Low temperature deposition of Ba_1-xSr_xTiO₃ thin films by ECR plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition

References

• Summerfelt , S. R. 1997 . Thin Film Ferroelectric Materials and Devices , Edited by: Ramesh , R. 1 Boston : Kluwer Academic Publishers .
   Google Scholar
• Kawahara , T. , Yamamuka , M. , Yuuki , A. and Ono , K. 1996 . Jpn. J. App. Phys. , 35 : 4880
   Web of Science ®Google Scholar
• Baumert , B. A. , Chang , L. H. , Matsuda , A. T. , Tracy , C. J. , Cave , N. G. , Gregory , R. B. and Fejes , P. L. 1998 . J. Mater. Res. , 13 : 197
   Web of Science ®Google Scholar
• Stauf , G. T. , Bilodeau , S. M. and Watts , R. K. 1996 . Proceedings of the Tenth IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics , 1 : 103
   Google Scholar
• Kawahara , T. , Yamamuka , M. , Makita , T. , Tsutahara , K. , Yuuki , A. , Ono , K. and Matsui , Y. 1994 . Jpn. J. Appl. Phys. , 33 : 5897
   Web of Science ®Google Scholar
• Van Buskirk , P. C. , Bilodeau , S. M. , Roeder , J. F. and Kirlin , P. S. 1996 . Jpn. J. Appl. Phys. , 35 : 2520
   Web of Science ®Google Scholar
• Kawahara , T. , Yamamuka , M. , Yuuki , A. and Ono , K. 1995 . Jpn. J. Appl. Phys. , 34 : 5077
   Web of Science ®Google Scholar
• Kang , C. S. , Hwang , C. S. , Cho , H. J. , Lee , B. T. , Park , S. O. , Kim , J. W. , Horii , H. , Lee , S. I. , Koh , Y. B. and Lee , M. Y. 1996 . Jpn. J. Appl. Phys. , 35 : 4890
   Web of Science ®Google Scholar
• Yabuta , H. , Takemura , K. , Yamaguchi , H. , Sone , S. , Sakuma , T. and Yoshida , M. 1995 . Mater. Res. Soc. Symp. Proc. , 361 : 325
   Google Scholar
• Bilodeau , S. M. , Roeder , J. F. , VanBuskirk , P. C. and Kirlin , P. S. 1995 . Proceedings of CVD Technologies for Inter-level Dielectrics and Interconnects Symposium at SEMICON/WEST ,
   Google Scholar
• Kang , C. S. , Cho , H. J. , Hwang , C. S. , Lee , B. T. , Lee , K. H. , Horii , H. , Kim , W. D. , Lee , S. I. and Lee , M. Y. 1997 . Jpn. J. Appl. Phys. , 36 : 6946
   Web of Science ®Google Scholar
• Sone , S. , Yabuta , H. , Kato , Y. , Iizuka , T. , Yamamichi , S. , Yamaguchi , H. , Lesaicherre , P. Y. , Nishimoto , S. and Yoshida , M. 1996 . Jpn. J. Appl. Phys. , 35 : 5089
   Web of Science ®Google Scholar
• Yamaguchi , H. , Lesaicherre , P. Y. , Sakuma , T. , Miyasaka , Y. , Ishitani , A. and Yoshida , M. 1993 . Jpn. J. Appl. Phys. , 32 : 4069
   Web of Science ®Google Scholar
• Summerfelt , S. R. , Kotecki , D. , Kingon , A. I. and Al-Shareef , H. N. 1994 . Mater. Res. Soc. Symp. Proc. , 361 : 257
   Google Scholar
• Kawahara , T. , Yamamuka , M. , Makita , T. , Naka , J. , Yuuki , A. , Mikami , N. and Ono , K. 1994 . Jpn. J. Appl. Phys. , 33 : 5129
   Web of Science ®Google Scholar
• Horikawa , T. , Mikami , N. , Makita , T. , Tanimura , J. , Kataoka , M. , Sato , K. and Nunoshita , M. 1993 . Jpn. J. Appl. Phys. , 32 : 4126
   Web of Science ®Google Scholar
• Kuroiwa , T. , Tsunemine , Y. , Horikawa , T. , Makita , T. , Tanimura , J. , Mikami , N. and Sato , K. 1994 . Jpn. J. Appl. Phys. , 33 : 5187
   Web of Science ®Google Scholar
• Christen , H. M. , Mannhart , J. , Williams , E. J. and Gerber , C. 1994 . Phys. Rev. B , 49 : 12095
   PubMed Web of Science ®Google Scholar
• Basceri , C. , Streiffer , S. K. , Kingon , A. I. and Waser , R. 1997 . J. Appl. Phys. , 82 : 2497
   Web of Science ®Google Scholar