Design and application of multiwafer MOCVD systems for ferroelectrics

References

• Deschler , M. , Woelk , E. , Schmitz , D. , Strauch , G. and Juergensen , H. 1997 . Integr. Ferroelectrics , 18 : 119
   Web of Science ®Google Scholar
• Dormans , G. J. M. , Larsen , P. K. G. , Spierings , A. C. M. , Dikken , J. , Ulenaers , M. J. E. , Cuppens , R. , Taylor , D. J. and Verhaar , R. D. J. 1995 . Integr. Ferroelectrics , 6 : 93
   Web of Science ®Google Scholar
• Dormans , G. J. M. J. , Kemperman , H. H. M. , Wolters , R. A. M. , van , P. J. , Veldhoven , M. S. , de Keijser , Janssen , R. B. F. , Ulenaers , M. J. E. and Larsen , P. K. 1995 . Microelectronic Eng. , 29 : 33
   Web of Science ®Google Scholar
• Taylor , D. J. , Larsen , P. K. , Dormans , G. J. M. and De Veirman , A. E. M . 1995 . Integr. Ferroelectrics , 7 : 123
   Web of Science ®Google Scholar
• Cuppens , R. , Larsen , P. K. and Spierings , G. A. C. M. 1992 . Microelectronic Eng. , 19 : 245
   Web of Science ®Google Scholar
• De , M. , Keijser , P. J. , van Veldhoven and Dormans , G. J. M. 1993 . Proceedings of the MRS Spring Meeting San Francisco
   Google Scholar
• Schumacher , M. , Deschler , M. , Juergensen , H. , Hoffmann , S. , Erhart , P. and Waser , R. to be published ,
   Google Scholar