Preparation of SrBi₂Ta₂O₉ ferroelectric thin film by rf magnetron sputtering

References

• Suu , K. , Osawa , A. , Tani , N. , Ishikawa , M. , Nakamura , K. , Ozawa , T. , Sameshima , K. , Kamisawa , A. and Takasu , H. 1997 . Integrated Ferroelectrics , 14 : 59
   Web of Science ®Google Scholar
• Suu , K. , Osawa , A. , Tani , N. , Ishikawa , M. , Nakamura , K. , Ozawa , T. , Sameshima , K. , Kamisawa , A. and Takasu , H. 1996 . Jpn. J. Appl. Phy. , 35 : 4967
   Web of Science ®Google Scholar
• Suu , K. , Osawa , A. , Nishioka , Y. and Tani , N. 1997 . Jpn. J. Appl. Phy. , 36 : 5789
   Web of Science ®Google Scholar
• Mihara , T. , Watanabe , H. , Paz de Araujo , C. A. , Cuchiaro , J. , Scott , M. and McMillan , L. D. 1992 . Proc. 4th Int. Symp, Integr. Ferroelectr. 1992 , Moterey , CA . pp. 137
   Google Scholar
• Atsuki , T. , Soyama , N. , Yonezawa , T. and Ogi , K. 1995 . Jpn. J. Appl. Phy. , 34 : 5096
   Web of Science ®Google Scholar
• Noguchi , T. , Hase , T. and Miyasaka , Y. 1996 . Jpn. J. Appl. Phy. , 35 : 4900
   Web of Science ®Google Scholar
• Li , T. , Zhu , Y. , Desu , S. B. , Perg , C. H. and Nagata , M. 1996 . Appl. Phys. Lett. , 68 ( 5 ) : 616
   Web of Science ®Google Scholar
• Song , T. K. , Lee , J. K. and Jung , H. J. 1996 . Appl. Phys. Lett. , 69 ( 25 ) : 616
   Google Scholar
• Thomas , D. , Kingon , A. I. , Auciello , O. , Waser , R. and Schumacher , M. 1996 . Integrated Ferroelectric , 14 : 51
   Web of Science ®Google Scholar