Characterization of PZT capacitors with SrRuO₃ electrodes

References

• Eom , C. B. , Cava , R. J. , Fleming , R. M. , Phillips , J. M. , van Dover , R. B. , Marshall , J. H. , Hsu , J. W. P. , Krajewski , J. J. and Peck , W. F. 1992 . Science , 258 : 1766 – 69 .
   PubMed Web of Science ®Google Scholar
• Foster , C. M. , Bai , G. R. , Csencsits , R. , Vetrone , J. , Jammy , R. , Wills , L. A. , Carr , E. and Amano , J. 1997 . J. Appl. Phys. , 81 : 2349 – 57 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Tuttle , B. A. , Al-Shareef , H. N. , Warren , W. L. , Raymond , M. V. , Headley , T. J. , Voigt , J. A. , Evans , J. and Ramesh , R. 1995 . Microelect. Eng. , 29 : 223 – 30 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Cillessen , J. F. M. , Prins , M. W. J. and Wolf , R. M. 1997 . J. Appl. Phys. , 81 : 2777 – 83 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Cross , J. S. , Tsukada , M. , Kurihara , K. and Kamehara , N. 1997 . Poster # P-18-Tu-224, 9th Int. Meet. Ferroelect., Seoul, Korea , Aug. 24–29
   Google Scholar
• FRAM is a registered trademark of Ramtron Int. Corp., USA ,
   Google Scholar
• Atsuki , T. , Soyama , N. , Sasaki , G. , Yonezawa , T. , Ogi , K. , Sameshima , K. , Hoshiba , K. , Nakao , Y. and Kamisawa , A. 1994 . Jpn. J. Appl. Phys. , 33 : 5196 – 5200 .
   Web of Science ®Google Scholar
• JCPDS, orthorhombic SrRuO3, # 43–0472
   Google Scholar
• Aoki , K. , Murayma , I. , Fukuda , Y. and Nishimura , A. 1997 . Jpn. J. Appl. Phys. , 36 : L690 – 92 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Traynor , S. D. , Hadnagy , T. D. and Kammerdiner , L. 1997 . Integ. Ferroelect. , 16 : 63 – 76 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Brooks , K. G. , Reaney , I. M. , Klissurska , R. , Huang , Y. , Bursill , L. and Setter , N. 1994 . J. Mater. Res. , 9 : 2540 – 53 .
   Web of Science ®Google Scholar
• Cross , J. S. unpublished SRO/PZT/SRO/SiO2/Si TEM-EDX results
   Google Scholar