Sputter deposition of SrTiO₃ thin films for voltage tunable capacitors

References

• Varadan , V. K. , Ghodgaonkar , D. K. , Varadan , V. V. , Kelly , J. F. and Glikerdas , P. 1992 . Microwave Journal , 35 : 116
   Web of Science ®Google Scholar
• Babbitt , R. W. , Koscica , T. E. and Drach , W. C. 1992 . Microwave Journal , 35 : 63
   Web of Science ®Google Scholar
• Galt , D. , Price , J. C. , Beall , J. A. and Ono , R. H. 1993 . Appl. Phys. Lett. , 63 : 3078
   Web of Science ®Google Scholar
• Babbitt , R. W. , Koscica , T. , Drach , W. and Didomenico , L. 1995 . Intergrated Ferroelectrics , 8 : 65
   Web of Science ®Google Scholar
• Miranda , F. A. , Mueller , C. H. , Koepf , G. A. and Yandrofski , R. M. 1995 . Supercond. Sci. Technol. , 8 : 755
   Web of Science ®Google Scholar
• Miranda , F. A. , Mueller , C. H. , Cubbage , C. D. , Bhasin , K. B. , Singh , R. K. and Harkness , S. D. 1995 . IEEE Trans. on Applied Superconductivity , 5 : 3191
   Web of Science ®Google Scholar
• Treece , R. E. , Thompson , J. B. , Mueller , C. H. , Rivkin , T. and Cromar , M. W. 1996 . submitted to Applied Superconductivity Conference '96
   Google Scholar
• Kozyrev , A. B. , Keis , V. N. , Koepf , G. , Yandrofski , R. , Soldatenkov , O. I. , Dudin , K. A. and Dovgan , D. P. 1995 . Microelectronic Engineering , 29 : 257
   Web of Science ®Google Scholar
• Burke , W. J. and Pressley , R. J. 1971 . Solid State Communications , 9 : 191
   Web of Science ®Google Scholar
• Al-Shareef , H. N. , Dimos , D. B. , Raymond , M. V. , Schwartz , R. W. and Mueller , C. H. 1997 . accepted to J. of Electroceramics
   Google Scholar
• Knauss , L. A. , Horwitz , J. S. , Chrisey , D. B. , Pond , J. M. , Grabowski , K. S. , Qadri , S. B. , Donovan , E. P. and Mueller , C. H. 1995 . Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , 388 : 73
   Google Scholar
• Madsen , L. D. , Johnson , C. N. L. , Jacobsen , S. N. , Helmersson , U. , Rudner , S. , Ivanov , I. , Wernlund , L.-D. , Ryen , L. and Olsson , E. 1995 . Microelectonic Engineering , 29 : 123
   Web of Science ®Google Scholar
• Knauss , L. A. , Pond , J. M. , Horwitz , J. S. , Chrisey , D. B. , Mueller , C. H. and Treece , R. 1996 . Appl. Phys. Lett. , 69 : 25
   Web of Science ®Google Scholar
• Knauss , L. A. , Pond , J. M. , Horwitz , J. S. , Mueller , C. H. , Treece , R. E. and Chrisey , D. B. 1996 . Mat. Res. Soc. Symp. Proc. , 401 : 189
   Google Scholar
• Farnell , G. W. , Cermak , I. A. , Silvester , P. and Wong , S. K. 1970 . IEEE Trans. on Sonics and Ultrasonics , SU-17 : 188
   Web of Science ®Google Scholar