References
- Khamankar , R. , Jiang , B. , Tsu , R. , Hsu , W. Y. , Nulman , J. , Summerfelt , S. , Anthony , M. and Lee , J. 1995 . 1995 Symposium on VLSI Technol. Digest of Technical Papers 127
- Kuroiwa , T. , Tsunemine , Y. , Horikawa , T. , Makita , T. , Tanimura , J. , Mikami , N. and Sato , K. 1994 . Jpn. J. Appl. Phys. , 33 : 5187
- Ono , T. , Takahashi , C. and Matsuo , S. 1984 . Jpn. J. Appl. Phys. , 23 : L534
- Ono , T. , Takahashi , C. , Oda , M. and Matsuo , S. 1985 . 1985 Symposium on VLSI Technol. Digest of Technical Papers 84
- Matsuoka , M. , Hoshino , K. and Ono , K. 1994 . J. Appl. Phys. , 76 : 1768
- Fukuda , Y. , Aoki , K. , Numata , K. and Nishimura , A. 1994 . Jpn. J. Appl. Phys. , 33 : 5255
- Belsick , J. R. and Krupanidhi , S. B. 1993 . J. Appl. Phys. , 74 : 6851
- Scott , J. F. , Azuma , M. , Fujii , E. , Otsuki , T. , Kano , G. , Scott , M. C. , Paz de Araujo , C. A. , McMillan , L. D. and Roberts , T. 1992 . Proceedings of IEE 8th International Symposium on Applications of Ferroelectrics 356
- Watanabe , H. , Aritome , S. , Hemink , G. J. , Maruyama , T. and Shirota , R. 1994 . 1994 Symposium on VLSI Technol. Digest of Technical Papers 47