. S. , Park , S. O. , Kang , C. S. , Cho , H-J. , Kang , H-K. , Ahn , S. T. and Lee , M. Y. 1995 . Jpn. J. Appl. Phys. , 34 : 5178